使用电镀和光诱导镀覆两者的用于太阳能电池基板的镀覆装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于太阳能电池基板的镀覆装置，该镀覆装置针对作为要被镀覆的晶片的截面浸没而使用电镀和光诱导镀覆。根据本发明专利技术的镀覆装置(100)包括：基板保持器(130)，该基板保持器(130)被设置在镀覆槽上方，沿着所述基板保持器(130)的上端部(132)支承将要被水平地浸没在所述镀覆槽中的晶片(1)的边缘，并且用作用于使镀覆溶液渗入到所述晶片的截面中的出口；第一镀覆单元(10)，该第一镀覆单元(10)通过设置在镀覆槽的底部处的正电极构件(190)来对晶片(1)执行电镀；第二镀覆单元(20)，该第二镀覆单元(20)位于正电极构件(190)与晶片(1)之间的镀覆槽中，其中，用于朝向所述晶片(1)传递光的多个光源(122)在被密封在镀覆溶液中的同时被布置在水平线上，并且执行光诱导镀覆；以及溶液驱动单元(40)，该溶液驱动单元(40)通过搅拌镀覆溶液来使镀覆溶液通过基板保持器(130)中的上喷出孔(133)溢出。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于在制造太阳能电池时在硅晶片基板上形成电路的镀覆装置(plating device)，并且更具体地，涉及一种使用光诱导镀覆(LIP)技术的镀覆装置。
技术介绍
为了制造太阳能电池，应该在基板晶片上形成电路。电路形成技术能够被分类为常规丝网印刷方法和镀覆方法。丝网印刷方法是使用银浆料的印刷方法，但是由于上升的银(Ag)价格而具有成本竞争力的问题，并且还由于由诸如构成银浆料和玻璃珠的粘合剂这样的外来物质所导致的电导率的恶化而在电力转换效率方面具有限制。因此，近来，一直积极地进行对使用镀覆的方法的研究。因为当晶种层(seed layer)未形成在晶片上时电镀是困难的，所以要求提前在晶片上形成导电层以用于电镀工序。为此，在使用光诱导镀覆来完成镀覆工序之后执行主要电镀的情况已变得众所周知。然而，这种工序在单独的装置中分别被独立地执行，并且因此成为增加成本和时间的原因。本专利技术的专利技术人通过韩国专利特开公开No.10-2013-0084373公开了一种使用电镀和光诱导镀覆的镀覆装置。本专利文献涉及一种在基板的两个表面上使用电镀和光诱导镀覆的方法，但是存在从用于光诱导镀覆本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于太阳能电池基板的镀覆装置，该镀覆装置针对作为要被镀覆的对象并且单个表面被浸没的晶片使用电镀和光诱导镀覆，所述镀覆装置包括：基板安装台，该基板安装台被布置在镀覆槽上方，沿着所述基板安装台的上端部支承水平地浸没在所述镀覆槽中的所述晶片的边缘，并且用作用于将所述晶片的所述单个表面浸没的镀覆溶液的出口；第一镀覆单元，该第一镀覆单元通过安装在所述镀覆槽的下部中的正电极构件来对所述晶片执行电镀；第二镀覆单元，该第二镀覆单元位于所述正电极构件与所述晶片之间的所述镀覆槽中，具有在被密封在所述镀覆溶液中的同时按照水平矩阵形状安装在所述第二镀覆单元上的朝向所述晶片传递光的多个光源，并且执行光诱导镀覆；以及...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.06.30 KR 10-2014-00806591.一种用于太阳能电池基板的镀覆装置，该镀覆装置针对作为要被镀覆的对象并且单个表面被浸没的晶片使用电镀和光诱导镀覆，所述镀覆装置包括：基板安装台，该基板安装台被布置在镀覆槽上方，沿着所述基板安装台的上端部支承水平地浸没在所述镀覆槽中的所述晶片的边缘，并且用作用于将所述晶片的所述单个表面浸没的镀覆溶液的出口；第一镀覆单元，该第一镀覆单元通过安装在所述镀覆槽的下部中的正电极构件来对所述晶片执行电镀；第二镀覆单元，该第二镀覆单元位于所述正电极构件与所述晶片之间的所述镀覆槽中，具有在被密封在所述镀覆溶液中的同时按照水平矩阵形状安装在所述第二镀覆单元上的朝向所述晶片传递光的多个光源，并且执行光诱导镀覆；以及溶液驱动单元，该溶液驱动单元用于搅拌所述镀覆溶液以使所述溶液通过所述基板安装台的上喷出孔溢出。...

【专利技术属性】
技术研发人员：金判洙，李德行，郑运锡，林辰奎，
申请(专利权)人：互进电镀科技有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR