成膜方法、导电性层压结构体及电子装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种成膜方法、导电性层压结构体及电子装置。本发明专利技术的成膜方法简单且容易地、在工业上有利地对基材密合性良好地形成导电性金属氧化膜。在通过将对含有金属的原料溶液进行雾化或液滴化而生成的雾或液滴利用载气运送到基体，接着在该基体上使该雾或液滴进行热反应，从而在该基体上形成导电性金属氧化膜的成膜方法中，使用表面的一部分或全部含有铜或铜合金、铝或铝合金、镁或镁合金、或者不锈钢作为主要成分的基体作为所述基体来进行成膜。

Film forming method, conductive laminated structure and electronic device

The invention provides a film forming method, a conductive laminated structure and an electronic device. The film forming method of the present invention is simple and easy to form conductive metal oxide film with good substrate tightness in industry. In the process of forming a film on the substrate by atomizing or dropping a solution of a raw material containing metal, a mist or drop is transported to the substrate by carrier gas, and then the mist or drop is thermally reacted on the substrate, thereby forming a conductive metal oxide film on the substrate, part or all of the surface containing copper or copper is used. Alloys, aluminium or aluminium alloys, magnesium or magnesium alloys, or stainless steel are used as the matrix of the main components to form films.

【技术实现步骤摘要】
成膜方法、导电性层压结构体及电子装置
本专利技术涉及一种对于要求耐腐蚀性、导电性的燃料电池用隔离件的制造有用的、新的成膜方法。
技术介绍
关于固体高分子型燃料电池用隔离件，其具有导电性，将燃料电池的各个单元电池电连接以收集在各个单元电池中产生的能量(电)，并且形成有液体及气体的流路，具有将燃料气体及氧化性气体供给到电池面内以及将在阴极侧生成的水与反应后的空气等一同从燃料电池中排出的作用。而且，对于隔离件，还要求用于防止燃料气体与空气混合的气密性、发电环境下的耐腐蚀性等特性。作为用于隔离件的材料，主要可举出碳系材料和金属材料。使用碳系材料的隔离件在耐腐蚀性方面优异，但导电性存在问题，而且为了获得足够的强度和气密性，需要一定的厚度，因此成为阻碍小型化和薄型化的主要因素。而且，碳系材料存在材料成本及加工成本大的问题。另一方面，使用金属材料的隔离件由于在强度和气密性方面没有问题，因此能够形成薄片，但是容易发生腐蚀，在耐腐蚀性方面存在问题。作为耐腐蚀性比较优异的金属制隔离件，研究了一种使用不锈钢的隔离件。不锈钢隔离件通常在不锈钢原材料表面自然形成有钝化膜，该钝化膜成为使接触电阻升高的原因。而且本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种成膜方法，通过将对含有金属的原料溶液进行雾化或液滴化而生成的雾或液滴利用载气运送到基体，接着在该基体上使该雾或液滴进行热反应，从而在该基体上形成导电性金属氧化膜，其特征在于，所述基体表面的一部分或全部含有铜或铜合金、铝或铝合金、镁或镁合金、或者不锈钢作为主要成分。

【技术特征摘要】
2017.03.31 JP 2017-0732961.一种成膜方法，通过将对含有金属的原料溶液进行雾化或液滴化而生成的雾或液滴利用载气运送到基体，接着在该基体上使该雾或液滴进行热反应，从而在该基体上形成导电性金属氧化膜，其特征在于，所述基体表面的一部分或全部含有铜或铜合金、铝或铝合金、镁或镁合金、或者不锈钢作为主要成分。2.根据权利要求1所述的成膜方法，其中，导电性金属氧化膜为两层以上的多层膜。3.根据权利要求1或2所述的成膜方法，其中，所述金属为元素周期表第3周期～第5周期的金属。4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的成膜方法，其中，所述金属为选自由铟、锡、锌和铬组成的组中的一种或两种以上的金属。5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的成膜方法，其中，所述基体表面的一部分或全部含有不锈钢作为主要成分。6.根据权利要求1～5中的任意一项所述的成膜方法，其中，所述基体为板状，在所述基体的两个面上进行所述成膜。7.根据权利要求1～6中的任意一项所述的成膜方法，其中，所述基体在表面的一部分或全部具有凹凸形状。8.根据权利要求7所述的成膜方法，其中，所述凹凸形状形成流路图案。9.根据权利要求1～8中的任意一项所述的成膜方法，其中，使用超声波振动来进行所述雾化或液滴化。10.根据权利要求1～9中的任意...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳生慎悟，井川拓人，人罗俊实，
申请(专利权)人：流慧株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP