一种光学真空镀膜机抽气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光学真空镀膜机抽气装置，包括机械泵、罗茨泵、抽气管道、波纹管、旁路阀、高真空阀、真空室、工件盘、隔热板、箱体底架、扩散泵、冷阱和抽气管道支架；本实用新型专利技术的有益效果在于，通过旁路阀和预阀的设计，使得真空处理之前进行粉尘清除处理；此外，真空室内的隔热板设计，对真空室起到分隔作用，避免比较强的对流气体带起杂质对隔热板上方真空室的工件造成二次污染。

【技术实现步骤摘要】
一种光学真空镀膜机抽气装置
本技术涉及光学产品加工
，尤其涉及一种光学真空镀膜机抽气装置。
技术介绍
真空镀膜机是一种在较高真空度下对材料进行的镀膜的设备，具体镀膜方法包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射。目前，现有的真空镀膜机在使用过程中，容易出现镀制完毕的产品表面出现各种污点，难以处理从而导致产品报废，造成不必要的经济损失。根据分析可知，粉尘的来源主要包括两个：首先，进入真空室前产品本身清洗和清擦不彻底，或者在存储和转运过程中存在二次污染；其次，在真空室内，产品周围存在污染源，附着到产品表面造成污染，因此亟待对现有的真空镀膜机抽气系统进行改良，降低粉尘对设备的影响，进而提高产品的镀膜合格率。
技术实现思路
本技术的目的：提供一种光学真空镀膜机抽气装置，以解决现有技术中存在的问题。为了实现上述目的，本技术的技术方案是：一种光学真空镀膜机抽气装置，包括机械泵、罗茨泵、抽气管道、波纹管、旁路阀、高真空阀、真空室、工件盘、隔热板、箱体底架、扩散泵、冷阱和抽气管道支架；所述的机械泵设置在地面，并且所述的罗茨泵设置在所述的机械泵顶部；机械泵输出管道设置在所述的机械泵和罗茨泵之间；所述的机械泵输出管道为90°金属弯管，并且一端接所述的机械泵，另一端接所述的罗茨泵；所述的扩散泵设置在所述的机械泵一侧；所述的高真空阀设置在所述的扩散泵上方，并且所述的冷阱所述的高真空阀与扩散泵之间；所述的扩散泵上部设置有所述的抽气管道，并且所述的抽气管道为90°金属弯管；所述的抽气管道经所述的抽气管道支架支撑；所述的罗茨泵和扩散泵之间设置有四通管，并且所述的四通管的四个通路分别连接所述的抽气管道、扩散泵管道、旁路阀和预阀；所述的扩散泵管道中部设置有所述的波纹管，并且所述的扩散泵管道另一端接所述的扩散泵；所述的旁路阀另一端接所述的预抽管道，并且所述的预抽管道另一端接所述的真空室；所述的预阀另一端接所述的高真空管道，并且所述的高真空管道另一端接所述的高真空室；所述的扩散泵远离所述的机械泵一侧设置有所述的箱体底架，并且所述的真空室设置在所述的箱体底架上部；所述的真空室底部设置有所述的隔热板，上部设置有所述的工件盘。上述的一种光学真空镀膜机抽气装置，其中，所述的机械泵输出管道直径小于所述的抽气管道直径；所述的预抽管道直径小于所述的机械泵输出管道。上述的一种光学真空镀膜机抽气装置，其中，所述的预抽管道与所述的真空室连接，并且设置在所述的隔热板下方。上述的一种光学真空镀膜机抽气装置，其中，所述的工件盘为伞形结构，并且所述的伞形结构底面朝下。上述的一种光学真空镀膜机抽气装置，其中，所述的抽气管道支架下部为圆形立柱，上部为圆环套；所述的抽气管道设置在所述的圆环套内，并且所述的圆环套内径与所述的抽气管道外径相同。上述的一种光学真空镀膜机抽气装置，其中，所述的隔热板俯视尺寸与所述的真空室内腔尺寸相同。上述的一种光学真空镀膜机抽气装置，其中，所述的真空室底面设置有限位块，并且所述的限位块设置在所述的箱体底架侧面。综上所述，本技术的有益效果在于，通过旁路阀和预阀的设计，使得真空处理之前进行粉尘清除处理；此外，真空室内的隔热板设计，对真空室起到分隔作用，避免比较强的对流气体带起杂质对隔热板上方真空室的工件造成二次污染。附图说明图1是本技术一种光学真空镀膜机抽气装置的结构示意图。具体实施方式以下结合附图进一步说明本技术的实施例。请参见附图1所示，一种光学真空镀膜机抽气装置，包括机械泵1、罗茨泵2、抽气管道3、波纹管4、旁路阀5、高真空阀6、真空室7、工件盘8、隔热板9、箱体底架10、扩散泵11、冷阱12和抽气管道支架13；所述的机械泵1设置在地面，并且所述的罗茨泵2设置在所述的机械泵1顶部；机械泵输出管道101设置在所述的机械泵1和罗茨泵2之间；所述的机械泵输出管道101为90°金属弯管，并且一端接所述的机械泵1，另一端接所述的罗茨泵2；所述的扩散泵11设置在所述的机械泵1一侧；所述的高真空阀6设置在所述的扩散泵11上方，并且所述的冷阱12所述的高真空阀6与扩散泵11之间；所述的扩散泵11上部设置有所述的抽气管道3，并且所述的抽气管道3为90°金属弯管；所述的抽气管道3经所述的抽气管道支架支撑13；所述的罗茨泵2和扩散泵11之间设置有四通管14，并且所述的四通管14的四个通路分别连接所述的抽气管道3、扩散泵管道1101、旁路阀5和预阀15；所述的扩散泵管道1101中部设置有所述的波纹管4，并且所述的扩散泵管道1101另一端接所述的扩散泵11；所述的旁路阀5另一端接所述的预抽管道16，并且所述的预抽管道16另一端接所述的真空室7；所述的预阀15另一端接所述的高真空管道601，并且所述的高真空管道601另一端接所述的高真空室6；所述的扩散泵11远离所述的机械泵1一侧设置有所述的箱体底架10，并且所述的真空室7设置在所述的箱体底架10上部；所述的真空室7底部设置有所述的隔热板9，上部设置有所述的工件盘8。