传送盒与半导体制程元件传输系统技术方案

本公开提供一种传送盒，包括底座、控制电路、固定装置。底座设置于传送盒内部。固定装置被配置于底座上方且连接控制电路。固定装置包括传动装置以及固定件。其中，控制电路可通过传动装置选择性地使固定件向底座延伸。本公开提供的传送盒可通过自动化的方式于晶圆厂的不同设备之间传送，借此减少或避免人为搬运所产生的风险。

【技术实现步骤摘要】
传送盒与半导体制程元件传输系统
本公开涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种容纳半导体制程元件的传送盒。
技术介绍
在半导体制程中，半导体制程元件可能需要在各个阶段中被传送到不同的设备。举例而言，应用于微影技术(Lithography))的掩模(photomask)可能需要在不同的设备之间传送。一般而言，掩模是放置于掩模盒中以进行传送。若以人力搬运上述掩模盒(例如以推车运送多个掩模盒)，可能会有掉落的风险，或是可能在人力搬运的过程中使上述掩模盒承受额外的振动，导致掩模受到损坏。因此，需要一种传送盒，可通过自动化的方式于晶圆厂的不同设备之间传送，借此减少或避免人为搬运所产生的风险。
技术实现思路
本专利技术一些实施例提供一种传送盒，传送盒包括底座、控制电路、固定装置。底座设置于传送盒内部。固定装置被配置于底座上方且连接控制电路。固定装置包括传动装置以及固定件。控制电路可通过传动装置选择性地使固定件向底座延伸。本专利技术一些实施例提供一种半导体制程元件传输系统，包括传送盒以及头顶式升降搬运系统(OverheadHoistTransport,OHT)。传送盒包括底座、控制电路、固定装置。底座设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传送盒，其特征在于，包括：一底座，设置于该传送盒内部；一控制电路；以及一固定装置，被配置于该底座上方且连接该控制电路，该固定装置包括：一传动装置；以及一固定件；其中，该控制电路可通过该传动装置选择性地使该固定件向该底座延伸。

【技术特征摘要】
1.一种传送盒，其特征在于，包括：一底座，设置于该传送盒内部；一控制电路；以及一固定装置，被配置于该底座上方且连接该控制电路，该固定装置包括：一传动装置；以及一固定件；其中，该控制电路可通过该传动装置选择性地使该固定件向该底座延伸。2.如权利要求1所述的传送盒，其特征在于，还包括：一距离感测电路，耦接该控制电路，选择性地输出一控制信号至该控制电路；其中，该控制电路依据该控制信号控制该传动装置，致使该固定件向该底座延伸。3.如权利要求2所述的传送盒，其特征在于，该距离感测电路选择性地向该底座发送一信号，并且接收该信号所产生的一第一反射信号；其中，当该距离感测电路接收具有一第一能量的该第一反射信号时，该距离感测电路将该控制信号发送至该控制电路。4.如权利要求1所述的传送盒，其特征在于，该固定件包括：一第一可移动件；一第二可移动件；一弹性体，可沿一第一方向伸缩；以及一接触部，连接该弹性体，且该接触部包括一第一接触面与一第二接触面；其中该第一接触面可选择性地接触该第一可移动件的一第三接触面，且该第二接触面可选择性地接触该第二可移动件的一第四接触面。5.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：李雨青，方玉标，王育青，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71