本发明专利技术涉及真空镀膜生产线技术领域，且公开了一种阴极平台的可调式实时供气装置，解决了目前容气箱内部的气体分布不均匀而导致通过供气管道对阴极平台内部的供气不均匀的问题，其包括供气箱体，所述供气箱体的右侧固定安装有接头，接头的内部等距离固定安装有进口端，进口端的两侧均固定安装有进气管道；本发明专利技术，通过活动棒的作用带动固定圆盘的转动，此时带动中间轴的转动，同时带动传动齿轮的转动，由于传动齿轮与从动齿轮的啮合，从而带动从动轴的转动，同时带动两侧的搅拌棒转动，继而对位于容气箱内部的气体进行充分搅动，使得容气箱内部的气体分布均匀，从而通过供气管道对阴极平台内部的供气更加均匀。对阴极平台内部的供气更加均匀。对阴极平台内部的供气更加均匀。
【技术实现步骤摘要】
一种阴极平台的可调式实时供气装置
[0001]本专利技术属于真空镀膜生产线
，具体为一种阴极平台的可调式实时供气装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜是一种在真空中制备膜层产生薄膜材料的技术，有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀，其中溅射镀膜是真空镀膜中最主要的方法，该技术是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上，在磁控溅射镀膜工艺中，对磁控溅射镀膜设备的质量要求很高，而在磁控溅射镀膜设备中，供气装置的设置及供气装置的优劣尤为重要。
[0003]目前的供气装置大多是采用分开供气的形式进行阴极平台内部的供气，但是现有的分开供气装置虽然能够进行局部的供气调整，但是向容气箱内部输送气体时，由于容气箱内部的气体分布不均匀，继而导致通过供气管道对阴极平台内部的供气不均匀，从而导致成膜效果不均匀。
技术实现思路
[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提供一种阴极平台的可调式实时供气装置，有效的解决了目前容气箱内部的气体分布不均匀而导致通过供气管道对阴极平台内部的供气不均匀的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种阴极平台的可调式实时供气装置，包括供气箱体，所述供气箱体的右侧固定安装有接头，接头的内部等距离固定安装有进口端，进口端的两侧均固定安装有进气管道，供气箱体的内腔两侧均固定安装有支撑座，支撑座与进气管道固定连接，供气箱体的内腔两侧均固定安装有连接块，连接块的内部安装有流量控制机构，连接块的一侧与进气管道的一端固定连接，连接块的另一侧等距离固定安装有输送管道，供气箱体的内部固定安装有容气箱，输送管道与容气箱固定连接，容气箱的顶部等距离固定安装有供气管道，容气箱的内部安装有双向搅动机构。
[0006]优选的，所述流量控制机构包括等距离开设与连接块内部的容纳腔，输送管道和进气管道均与容纳腔相连通，容纳腔的内部固定连接有立柱，立柱的外侧活动连接有活动杆，活动杆的中部开设有导向槽，导向槽与立柱活动卡接，活动杆的一端转动连接有挡块，挡块的截面积比输送管道的内径值大，活动杆的另一端转动连接有滑块，滑块和挡块均位于容纳腔的内腔两侧，容纳腔的内部固定连接有两个固定杆，两个固定杆均与挡块活动套接，挡块的一侧均固定连接有两个第一弹簧，两个第一弹簧分别与两个固定杆活动套接。
[0007]优选的，所述滑块位于进气管道端口的右侧，且滑块不与进气管道的端口接触，挡块位于输送管道端口的右侧，且挡块不与输送管道的端口接触，滑块和活动杆以及挡块形成Z字型结构。
[0008]优选的，所述滑块的一侧固定连接有两个套筒，套筒的活动套接有横杆，横杆位于
套筒外侧的一端与容纳腔内壁固定连接，套筒的一侧固定连接有两个第二弹簧，两个第二弹簧分别与两个横杆活动套接。
[0009]优选的，所述滑块的另一侧固定连接有两个连接杆，两个连接杆均与供气箱体活动连接，两个连接杆的一端均贯穿供气箱体的外侧，且两个连接杆的一端之间固定连接有连接块，连接块的内部活动套接有螺纹杆，螺纹杆的一端与供气箱体固定连接，螺纹杆的外侧螺纹套接有螺纹套，且螺纹套与连接块贴合。
[0010]优选的，所述双向搅动机构包括与容气箱内腔底部固定连接的两个竖块，两个竖块之间活动连接有传动轴，且传动轴位于两侧的出气口之间，传动轴的外侧等距离固定安装有扇叶。
[0011]优选的，所述传动轴的两侧均固定连接有连接柱，两个连接柱相互远离的一侧均固定连接有安装圆盘，容气箱的内腔两侧均活动连接有中间轴，两个中间轴的一端均固定连接有固定圆盘，两个中间轴的外侧均固定安装有传动齿轮，安装圆盘与固定圆盘之间活动连接有两个活动棒，且活动棒的形状为L型，活动棒的两端均固定连接有限位块，位于限位块顶端的限位块位于安装圆盘和传动轴之间，且不与传动轴接触，位于限位块底端的限位块位于固定圆盘和传动齿轮之间，且不与传动齿轮接触。
[0012]优选的，所述容气箱的内腔两侧均活动连接有从动轴，两个从动轴的外侧均固定安装有从动齿轮，且两个从动齿轮分别与两个传动齿轮啮合，且两个传动齿轮位于两个从动齿轮之间，两个从动轴的外侧均等距离固定安装有搅拌棒，且搅拌棒不与扇叶接触。