所述的机械泵输出管道101直径小于所述的抽气管道3直径；所述的预抽管道16直径小于所述的机械泵输出管道101，在气体流量相同的情况下，确保所述的预抽管道16和真空室7的压强差最大，提高粉尘清除效果。所述的预抽管道16与所述的真空室7连接，并且设置在所述的隔热板9下方，对所述的真空室7起到分隔作用，避免粉尘对所述的隔热板9上方的所述的真空室7造成二次污染。所述的工件盘8为伞形结构，并且所述的伞形结构底面朝下，增加所述的工件盘8与工件的接触面积。所述的抽气管道支架13下部为圆形立柱1301，上部为圆环套1302；所述的抽气管道3设置在所述的圆环套1302内，并且所述的圆环套1302内径与所述的抽气管道3外径相同，能够对所述的抽气管道3起到支撑和固定作用。所述的隔热板9俯视尺寸与所述的真空室7内腔尺寸相同，防止所述的隔热板9下方的粉尘落入到所述的隔热板9上方的所述的真空室7中。所述的真空室7底面设置有限位块701，并且所述的限位块701设置在所述的箱体底架10侧面，能够对所述的真空室7进行限位作用。使用时，首先，启动所述的机械泵1，打开所述的旁路阀5，对所述的真空室7进行抽气，此时的气体流动方向：真空室7→预抽管道16→旁路阀5→抽气管道3，将所述的真空室7位于所述的隔热板9下方的粉尘清除；然后，关闭所述的旁路阀5，开启所述的预阀15，使得所述的高真空室6开启，此时的气体流动方向：真空室7→高真空室6→预阀5→抽气管道3，对所述的真空室7进行真空处理。综上所述，本技术的有益效果在于，通过旁路阀和预阀的设计，使得真空处理之前进行粉尘清除处理；此外，真空室内的隔热板设计，对真空室起到分隔作用，避免比较强的对流气体带起杂质对隔热板上方真空室的工件造成二次污染。以上所述仅为本技术的优选实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书内容所作的等效结构变换，或直接或间接运用附属在其他相关产品的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学真空镀膜机抽气装置，其特征在于：包括机械泵、罗茨泵、抽气管道、波纹管、旁路阀、高真空阀、真空室、工件盘、隔热板、箱体底架、扩散泵、冷阱和抽气管道支架；所述的机械泵设置在地面，并且所述的罗茨泵设置在所述的机械泵顶部；机械泵输出管道设置在所述的机械泵和罗茨泵之间；所述的机械泵输出管道为90°金属弯管，并且一端接所述的机械泵，另一端接所述的罗茨泵；所述的扩散泵设置在所述的机械泵一侧；所述的高真空阀设置在所述的扩散泵上方，并且所述的冷阱所述的高真空阀与扩散泵之间；所述的扩散泵上部设置有所述的抽气管道，并且所述的抽气管道为90°金属弯管；所述的抽气管道经所述的抽气管道支架支撑；所述的罗茨泵和扩散泵之间设置有四通管，并且所述的四通管的四个通路分别连接所述的抽气管道、扩散泵管道、旁路阀和预阀；所述的扩散泵管道中部设置有所述的波纹管，并且所述的扩散泵管道另一端接所述的扩散泵；所述的旁路阀另一端接预抽管道，并且所述的预抽管道另一端接所述的真空室；所述的预阀另一端接所述的高真空管道，并且所述的高真空管道另一端接所述的高真空室；所述的扩散泵远离所述的机械泵一侧设置有所述的箱体底架，并且所述的真空室设置在所述的箱体底架上部；所述的真空室底部设置有所述的隔热板，上部设置有所述的工件盘。...

【技术特征摘要】
1.一种光学真空镀膜机抽气装置，其特征在于：包括机械泵、罗茨泵、抽气管道、波纹管、旁路阀、高真空阀、真空室、工件盘、隔热板、箱体底架、扩散泵、冷阱和抽气管道支架；所述的机械泵设置在地面，并且所述的罗茨泵设置在所述的机械泵顶部；机械泵输出管道设置在所述的机械泵和罗茨泵之间；所述的机械泵输出管道为90°金属弯管，并且一端接所述的机械泵，另一端接所述的罗茨泵；所述的扩散泵设置在所述的机械泵一侧；所述的高真空阀设置在所述的扩散泵上方，并且所述的冷阱所述的高真空阀与扩散泵之间；所述的扩散泵上部设置有所述的抽气管道，并且所述的抽气管道为90°金属弯管；所述的抽气管道经所述的抽气管道支架支撑；所述的罗茨泵和扩散泵之间设置有四通管，并且所述的四通管的四个通路分别连接所述的抽气管道、扩散泵管道、旁路阀和预阀；所述的扩散泵管道中部设置有所述的波纹管，并且所述的扩散泵管道另一端接所述的扩散泵；所述的旁路阀另一端接预抽管道，并且所述的预抽管道另一端接所述的真空室；所述的预阀另一端接所述的高真空管道，并且所述的高真空管道另一端接所述的高真空室；所述的扩散泵远离所述的机械泵一侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘欣宁，刘旸，毕耀洲，
申请(专利权)人：河南工业职业技术学院，
类型：新型
国别省市：河南,41