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本实用新型公开了一种物理化学气相沉积装置，包括机壳，机壳的下方设有一个底座，底座的内部设有一个气罐，气罐的内部设有气泵，底座的上方设有一根支撑柱，机壳上还设有中控部件，中控部件包括壳体，壳体的内部设有蓄电池，蓄电池电连接有充电电路，该物理化...
该专利属于内蒙古医科大学所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古医科大学授权不得商用。

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