下载使用电镀和光诱导镀覆两者的用于太阳能电池基板的镀覆装置的技术资料

文档序号:13711212

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本发明涉及一种用于太阳能电池基板的镀覆装置,该镀覆装置针对作为要被镀覆的晶片的截面浸没而使用电镀和光诱导镀覆。根据本发明的镀覆装置(100)包括:基板保持器(130),该基板保持器(130)被设置在镀覆槽上方,沿着所述基板保持器(130)的...
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