The utility model belongs to the technical field of vapor deposition, in particular to a vapor deposition device, which comprises a driving device, a cavity and a base, a sprinkler head and at least three ejector rods arranged in the inner part of the cavity, and a perforation is arranged at the bottom of the cavity, and the driving device is connected with the base through the perforation. The sprinkler head is arranged above the base, and a through hole matching the number of the ejector rod is arranged on the base. The bottom end of the ejector rod passes through the through hole and is vertically arranged at the bottom of the cavity. A graphite coating is arranged at the top of the ejector rod. A graphite coating is arranged on the top surface of the ejector rod in the vapor deposition equipment, because the graphite coating has good thermal conductivity, the temperature difference between the ejector rod and the depositor is minimized, thereby reducing the imprint of the position where the depositor contacts the ejector rod.
【技术实现步骤摘要】
一种气相沉积设备
本技术属于气相沉积
,具体涉及一种气相沉积设备。
技术介绍
为了开发新的产品将半导体以及显示面板等表面生成镀膜而使用的气相沉积方法在普遍的使用。现有的气相沉积设备中,在沉积设备工作时,沉积体均是放置在基座上,再由电机控制基座上、下运动;当电机控制基座向下运动时,沉积体则被顶杆支撑固定,并保持在原来的位置上;顶杆的顶部一般采用的是铝+阳极化膜制成,具有良好的耐磨性,但是,使用铝+阳极化膜支撑的顶部导热性不是很好,所以,顶杆的顶部与沉积体接触的位置的温度不同,从而导致在沉积体上与顶杆接触的位置处出现印痕。
技术实现思路
为了解决现有技术存在的上述问题,本技术提供一种气相沉积设备,在顶杆的顶部即与沉积体接触的位置设置有石墨涂层,因为石墨涂层与一般的铝+阳极化膜有更好的导热性,使顶杆与沉积体之间的温差降低,从而使沉积体的印痕减小。本技术通过以下技术方案具体实现:一种气相沉积设备,包括驱动装置、腔体和设置在所述腔体内部的基座、喷淋头和至少三个顶杆;所述腔体的底部设置有穿孔,所述驱动装置穿过所述穿孔与所述基座传动连接;所述喷淋头设置在所述基座的上方,所述基座上设置有与所述顶杆的数量相匹配的通孔,所述顶杆的底端穿过所述通孔并竖直的设置在所述腔体的底面,所述顶杆的顶端设置有石墨涂层。作为本技术的进一步优化,所述顶杆上套设有套管,且所述套管的顶端与所述基座的底面连接;所述套管的上部的圆周侧壁上均匀的设置有至少两个第一贯通口,所述套管的下部的圆周侧壁上均匀的设置有至少两个第二贯通口,且所有的所述第一贯通口与所述第二贯通口内均转动设置有滑辊,所述滑辊与所述顶杆的 ...
【技术保护点】
1.一种气相沉积设备,其特征在于:包括驱动装置、腔体(1)和设置在所述腔体(1)内部的基座(2)、喷淋头(4)和至少三个顶杆(5);所述腔体(1)的底部设置有穿孔,所述驱动装置穿过所述穿孔与所述基座(2)传动连接;所述喷淋头(4)设置在所述基座(2)的上方,所述基座(2)上设置有与所述顶杆(5)的数量相匹配的通孔,所述顶杆(5)的底端穿过所述通孔并竖直的设置在所述腔体(1)的底面,所述顶杆(5)的顶端设置有石墨涂层。
【技术特征摘要】
1.一种气相沉积设备,其特征在于:包括驱动装置、腔体(1)和设置在所述腔体(1)内部的基座(2)、喷淋头(4)和至少三个顶杆(5);所述腔体(1)的底部设置有穿孔,所述驱动装置穿过所述穿孔与所述基座(2)传动连接;所述喷淋头(4)设置在所述基座(2)的上方,所述基座(2)上设置有与所述顶杆(5)的数量相匹配的通孔,所述顶杆(5)的底端穿过所述通孔并竖直的设置在所述腔体(1)的底面,所述顶杆(5)的顶端设置有石墨涂层。2.根据权利要求1所述的一种气相沉积设备,其特征在于:所述顶杆(5)上套设有套管(6),且所述套管(6)的顶端与所述基座(2)的底面连接;所述套管(6)的上部的圆周侧壁上均匀的设置有至少两个第一贯通口(71),所述套管(6)的下部的圆周侧壁上均匀的设置有至少两个第二贯通口(72),且所有的所述第一贯通口(71)与所述第二贯通口(72)内均转动设置有滑辊(8),所述滑辊(8)与所述顶杆(5)的圆周侧壁相切,且所述滑辊(8)沿所述顶杆(5)的长度方向滚动。3.根据权利要求2所述的一种气相沉积设备,其特征在于:所述第一贯通口(71)的数量为四个。4.根据权利要求3所述的一种气相沉积设备,其特征在于:所述第二...
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