一种具备冷却方式的加热板基座制造技术

本发明专利技术公开了一种具备冷却方式的加热板基座，包括基座板，基座板由加热板和冷却板固定卡接而成，加热器插入槽内卡接有加热器和加热器保护套，加热板在加热空间凹槽的内侧开设有热传感器槽，热传感器槽内卡接有热传感器，冷却管压入槽内卡接有冷却管和冷却管保护套，加热板上的加热空间凹槽正对冷却板上的圆孔，本发明专利技术利用冷却管、进水端和出水端，方便冷却管内进入冷却循环液，进而提高此装置的冷却散热效率，此装置能缩短冷却所需的工艺等待时间，提高工艺收率，进而方便操作者高效率的操作，利用加热器的多股加热丝加热，以保证此装置的加热效率。

【技术实现步骤摘要】
一种具备冷却方式的加热板基座
本专利技术涉及半导体或者液晶面板制造装备用基座
，特别涉及一种具备冷却方式的加热板基座。
技术介绍
在玻璃基板上将薄膜沉积或者刻蚀的工艺一般是在包含真空腔室的半导体工艺装备内进行的。因此此工艺在加工的过程中需要加热板基座进行加热操作，半导体工艺装备可以将化学气相沉积作为例子，是具备支撑玻璃基板和配有的腔室，形成薄膜的装置统称定义。加热板基座在工业加工生产中应用比较广泛，以便于对腔室内的装置或者设备进行加热，传统的加热板基座只具有加热的功能，因此基板的功能单一，一些腔室内的加热板基座在加热后不能很快的恢复到正常温度，也不方便散热，就会造成加热板基座时刻处在高温的环境下，严重影响加热板基座的使用寿命，鉴于此，我们提供一种具备冷却方式的加热板基座。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提供一种具备冷却方式的加热板基座。本专利技术中的一种具备冷却方式的加热板基座，包括基座板，所述基座板由加热板和冷却板固定卡接而成，所述加热板的一侧壁上开设有加热器插入槽，所述加热板的中间开设有加热空间凹槽，其中加热器插入槽连通加热空间凹槽，所述加热器插入槽内卡接有加热器和加热器保护套，其中加热器保护套把加热器的包裹在加热器插入槽内，所述加热板在加热空间凹槽的内侧开设有热传感器槽，所述热传感器槽内卡接有热传感器，其中热传感器的一端连接有热传感器向导，所述热传感器向导的一端连接有热传感器金属丝；所述冷却板的一侧壁上开设有冷却管压入槽，所述冷却板的中间固定开设有圆孔，其中冷却管压入槽连通圆孔，所述冷却管压入槽内卡接有冷却管和冷却管保护套，其中冷却管保护套把冷却管包裹在冷却管压入槽内，所述圆孔的外侧壁边缘固定连接有垂直的第一支撑架和第二支撑架，其中第一支撑架和第二支撑架均远离冷却管压入槽的一侧壁，所述加热板上的加热空间凹槽正对冷却板上的圆孔，其中热传感器金属丝穿插在圆孔内，所述第一支撑架和第二支撑架的一端通过螺帽固定热传感器金属丝。上述方案中，所述加热板上的加热器插入槽和冷却板上的冷却管压入槽形状相同，且加热器插入槽的宽度大于冷却管压入槽的宽度。上述方案中，所述第一支撑架和第二支撑架的形状、大小均相同，其中第一支撑架和第二支撑架固定焊接在冷却板上。上述方案中，所述加热器分为90-90a、91-91a和92-92a三股加热丝，其中90-90a、91-91a和92-92a三股加热丝均插接在加热器插入槽内，且三股加热丝的端头均固定在加热空间凹槽内。上述方案中，所述加热板和冷却板的形状大小均相同，所述加热板和冷却板上均设有多个螺栓孔，且两者通过螺栓固定卡接，其中螺栓螺纹穿插在螺栓孔内，所述圆孔和加热空间凹槽的形状、大小均相同，所述圆孔内卡接有固定块。上述方案中，所述冷却管为一股完整的管道，其中冷却管的进水端和冷却管的出水端均在圆孔内连接外水管，其中外水管插接在第一支撑架和第二支撑架之间。上述方案中，所述加热器保护套和冷却管保护套在焊接处形成钎焊面。本专利技术的优点和有益效果在于：本专利技术结构设计新颖，操作简单、方便人们使用，利用冷却管、进水端和出水端，方便冷却管内进入冷却循环液，进而提高此装置的冷却散热效率，因此此加热板基座不仅可以加热还可以散热，进而保证此基板的使用寿命，此装置能缩短冷却所需的工艺等待时间，提高工艺收率，进而方便操作者高效率的操作，利用加热器的多股加热丝加热，以保证此装置的加热效率，此基座板依次排列加热器、加热器保护套、钎焊面、冷却管保护套和冷却管，可以使冷却效率最大化，以方便此基座板的使用。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术基座板的局部剖视结构示意图。图2为本专利技术基座板的侧面剖视结构示意图。图3为本专利技术加热板的仰视结构示意图。图4为本专利技术冷却板的俯视结构示意图。图中：1-基座板，2-加热板，20-热传感器槽，21-热传感器向导，22-加热器保护套，23-加热空间凹槽，24-加热器插入槽，3-冷却板，30-冷却管保护套，31-固定块，32-冷却管，320-进水端，320a-出水端，33-冷却管压入槽，34-圆孔，4-第一支撑架，5-第二支撑架，50-螺帽，6-钎焊面，7-热传感器，8-热传感器金属丝，9-加热器，10-螺栓孔。