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本发明公开了一种石墨舟接驳缓存方法，包括以下步骤:S1、在石墨舟装卸片机与PECVD设备之间设置一个具有第一缓存工位、第二缓存工位和第三缓存工位的接驳缓存机构；S2、将石墨舟装卸片机中的第一石墨舟运输至第一缓存工位；S3、将PECVD设备中...
该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司授权不得商用。

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