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本发明公开了一种化学气相沉积炉，包括炉体，炉体一侧设有炉门，另一侧设有出气罩，出气罩连接出气管；炉体内由左至右依次设有进气管、进气挡板、导流板组件、沉积室；导流板组件包括对称设置的上导流板组件、下导流板组件；沉积室包括左室板、右室板、横网格...
该专利属于滁州华海中谊工业炉有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过滁州华海中谊工业炉有限公司授权不得商用。

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