镀覆方法、记录介质、镀覆装置以及镀覆系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供镀覆方法、记录介质、镀覆装置以及镀覆系统。镀覆方法能够在基板的镀覆中在运输机、镀覆槽等发生故障的情况下拯救基板。在镀覆方法中，由运输机(40)将多个基板分别输送至多个镀覆槽(25)，使多个基板浸渍于多个镀覆槽(25)内的镀覆液，对多个基板进行镀覆，对在运输机(40)或后处理槽发生故障进行检测，由保存液置换多个镀覆槽(25)内的镀覆液，使多个基板浸渍于保存液中。

【技术实现步骤摘要】
镀覆方法、记录介质、镀覆装置以及镀覆系统
本专利技术涉及对晶片等基板进行镀覆的方法及装置，尤其涉及在镀覆装置发生故障时能够拯救基板的镀覆方法及镀覆装置。
技术介绍
镀覆装置一般具备：对基板进行镀覆的镀覆槽；对镀覆前的基板进行清洗的前清洗槽；对镀覆后的基板进行漂洗的漂洗槽；使漂洗后的基板干燥的吹风槽等多种处理槽。基板在保持于基板保持架的状态下通过运输机输送至各处理槽。具体而言，基板保持架通过运输机设置于各处理槽内，在基板保持于基板保持架的状态下在各处理槽内进行处理。在镀覆槽中，基板浸在预先设定的时间期间浸渍于镀覆液。通过运输机从镀覆槽取出保持有镀覆后的基板的基板保持架，通过运输机输送至下一个处理槽。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011-146448号公报专利文献2：日本特开2016-89253号公报专利技术要解决的课题若在基板的镀覆中镀覆装置发生故障，则会有无法从镀覆槽取出基板的情况。尤其是，若在基板的镀覆中发生运输机的故障、镀覆槽的故障、漂洗槽的故障等，则实质上无法使基板移动到下一个工序。其结果是，基板以浸渍于镀覆液中的状态而放置于镀覆槽内。若基板长时间与镀覆液接触，则堆积于基板的金属膜被镀覆液溶解或变质。
技术实现思路
因此，本专利技术的目的在于提供一种镀覆方法及镀覆装置，当在基板镀覆中运输机、镀覆槽等发生故障的情况下能够拯救基板。用于解决课题的手段为了达成上述目的，本专利技术的一方式是一种镀覆方法，其特征在于，由运输机将多个基板分别输送至多个镀覆槽，使所述多个基板浸渍于所述多个镀覆槽内的镀覆液，对该多个基板进行镀覆，对在所述运输机或后处理槽发生了故障的情况进行检测，由保存液置换所述多个镀覆槽内的镀覆液，使所述多个基板浸渍于保存液中。本专利技术优选的方式的特征在于，以对于所述多个镀覆槽的每一个镀覆槽预先设定的镀覆时间所经过的顺序，由保存液置换所述多个镀覆槽内的镀覆液，使所述多个基板浸渍于保存液中。本专利技术优选的方式的特征在于，所述多个镀覆槽具备多个镀覆单元和多个溢流槽，在所述镀覆液的置换后，使所述保存液从所述多个镀覆单元溢出并流入所述多个溢流槽。本专利技术优选的方式的特征在于，还包含如下工序：将所述多个镀覆槽内的镀覆液运送至镀覆液贮存器。本专利技术优选的方式的特征在于，还包含如下工序：从所述多个镀覆槽排出所述保存液，从所述镀覆液贮存器向所述多个镀覆槽供给镀覆液。本专利技术优选的方式的特征在于，所述保存液是纯水或者脱气后的纯水。本专利技术的一方式是一种镀覆方法，其特征在于，由运输机将多个基板分别输送至多个镀覆槽，使所述多个基板浸渍于所述多个镀覆槽内的镀覆液，对该多个基板进行镀覆，在所述多个基板的镀覆中对在所述多个镀覆槽中的任意一个镀覆槽发生了故障的情况进行检测，由保存液置换发生了所述故障的镀覆槽内的镀覆液，使基板浸渍于保存液中。本专利技术优选的方式的特征在于，由保存液置换发生了所述故障的镀覆槽内的镀覆液，使基板浸渍于保存液中，另一方面，在其他的镀覆槽中继续基板的镀覆。本专利技术优选的方式的特征在于，所述镀覆槽具备镀覆单元和溢流槽，在所述镀覆液的置换后，使所述保存液从所述镀覆单元溢出并流入所述溢流槽。本专利技术优选的方式的特征在于，还包含如下工序：将所述镀覆槽内的镀覆液运送至镀覆液贮存器。本专利技术优选的方式的特征在于，还包含如下工序：从所述镀覆槽排出所述保存液，从所述镀覆液贮存器向所述镀覆槽供给镀覆液。本专利技术优选的方式的特征在于，所述保存液是纯水或者脱气后的纯水。本专利技术的一方式是一种记录介质，其特征在于，记录有如下程序：在通过计算机执行用于控制镀覆装置的动作的程序时，所述计算机对所述镀覆装置进行指令，使所述计算机执行上述镀覆方法。本专利技术的一方式是一种镀覆装置，其特征在于，具备：多个镀覆槽，该多个镀覆槽具有多个镀覆单元及多个溢流槽；运输机，该运输机将多个基板输送至所述多个镀覆槽；后处理槽，该后处理槽对由所述多个镀覆槽镀覆后的所述多个基板进行后处理；故障检测器，该故障检测器对所述多个镀覆槽、所述运输机及所述后处理槽的故障进行检测；多个镀覆液供给线，该多个镀覆液供给线分别连接于所述多个镀覆槽；多个镀覆液排出线，该多个镀覆液排出线分别连接于所述多个镀覆槽；以及多个保存液供给线，该多个保存液供给线分别连接于所述多个镀覆槽。本专利技术优选的方式的特征在于，还具备多个排液线，该多个排液线分别连接于所述多个镀覆槽。本专利技术优选的方式的特征在于，所述多个保存液供给线分别连接于所述多个镀覆单元，所述多个排液线连接于所述多个镀覆单元及所述多个溢流槽。本专利技术优选的方式的特征在于，还具备：多个保存液供给阀，该多个保存液供给阀分别安装于所述多个保存液供给线；多个排液阀，该多个排液阀分别安装于所述多个排液线；以及动作控制部，该动作控制部对所述多个保存液供给阀及所述多个排液阀进行操作。本专利技术优选的方式的特征在于，还具备镀覆液贮存器，该镀覆液贮存器连接于所述多个镀覆液供给线及所述多个镀覆液排出线。本专利技术的其他方式是一种镀覆系统，其特征在于，具备：镀覆装置；边缘服务器，该边缘服务器从所述镀覆装置的动作数据提取特征量数据；以及计算机，该计算机基于所述特征量数据对所述镀覆装置的故障进行预测。专利技术效果根据本专利技术，当在基板的镀覆中在运输机、镀覆槽等发生故障的情况下，将镀覆槽内的镀覆液置换成保存液。取代镀覆液，镀覆后的基板与保存液接触，因此能够防止基板上的金属膜的溶解、变质。进一步，根据本专利技术，能够选择地仅将多个镀覆槽中的任意一个镀覆槽的镀覆液置换成保存液。因此，能够在其他的镀覆槽中继续基板的镀覆。附图说明图1是示意地表示镀覆装置的一实施方式的俯视图。图2是表示运输机的升降机及臂的主视图。图3是基板保持架的示意图。图4是表示基板保持架打开状态的示意图。图5是表示镀覆槽的图。图6是表示故障发生后的动作的一例的流程图。图7是表示将镀覆槽内的镀覆液置换成保存液的工序的一例的流程图。图8是表示取代保存液而由漂洗液置换镀覆液的一实施方式的流程图。图9是表示将镀覆槽内的保存液置换成镀覆液的工序的一例的流程图。图10是表示动作控制部的结构的一例的示意图。图11是示意地表示镀覆装置的一实施方式的俯视图。符号说明1镀覆装置2装载口3动作控制部4对准器6自转·漂洗·干燥机(SRD)7故障检测器8固定台10输送机器人11基板保持架14存放装置17前水洗槽(预湿槽)18预浸槽21第一漂洗槽25镀覆槽28第二漂洗槽29吹风槽31镀覆单元32溢流槽34桨叶驱动单元40运输机41移动机构42升降机43臂45把手51第一保持部件52第二保持部件52a第一密封突起52b第二密封突起55电接点60镀覆液供给装置62阳极保持架63不溶解阳极65搅拌桨叶68镀覆电源70镀覆液贮存器71进料器74主供给线74a镀覆液供给线76主排出线76a镀覆液排出线80泵81温度调整器82纯水供给线85保存液供给线87旁通线89排液线91漂洗线93漂洗液供给线V1镀覆液供给阀V2镀覆液排出阀V3保存液供给阀V4旁通阀V5排液阀V6漂洗阀V7漂洗液供给阀具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1是示意地表示镀覆装置的一实施方式的俯视图。如图1所示，镀覆装置1具备：搭载收纳有晶片等基板的盒的三台的装载口2；控制镀覆装置1的各设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀覆方法，其特征在于，由运输机将多个基板分别输送至多个镀覆槽，使所述多个基板浸渍于所述多个镀覆槽内的镀覆液，并对该多个基板进行镀覆，对在所述运输机或后处理槽发生了故障的情况进行检测，由保存液置换所述多个镀覆槽内的镀覆液，并使所述多个基板浸渍于保存液中。

【技术特征摘要】
2017.03.14 JP 2017-0490441.一种镀覆方法，其特征在于，由运输机将多个基板分别输送至多个镀覆槽，使所述多个基板浸渍于所述多个镀覆槽内的镀覆液，并对该多个基板进行镀覆，对在所述运输机或后处理槽发生了故障的情况进行检测，由保存液置换所述多个镀覆槽内的镀覆液，并使所述多个基板浸渍于保存液中。2.根据权利要求1所述的镀覆方法，其特征在于，以对于所述多个镀覆槽中的每一个镀覆槽预先设定的镀覆时间已经过的顺序，由保存液置换所述多个镀覆槽内的镀覆液，并使所述多个基板浸渍于保存液中。3.根据权利要求1或2所述的镀覆方法，其特征在于，所述多个镀覆槽具备多个镀覆单元和多个溢流槽，在所述镀覆液的置换后，使所述保存液从所述多个镀覆单元溢出并流入所述多个溢流槽。4.根据权利要求1所述的镀覆方法，其特征在于，还包含如下工序：将所述多个镀覆槽内的镀覆液运送至镀覆液贮存器。5.根据权利要求4所述的镀覆方法，其特征在于，还包含如下工序：从所述多个镀覆槽排出所述保存液，从所述镀覆液贮存器向所述多个镀覆槽供给镀覆液。6.根据权利要求1所述的镀覆方法，其特征在于，所述保存液是纯水或者脱气后的纯水。7.一种镀覆方法，其特征在于，由运输机将多个基板分别输送至多个镀覆槽，使所述多个基板浸渍于所述多个镀覆槽内的镀覆液，并对该多个基板进行镀覆，在所述多个基板的镀覆中对在所述多个镀覆槽中的任意一个镀覆槽发生了故障的情况进行检测，由保存液置换发生了所述故障的镀覆槽内的镀覆液，并使基板浸渍于保存液中。8.根据权利要求7所述的镀覆方法，其特征在于，由保存液置换发生了所述故障的镀覆槽内的镀覆液，并使基板浸渍于保存液中，另一方面，在其他的镀覆槽中继续基板的镀覆。9.根据权利要求7或8所述的镀覆方法，其特征在于，所述镀覆槽具备镀覆单元和溢流槽，在所述镀覆液的置换后，使所述保存液从所述镀覆单元溢出并流入所述溢流槽。10.根据权利要求7所述的镀覆方法，其特征在于，还包含如下工序：将所述镀覆槽内的镀覆液运送至镀覆...

【专利技术属性】
技术研发人员：小泉龙也，下山正，长井瑞树，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP