一种物理化学气相沉积装置制造方法及图纸

技术编号:19310557 阅读:83 留言:0更新日期:2018-11-03 06:35
本实用新型专利技术公开了一种物理化学气相沉积装置,包括机壳,机壳的下方设有一个底座,底座的内部设有一个气罐,气罐的内部设有气泵,底座的上方设有一根支撑柱,机壳上还设有中控部件,中控部件包括壳体,壳体的内部设有蓄电池,蓄电池电连接有充电电路,该物理化学气相沉积装置中,通过旋转接头的转动,来使得斜齿轮控制凸轮转动,能够实现喷气管的上下摆动,使得气体进入到机壳中的时候,能够均匀导入,提高了装置的实用性;不仅如此,通过充电电路,能够对蓄电池进行可靠充电,提高了装置的可靠性,本实用新型专利技术设计合理,适合推广使用。

【技术实现步骤摘要】
一种物理化学气相沉积装置
本技术涉及应用仪器设备
,具体涉及一种物理化学气相沉积装置。
技术介绍
在现有的物理化学气相沉积装置中,在对气体进行导入的时候,都是通过一个导入管导入,这样就会造成装置内部的气体局部过多,需要通过长时间的均匀以后,才可以进行试验,这样就降低了装置的效率;不仅如此,为了增加装置的智能化,一般都是加入智能化部件,此时就需要蓄电池来对其提供续航,而在对蓄电池进行充电的时候,会因为内部的充电电路缺少有效的反馈,导致了过充等现象,从而降低了装置的可靠性。
技术实现思路
本技术为了克服上述的不足,提供一种物理化学气相沉积装置。本技术通过以下技术方案来实现上述目的:一种物理化学气相沉积装置,包括机壳,机壳的下方设有一个底座,底座的内部设有一个气罐,气罐的内部设有气泵,底座的上方设有一根支撑柱,且通过支撑柱与机壳连接,支撑柱的两侧均设有一根导管,气罐与两根导管均连通,每根导管连接有一根喷气管,每根喷气管的一端位于机壳的内部,另一端铰接有一根升降杆,升降杆的底端设有一个水平设置的平板,该平板的下方设有一个凸轮,该凸轮同轴设置有一个斜齿轮,该凸轮和对应的斜齿轮共同连接在一根支撑杆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物理化学气相沉积装置,其特征在于:包括机壳,机壳的下方设有一个底座,底座的内部设有一个气罐,气罐的内部设有气泵,底座的上方设有一根支撑柱,且通过支撑柱与机壳连接,支撑柱的两侧均设有一根导管,气罐与两根导管均连通,每根导管连接有一根喷气管,每根喷气管的一端位于机壳的内部,另一端铰接有一根升降杆,升降杆的底端设有一个水平设置的平板,该平板的下方设有一个凸轮,该凸轮同轴设置有一个斜齿轮,该凸轮和对应的斜齿轮共同连接在一根支撑杆上,两个斜齿轮之间传动连接有一个圆柱齿轮,圆柱齿轮套设在支撑柱的外周,支撑柱的内部设有一个旋转接头,且旋转接头的内壁设有桨叶,圆柱齿轮套设在旋转接头的外周;所述机壳的内...

【技术特征摘要】
1.一种物理化学气相沉积装置,其特征在于:包括机壳,机壳的下方设有一个底座,底座的内部设有一个气罐,气罐的内部设有气泵,底座的上方设有一根支撑柱,且通过支撑柱与机壳连接,支撑柱的两侧均设有一根导管,气罐与两根导管均连通,每根导管连接有一根喷气管,每根喷气管的一端位于机壳的内部,另一端铰接有一根升降杆,升降杆的底端设有一个水平设置的平板,该平板的下方设有一个凸轮,该凸轮同轴设置有一个斜齿轮,该凸轮和对应的斜齿轮共同连接在一根支撑杆上,两个斜齿轮之间传动连接有一个圆柱齿轮,圆柱齿轮套设在支撑柱的外周,支撑柱的内部设有一个旋转接头,且旋转接头的内壁设有桨叶,圆柱齿轮套设在旋转接头的外周;所述机壳的内部还设有一个反应平台,反应平台的上下两侧均设有一个加热器;所述机壳上还设有中控部件,中控部件包括壳体,壳体的内部设有蓄电池,蓄电池电连接有充电电路,充电电路包括稳压三极管、运放、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第七电阻、二极管、开关、发光二极管、第一电容、第二电容和第三电容,稳压三极管的型号为LM305,稳...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭慧卿胡密霞陈建平成日青王来兵马岚齐和日玛李雪于姝燕杜艳青
申请(专利权)人:内蒙古医科大学
类型:新型
国别省市:内蒙古,15

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