【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光伏，尤其涉及一种气氛隔离装置及镀膜设备。
技术介绍
1、光伏电池在制备过程中一次性镀制多层电池膜层，不同的电池膜层在不同的镀膜室内通过反应沉积形成，相邻的镀膜室需进行隔离，以避免镀膜室之间的气氛相互污染；相关技术中，采用在镀膜室之间增设隔离室，并通过真空泵抽气的方法隔离气氛，镀膜室内的反应气体被载板从镀膜室带到隔离室中，并被真空泵抽走，但仍存在部分气体会跟随载板的输送进入另一镀膜室中，气氛隔离效果有限，影响膜层的纯净度。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种气氛隔离装置，能够提升镀膜室之间的隔离效果及镀膜质量。
2、本技术还提出一种具有上述气氛隔离装置的度设备。
3、根据本技术的第一方面实施例的气氛隔离装置，设置于相邻的镀膜室之间并进行气氛隔离，包括：
4、第一抽气室，内部设有第一抽气腔，还具有相对设置且与所述第一抽气腔连通的第一进气口与第二进气口，所述第一进气口用于与其中一个所述镀膜室连通；
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【技术保护点】
1.气氛隔离装置，设置于相邻的镀膜室之间并进行气氛隔离，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的气氛隔离装置，其特征在于，所述充气机构限定出用于供载板通过的输送口，所述充气机构包括充气主体，所述充气主体设置于所述输送口的至少一侧；其中，所述充气主体朝向所述输送口的一侧设有充气狭缝，所述充气狭缝所释放的气流在所述输送口内形成气幕；
3.根据权利要求2所述的气氛隔离装置，其特征在于，所述充气主体设有充气口与多个沿所述充气狭缝的延伸方向间隔排布的流道，所述充气口用于接收外部引入的气流，每一所述充气主体内的流道均朝向另一所述充气主体延伸，所述充气主...
【技术特征摘要】
1.气氛隔离装置，设置于相邻的镀膜室之间并进行气氛隔离，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的气氛隔离装置，其特征在于，所述充气机构限定出用于供载板通过的输送口，所述充气机构包括充气主体，所述充气主体设置于所述输送口的至少一侧；其中，所述充气主体朝向所述输送口的一侧设有充气狭缝，所述充气狭缝所释放的气流在所述输送口内形成气幕；
3.根据权利要求2所述的气氛隔离装置，其特征在于，所述充气主体设有充气口与多个沿所述充气狭缝的延伸方向间隔排布的流道，所述充气口用于接收外部引入的气流，每一所述充气主体内的流道均朝向另一所述充气主体延伸，所述充气主体相向的一侧设有充气狭缝，所述充气狭缝的延伸方向垂直于所述第一抽气室与所述第二抽气室的排布方向，所述充气狭缝所释放的气流在所述输送口内形成气幕，每一所述流道的一端均与所述充气口连通，每一所述流道的另一端均与所述充气狭缝连通。
4.根据权利要求2所述的气氛隔离装置，其特征在于，至少一个所述充气主体滑动连接于所述隔离室，并能够沿两个所述充气主体的排布方向移动。
5.根据权利要求4所述的气氛隔离装置，其特征在于，所述充气机构还包括固定结构，所述固定结构的周侧连接于...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱翔宇，夏世延，葛光星，张凡，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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