硅片托举装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片托举装置，包括底框、滑移块、第一升降组件、托架和第二升降组件；滑移块滑动安装于底框上；且能在底框上沿X方向移动；第一升降组件滑动安装于滑移块上；且能在滑移块上沿Y方向移动，第一升降组件包括能在第一升降组件上沿Z方向移动的第一升降板；托架的第一端与第一升降板固定连接，第二端沿X方向延伸；第二升降组件固定于底框上，第二升降板支撑在托架的第二端上，且包括能与第一升降板同步沿Z方向移动的第二升降板。本实用新型专利技术中，托架的两端分别被第一和第二升降组件支撑，且第一和第二升降组件同步运行，保证托架的两端同步移动的前提下，增加托架的支撑点，避免托架移动过程中的晃动，增加托盘平稳性。

【技术实现步骤摘要】
硅片托举装置
本技术涉及太阳能电池
，尤其涉及一种硅片托举装置。
技术介绍
太阳能电池是未来公认的可大规模推广应用的清洁能源之一，随着能源不断减少，且其他能源的使用会带来不可估量的环境污染，人们对清洁能源越来的呼声越来越高，并伴随着国家环保意识的加强，我国也是大力支持这一发电方式，尤其对高效电池方面支持力度逐年上升，而高效异质结电池作为高效电池发电效率前列，在高效电池领域中占据很大的比重。制备该类电池中最为关键的工序和设备就是PECVD制备工艺与设备，而其中硅片的传送作为该工序的一个重要环节，即由传送装置将硅片原片传送到PECVD腔室前，再通过移载机构带动已排布好硅片原片的托盘放置到PECVD的腔室中。由于托盘对应的托架约2.5米左右，并且其尺寸有严格的控制，由于自身刚性和长度原因，很容易造成移载机构托举和下降时产生晃动，那么如何实现托盘的平稳升降，是摆在设计人员面前一大难题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种硅片托举装置，以解决上述问题，保证硅片在托盘上的位置准确，不受升降、输送过程的颤抖和摆动情况的影响，确保硅片的精确输送。本技术提供的硅片托举装置，包括：底框；滑移块，所述滑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片托举装置，其特征在于，包括：底框；滑移块，所述滑移块滑动安装于所述底框上；且所述滑移块能在所述底框上沿X方向移动；第一升降组件，滑动安装于所述滑移块上；且所述第一升降组件能在所述滑移块上沿Y方向移动；所述第一升降组件包括第一升降板，所述第一升降板能在所述第一升降组件上沿Z方向移动；托架，所述托架的第一端与所述第一升降板固定连接，所述托架的第二端沿X方向延伸；第二升降组件，固定于所述底框上，所述第二升降组件包括第二升降板，所述第二升降板支撑所述托架的第二端，所述第二升降板能在所述升降组件上沿Z方向移动，且所述第二升降板与所述第一升降板的移动保持同步。

【技术特征摘要】
1.一种硅片托举装置，其特征在于，包括：底框；滑移块，所述滑移块滑动安装于所述底框上；且所述滑移块能在所述底框上沿X方向移动；第一升降组件，滑动安装于所述滑移块上；且所述第一升降组件能在所述滑移块上沿Y方向移动；所述第一升降组件包括第一升降板，所述第一升降板能在所述第一升降组件上沿Z方向移动；托架，所述托架的第一端与所述第一升降板固定连接，所述托架的第二端沿X方向延伸；第二升降组件，固定于所述底框上，所述第二升降组件包括第二升降板，所述第二升降板支撑所述托架的第二端，所述第二升降板能在所述升降组件上沿Z方向移动，且所述第二升降板与所述第一升降板的移动保持同步。2.根据权利要求1所述的硅片托举装置，其特征在于，所述底框上设有两相互平行且沿X方向的第一轨道；所述滑移块的两端滑动安装于两所述第一轨道上；所述滑移块上设置有沿Y方向的第二轨道；所述第一升降组件滑动安装于所述第二轨道上。3.根据权利要求2所述的硅片托举装置，其特征在于，所述第一升降组件还包括第一安装板；所述第一安装板滑动安装于所述第二轨道上；所述第一安装板设置有沿Z方向的第三轨道，所述第一升降板滑动安装于所述第三轨道上。4.根据权利要求3所述的硅片托举装置，其特征在于，所述第一升降组件还包括第一驱动装置，所述第一驱动装置设置于所述第一安...

【专利技术属性】
技术研发人员：许明现，李文博，郭政，蔡涔，
申请(专利权)人：君泰创新北京科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11