一种镀膜坩埚取放装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体加工领域，尤其涉及一种镀膜坩埚取放装置，包括两个连接杆、两个手柄、两个夹片和防尘盖，两个连接杆中部铰接，两个连接杆的第一端均设有夹片，夹片呈与坩埚外形一致的弧形结构；夹片与连接杆的下侧连接；防尘盖设于连接杆上侧，防尘盖与两个连接杆的铰接处固定连接；防尘盖覆盖坩埚开口；两个连接杆的第二端均设有手柄。使用时将夹片与坩埚两侧相对，而后握紧手柄，使得夹片夹紧坩埚侧面，而防尘盖则覆盖坩埚开口避免灰尘落入；而夹片位于连接杆下侧的设置使得操作人员只需在坩埚一侧将整个装置水平把持而后下移即可，无需将其移动至坩埚正上方进行夹取，避免松脱落入坩埚内。免松脱落入坩埚内。免松脱落入坩埚内。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜坩埚取放装置


[0001]本技术涉及半导体加工领域，尤其涉及一种镀膜坩埚取放装置。

技术介绍

[0002]真空蒸镀是指在真空环境中，将材料加热并镀到基片上，主要是用来蒸镀金属膜层。在LED金属蒸镀制程过程中将金属原材料装在坩埚里，再将坩埚放入蒸镀机台的坩埚座内，蒸镀完后需要添加金属原料时，将坩埚从坩埚座取出并重复上述过程。现有的坩埚取放没有专用的装置，采用长铁片插入坩埚与坩埚座的隔离缝中，稍勾起坩埚，最后用手拿出整个坩埚。这样夹取效率不高，操作时也会使坩埚不稳而倾倒，且存在灰尘污染的现象。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是：提供一种方便夹取且能够实现防尘的镀膜坩埚取放装置。
[0004]为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案为：一种镀膜坩埚取放装置，包括两个连接杆、两个手柄、两个夹片和防尘盖，两个所述连接杆中部铰接，两个所述连接杆的第一端均设有夹片，所述夹片呈与坩埚外形一致的弧形结构；所述夹片与连接杆的下侧连接；所述防尘盖设于连接杆上侧，所述防尘盖与两个连接杆的铰接处固定连接；所述防尘盖覆盖坩本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜坩埚取放装置，其特征在于，包括两个连接杆、两个手柄、两个夹片和防尘盖，两个所述连接杆中部铰接，两个所述连接杆的第一端均设有夹片，所述夹片呈与坩埚外形一致的弧形结构；所述夹片与连接杆的下侧连接；所述防尘盖设于连接杆上侧，所述防尘盖与两个连接杆的铰接处固定连接；所述防尘盖覆盖坩埚开口；两个所述连接杆的第二端均设有手柄。2.根据权利要求1所述的镀膜坩埚取放装置，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪加添，陈威，潘锴，黄家柳，
申请(专利权)人：福建兆元光电有限公司，
类型：新型
国别省市：