一种化学气相沉积炉制造技术

本发明专利技术公开了一种化学气相沉积炉，包括炉体，炉体一侧设有炉门，另一侧设有出气罩，出气罩连接出气管；炉体内由左至右依次设有进气管、进气挡板、导流板组件、沉积室；导流板组件包括对称设置的上导流板组件、下导流板组件；沉积室包括左室板、右室板、横网格板、侧室筒，左室板与右室板之间设有横网格板，横网格板与左室板垂直设置；左室板和右室板被横网格板分隔为上下两部分，左室板的上部设有通孔、右室板的下部设有通孔或左室板的下部设有通孔、右室板的上部设有通孔；侧室筒外侧设有加热器。本发明专利技术合理的加热组件的设置及沉积组件的设置，均匀的分布气流，形成厚度一致的覆膜，加工后的产品覆膜厚度一致，成品率高。

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积炉
本专利技术涉及一种工业炉，具体为一种化学气相沉积炉。
技术介绍
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。现有技术中，采用化学气相沉积炉来实现化学沉积，实现覆膜镀层。现有技术中的沉积炉在使用时存在以下问题：1、通常采用高温加热的方式，促进镀膜，（当然也可采用等离子和激光辅助技术可以显著地促进化学反应，使沉积可在较低的温度下进行，但是成本较高，采用高温加热的方式相对于现有手段而言，最为高效），加热时的加热不均，导致覆膜镀层时，形成的覆膜厚度不均；2、进排气的难以有效的控制，同样容易导致覆膜厚度不均；3、由于沉积炉的体积有效，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学气相沉积炉，其特征在于：包括炉体，所述炉体一侧设有炉门，所述炉体的另一侧设有出气罩，所述出气罩连接出气管；所述炉门一端铰链连接炉体，所述炉体内由左至右依次设有进气管、进气挡板、导流板组件、沉积室；所述进气挡板连接炉体的室壁，所述进气挡板与炉体的水平中心轴线的方向垂直，所述进气挡板的中心处设有通孔，所述进气管穿过并固定连接在通孔的边缘处，所述导流板组件包括对称设置的上导流板组件、下导流板组件；所述沉积室包括左室板、右室板、横网格板、侧室筒，所述侧室筒的左侧连接左室板，所述侧室筒的右侧连接右室板，所述左室板与右室板之间设有横网格板，所述横网格板与左室板垂直设置；所述左室板和右室板被横网...

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉，其特征在于：包括炉体，所述炉体一侧设有炉门，所述炉体的另一侧设有出气罩，所述出气罩连接出气管；所述炉门一端铰链连接炉体，所述炉体内由左至右依次设有进气管、进气挡板、导流板组件、沉积室；所述进气挡板连接炉体的室壁，所述进气挡板与炉体的水平中心轴线的方向垂直，所述进气挡板的中心处设有通孔，所述进气管穿过并固定连接在通孔的边缘处，所述导流板组件包括对称设置的上导流板组件、下导流板组件；所述沉积室包括左室板、右室板、横网格板、侧室筒，所述侧室筒的左侧连接左室板，所述侧室筒的右侧连接右室板，所述左室板与右室板之间设有横网格板，所述横网格板与左室板垂直设置；所述左室板和右室板被横网格板分隔为上下两部分，左室板的上部设有通孔、右室板的下部设有通孔或左室板的下部设有通孔、右室板的上部设有通孔；所述侧室筒外侧设有加热器。2.如权利要求1所述的一种化学气相沉积炉，其特征在于：所述左室板与右室板之间设有两块中间室板，所述中间室板与左室板平行设置；所述中...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵成军，
申请(专利权)人：滁州华海中谊工业炉有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34