[0013]优选的，所述容气箱的两侧均等距离开设有出气口，出气口的内径值与输送管道的内径值相等，容气箱的内部两侧均固定连接有导流板，位于左侧的导流板开口朝上，位于右侧的导流板开口朝下，扇叶位于两个导流板之间且不与导流板接触。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0015](1)、本专利技术，通过设置进气管道和连接块以及输送管道，当气体进入到输送管道的内部时，此时气体从出气口进入到容气箱的内部，同时通过两侧的出气口导流作用，从位于容气箱左侧的出气口进入到容气箱内部的气体位于容气箱内腔的上方，而位于容气箱右侧的出气口进入到容气箱内部的气体位于容气箱内腔的下方，继而通过风力带动扇叶转动，继而使得传动轴转动，同时带动两侧的安装圆盘的转动，同时通过活动棒的作用带动固定圆盘的转动，此时带动中间轴的转动，同时带动传动齿轮的转动，由于传动齿轮与从动齿轮的啮合，从而带动从动轴的转动，同时带动两侧的搅拌棒转动，继而对位于容气箱内部的气体进行充分搅动，使得容气箱内部的气体分布均匀，从而通过供气管道对阴极平台内部的供气更加均匀；
[0016](2)、该专利技术通过进气管道和连接块以及输送管道之间的配合，气体可进入到进口端的内部，此时气体可进入到两侧的进气管道的内部，然后进入到连接块的容纳腔内部，同时气体进入到输送管道的内部，而通过连接块和螺纹杆以及螺纹套之间的配合，顺时针转动螺纹套时，继而使得连接杆能够向供气箱体内部方向移动，并通过套筒和横杆之间的配合，可使得第二弹簧压缩，而通过活动杆与立柱之间的配合，使得挡块能够向供气箱体的外侧方向移动，继而使得第一弹簧压缩，而当挡块移动的过程中，此时与输送管道的端口接触面积减小，从而使得气体从容纳腔进入到输送管道的内部的流量减小，而当逆时针转动螺纹套时，此时螺纹套向供气箱体外侧的方向移动，同时第二弹簧复位并带动套筒向供气箱
体外侧方向移动，同时第一弹簧复位并带动挡块向供气箱体内侧方向移动，此时挡块与输送管道端口的接触面积增加，继而可增加气体从容纳腔进入到输送管道的内部的流量。
[0017](3)、该专利技术通过连接块和螺纹杆以及螺纹套之间的配合，可顺时针转动螺纹套时，继而使得连接杆能够向供气箱体内部方向移动，从而使得滑块移动，并通过活动杆与立柱之间的配合，继而使得挡块能够沿着固定杆向供气箱体外侧方向移动，从而挡块能够与输送管道的端口接触，而当继续顺时针转动螺纹套时，此时使得挡块能够将输送管道的端口完全遮盖，从而防止气体进入到输送管道的内部，从而方便实现停止供气的效果。
附图说明
[0018]附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制。
[0019]在附图中：
[0020]图1为本专利技术结构示意本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种阴极平台的可调式实时供气装置，包括供气箱体(1)，其特征在于：所述供气箱体(1)的右侧固定安装有接头(6)，接头(6)的内部等距离固定安装有进口端(5)，进口端(5)的两侧均固定安装有进气管道(4)，供气箱体(1)的内腔两侧均固定安装有支撑座(7)，支撑座(7)与进气管道(4)固定连接，供气箱体(1)的内腔两侧均固定安装有连接块(8)，连接块(8)的内部安装有流量控制机构(3)，连接块(8)的一侧与进气管道(4)的一端固定连接，连接块(8)的另一侧等距离固定安装有输送管道(2)，供气箱体(1)的内部固定安装有容气箱(11)，输送管道(2)与容气箱(11)固定连接，容气箱(11)的顶部等距离固定安装有供气管道(13)，容气箱(11)的内部安装有双向搅动机构(9)。2.根据权利要求1所述的一种阴极平台的可调式实时供气装置，其特征在于：所述流量控制机构(3)包括等距离开设与连接块(8)内部的容纳腔(301)，输送管道(2)和进气管道(4)均与容纳腔(301)相连通，容纳腔(301)的内部固定连接有立柱(309)，立柱(309)的外侧活动连接有活动杆(3011)，活动杆(3011)的中部开设有导向槽(3013)，导向槽(3013)与立柱(309)活动卡接，活动杆(3011)的一端转动连接有挡块(3010)，挡块(3010)的截面积比输送管道(2)的内径值大，活动杆(3011)的另一端转动连接有滑块(302)，滑块(302)和挡块(3010)均位于容纳腔(301)的内腔两侧，容纳腔(301)的内部固定连接有两个固定杆(307)，两个固定杆(307)均与挡块(3010)活动套接，挡块(3010)的一侧均固定连接有两个第一弹簧(308)，两个第一弹簧(308)分别与两个固定杆(307)活动套接。3.根据权利要求2所述的一种阴极平台的可调式实时供气装置，其特征在于：所述滑块(302)位于进气管道(4)端口的右侧，且滑块(302)不与进气管道(4)的端口接触，挡块(3010)位于输送管道(2)端口的右侧，且挡块(3010)不与输送管道(2)的端口接触，滑块(302)和活动杆(3011)以及挡块(3010)形成Z字型结构。4.根据权利要求2所述的一种阴极平台的可调式实时供气装置，其特征在于：所述滑块(302)的一侧固定连接有两个套筒(3012)，套筒(3012)的活动套接有横杆(3014)，横杆(3014)位于套筒(3012)外侧的一端与容纳腔(301)内壁固定连接，套筒(3012)的一侧固定连接有两个第二弹簧(3015)，两个第二弹簧(3015)分别与两个横杆(3014)活动套接。5.根据权利要求2所述的一种阴极平台的可调式实时供气装置，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：匡国庆，
申请(专利权)人：镇江市德利克真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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