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本技术公开了一种气氛隔离装置及镀膜设备，设置于相邻的镀膜室之间并进行气氛隔离，气氛隔离装置包括第一抽气室、第二抽气室、隔离室、第一抽气机构、第二抽气机构与充气机构，充气机构向隔离室内充气，第一抽气室具有相对设置的第一进气口与第二进气口，第二...
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