一种磁控溅射织物样品夹持器制造技术

本发明专利技术公开了一种磁控溅射织物样品夹持器，包括固定架、样品盘和样品夹紧圈；固定架包括底架、左挡块、右挡块、后挡块、左弹性片和右弹性片，底架设有U型槽，所述左挡块、右挡块、后挡块与底架形成用于容置样品盘的固定腔，所述样品盘通过U型槽可拆卸安装在固定腔内；所述左弹性片和右弹性片对应设置于左挡块和右挡块的内侧靠近U型槽的位置；样品盘设有一圆形凹槽，样品夹紧圈弹性安装在样品盘的圆形凹槽里。本发明专利技术的夹持器能夹持住一定大小的圆形织物样品，样品均匀受力使表面平整，样品正面向下受溅射作用而镀膜，解决了现在技术的样品夹持不牢而掉落、柔性样品表面不平整等的不足，样品夹持牢固，表面平整，而且方便更换样品。

A magnetron sputtered fabric sample holder

The invention discloses a magnetron sputtering fabric sample holder, which comprises a fixing frame, a sample disc and a sample clamping ring; the fixing frame comprises a chassis, a left block, a right block, a rear block, a left elastic sheet and a right elastic sheet; the chassis is provided with a U-shaped groove, and the left block, a right block, a rear block and a chassis form a sample plate for holding. The left elastic sheet and the right elastic sheet are correspondingly arranged in the inner side of the left block and the right block near the U-shaped slot; the sample plate is provided with a circular groove, and the sample clamping ring is elastically installed in the circular groove of the sample disk. The gripper of the invention can hold a circular fabric sample of a certain size, uniform force on the sample can make the surface smooth, the front of the sample is sputtered downward and coated, which solves the problems of unstable sample gripping and falling, unequal surface of flexible sample, firm sample gripping, smooth surface, and convenient and more. Change the sample.

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射织物样品夹持器
本专利技术涉及磁控溅射设备领域，特别是涉及一种磁控溅射织物样品夹持器。
技术介绍
目前，磁控溅射技术在制备纳米防辐射布具有良好的应用前景。因此，研究磁控溅射法制备纳米防辐射布过程中的各工艺因素，对制得的纳米防辐射布屏蔽效能的影响，已然成为了世界各国研究的热点。现有的磁控溅射镀膜设备通常在设备的上部位置设置样品台，相对的靶安装在样品台的下方，样品需要通过夹持器固定在样品台下表面，然而现有的样品夹持器大多是应用到非柔性材料上，当使用柔性材料如纺织品织物作为样品基底时，要保证织物样品被牢固固定且要保证表面平整，以免对成膜的均匀性和致密性造成影响。
技术实现思路
为克服现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种磁控溅射织物样品夹持器，能够实现样品夹持牢固，表面平整，而且方便更换样品。本专利技术为解决其技术问题采用的技术方案是：一种磁控溅射织物样品夹持器，包括固定架、样品盘和样品夹紧圈；所述固定架包括底架，及设置在底架上的左挡块、右挡块、后挡块、左弹性片和右弹性片，所述底架设有向前侧开口的U型槽，所述左挡块、右挡块和后挡块分别位于U型槽的左侧、右侧和后侧，所述左挡块、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：包括固定架(1)、样品盘(2)和样品夹紧圈(3)；所述固定架(1)包括底架(11)，及设置在底架(11)上的左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)、左弹性片(14a)和右弹性片(14b)，所述底架(11)设有向前侧开口的U型槽，所述左挡块(12a)、右挡块(12b)和后挡块(13)分别位于U型槽的左侧、右侧和后侧，所述左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)与底架(11)形成用于容置样品盘(2)的固定腔，所述样品盘(2)通过U型槽可拆卸安装在固定腔内；所述左弹性片(14a)和右弹性片(14b)对应设置于左挡块(12a)和右挡块(...

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：包括固定架(1)、样品盘(2)和样品夹紧圈(3)；所述固定架(1)包括底架(11)，及设置在底架(11)上的左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)、左弹性片(14a)和右弹性片(14b)，所述底架(11)设有向前侧开口的U型槽，所述左挡块(12a)、右挡块(12b)和后挡块(13)分别位于U型槽的左侧、右侧和后侧，所述左挡块(12a)、右挡块(12b)、后挡块(13)与底架(11)形成用于容置样品盘(2)的固定腔，所述样品盘(2)通过U型槽可拆卸安装在固定腔内；所述左弹性片(14a)和右弹性片(14b)对应设置于左挡块(12a)和右挡块(12b)的内侧靠近U型槽的位置，并分别具有向上凸起的用于顶压样品盘(2)的拱形部(141)；所述样品夹紧圈(3)具有弹性且设置有缺口(31)，所述样品盘(2)设有一圆形凹槽(22)，所述样品夹紧圈(3)弹性安装在样品盘(2)的圆形凹槽(22)里。2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射织物样品夹持器，其特征在于：所述样品盘(2)连接有把手(21)。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄美林，杜文琴，巫莹柱，叶丽华，任永聪，林雪莹，王晓如，梁竞鹏，
申请(专利权)人：五邑大学，
类型：发明
国别省市：广东,44