一种石墨舟接驳缓存方法技术

技术编号:19431028 阅读:66 留言:0更新日期:2018-11-14 11:45
本发明专利技术公开了一种石墨舟接驳缓存方法,包括以下步骤:S1、在石墨舟装卸片机与PECVD设备之间设置一个具有第一缓存工位、第二缓存工位和第三缓存工位的接驳缓存机构;S2、将石墨舟装卸片机中的第一石墨舟运输至第一缓存工位;S3、将PECVD设备中的第二石墨舟运输至第三缓存工位;S4、将第一缓存工位上的第一石墨舟运输至第二缓存工位,然后再将第二缓存工位上的第一石墨舟运输至PECVD设备;S5、将第三缓存工位上的第二石墨舟运输至第二缓存工位,然后再将第二缓存工位上的第二石墨舟运输至石墨舟装卸片机。本发明专利技术可以先将第二石墨舟放置在第三缓存工位进行充分冷却后,再运输至石墨舟装卸片机进行卸片处理,从而提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟接驳缓存方法
本专利技术涉及石墨舟运送
,更具体地说是一种石墨舟接驳缓存方法。
技术介绍
随着时间的推移,化石能源的稀缺性越来越明显。在化石能源供应日趋紧张的背景下,太阳能作为人类取之不尽用之不竭的可再生能源,其特有的充分清洁性,绝对安全性,相对的广泛性,在长期的能源战略中具有重要的影响地位。石墨舟自动装卸片机作为光伏制造业自动化设备的典型代表,用于太阳能电池片生产过程中的PECVD(等离子体增强化学的气相沉积法)工艺前后,将硅片自动装载到石墨舟中或将石墨舟中的硅片自动装载到片篮中,其具有自动化及生产效率高、减少人工与硅片的接触污染、大幅度增加取放片的稳定性等特点,被业界公认为光伏制造行业的重点设备。在线式石墨舟自动装卸片机无需人工搬运,即可将装片完成的石墨舟自动运送至PECVD设备。相较于离线式石墨舟自动装卸片机具有快速高效,减少人工与石墨舟接触,同时可以满足全厂无人自动化等特点。但是由于PECVD工艺设备的特殊性,传统在线式石墨舟自动装卸片机与PECVD设备在对接时存在以下问题:一是,石墨舟需冷却充分才可对硅片进行自动卸片处理,当石墨舟温度高于40°C时,无法进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨舟接驳缓存方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、在石墨舟装卸片机与PECVD设备之间设置一个具有第一缓存工位、第二缓存工位和第三缓存工位的接驳缓存机构;S2、将石墨舟装卸片机中的第一石墨舟运输至第一缓存工位;S3、将PECVD设备中的第二石墨舟运输至第三缓存工位;S4、将第一缓存工位上的第一石墨舟运输至第二缓存工位,然后再将第二缓存工位上的第一石墨舟运输至PECVD设备;S5、将第三缓存工位上的第二石墨舟运输至第二缓存工位,然后再将第二缓存工位上的第二石墨舟运输至石墨舟装卸片机。

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟接驳缓存方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、在石墨舟装卸片机与PECVD设备之间设置一个具有第一缓存工位、第二缓存工位和第三缓存工位的接驳缓存机构;S2、将石墨舟装卸片机中的第一石墨舟运输至第一缓存工位;S3、将PECVD设备中的第二石墨舟运输至第三缓存工位;S4、将第一缓存工位上的第一石墨舟运输至第二缓存工位,然后再将第二缓存工位上的第一石墨舟运输至PECVD设备;S5、将第三缓存工位上的第二石墨舟运输至第二缓存工位,然后再将第二缓存工位上的第二石墨舟运输至石墨舟装卸片机。2.根据权利要求1所述的石墨舟接驳缓存方法,其特征在于,所述步骤S2包括:S21、先将石墨舟装卸片机中的第一石墨...

【专利技术属性】
技术研发人员:邓金生黄元俊周宏业张勇
申请(专利权)人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
类型:发明
国别省市:广东,44

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