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本实用新型涉及半导体加工领域，尤其涉及一种镀膜坩埚取放装置，包括两个连接杆、两个手柄、两个夹片和防尘盖，两个连接杆中部铰接，两个连接杆的第一端均设有夹片，夹片呈与坩埚外形一致的弧形结构；夹片与连接杆的下侧连接；防尘盖设于连接杆上侧，防尘盖与...
该专利属于福建兆元光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建兆元光电有限公司授权不得商用。

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