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本专利技术的技术方案，而不能以此来限制本专利技术的保护范围。如图1-4所示，一种具备冷却方式的加热板基座，包括基座板1，基座板1由加热板2和冷却板3固定卡接而成，加热板2和冷却板3的形状大小均相同，加热板2和冷却板3上均设有多个螺栓孔10，且两者通过螺栓固定卡接，其中螺栓螺纹穿插在螺栓孔10内，圆孔34和加热空间凹槽23的形状、大小均相同，圆孔34内卡接有固定块31，利用螺栓孔10，方便加热板2和冷却板3之间能够固定焊接，拆卸。加热板2的一侧壁上开设有加热器插入槽24，加热板2的中间开设有加热空间凹槽23，其中加热器插入槽24连通加热空间凹槽23，加热器插入槽24内卡接有加热器9和加热器保护套22，其中加热器保护套22把加热器9的包裹在加热器插入槽24内，加热器9分为90-90a、91-91a和92-92a三股加热丝，其中90-90a、91-91a和92-92a三股加热丝均插接在加热器插入槽24内，且三股加热丝的端头均固定在加热空间凹槽23内，本专利技术结构设计新颖，操作简单、方便人们使用，利用加热器9的多股加热丝加热，以保证此装置的加热效率。加热板2在加热空间凹槽23的内侧开设有热传感器槽20，热传感器槽20内卡接有热传感器7，其中热传感器7的一端连接有热传感器向导21，热传感器向导21的一端连接有热传感器金属丝8，热传感器7电性连接外接的电源和显示屏，然后当温度上升时，操作者可以观察显示屏上的数据，然后，然后进行下一步操作。冷却板3的一侧壁上开设有冷却管压入槽33，加热板2上的加热器插入槽24和冷却板3上的冷却管压入槽33形状相同，且加热器插入槽24的宽度大于冷却管压入槽33的宽度，冷却板3的中间固定开设有圆孔34，其中冷却管压入槽33连通圆孔34，冷却管压入槽33内卡接有冷却管32和冷却管保护套30，其中冷却管保护套30把冷却管32包裹在冷却管压入槽33内，冷却管32为一股完整的管道，其中冷却管32的进水端320和冷却管32的出水端320a均在圆孔34内连接外水管，其中外水管插接在第一支撑架4和第二支撑架5之间，加热器保护套22和冷却管保护套30在焊接处形成钎焊面6，利用冷却管32、进水端320和出水端320a，方便冷却管32内进入冷却循环液，进而提高此装置的冷却散热效率，因此此加热板基座不仅可以加热还可以散热，进而保证此基板的使用寿命，此装置能缩短冷却所需的工艺等待时间，提高工艺收率，进而方便操作者高效率的操作。圆孔34的外侧壁边缘固定连接有垂直的第一支撑架4和第二支撑架5，其中第一支撑架4和第二支撑架5均远离冷却管压入槽33的一侧壁，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具备冷却方式的加热板基座，包括基座板（1），其特征在于：所述基座板（1）由加热板（2）和冷却板（3）固定卡接而成，所述加热板（2）的一侧壁上开设有加热器插入槽（24），所述加热板（2）的中间开设有加热空间凹槽（23），其中加热器插入槽（24）连通加热空间凹槽（23），所述加热器插入槽（24）内卡接有加热器（9）和加热器保护套（22），其中加热器保护套（22）把加热器（9）的包裹在加热器插入槽（24）内，所述加热板（2）在加热空间凹槽（23）的内侧开设有热传感器槽（20），所述热传感器槽（20）内卡接有热传感器（7），其中热传感器（7）的一端连接有热传感器向导（21），所述热传感器向导（21）的一端连接有热传感器金属丝（8）；所述冷却板（3）的一侧壁上开设有冷却管压入槽（33），所述冷却板（3）的中间固定开设有圆孔（34），其中冷却管压入槽（33）连通圆孔（34），所述冷却管压入槽（33）内卡接有冷却管（32）和冷却管保护套（30），其中冷却管保护套（30）把冷却管（32）包裹在冷却管压入槽（33）内，所述圆孔（34）的外侧壁边缘固定连接有垂直的第一支撑架（4）和第二支撑架（5），其中第一支撑架（4）和第二支撑架（5）均远离冷却管压入槽（33）的一侧壁，所述加热板（2）上的加热空间凹槽（23）正对冷却板（3）上的圆孔（34），其中热传感器金属丝（8）穿插在圆孔（34）内，所述第一支撑架（4）和第二支撑架（5）的一端通过螺帽（50）固定热传感器金属丝（8）。...

【技术特征摘要】
1.一种具备冷却方式的加热板基座，包括基座板（1），其特征在于：所述基座板（1）由加热板（2）和冷却板（3）固定卡接而成，所述加热板（2）的一侧壁上开设有加热器插入槽（24），所述加热板（2）的中间开设有加热空间凹槽（23），其中加热器插入槽（24）连通加热空间凹槽（23），所述加热器插入槽（24）内卡接有加热器（9）和加热器保护套（22），其中加热器保护套（22）把加热器（9）的包裹在加热器插入槽（24）内，所述加热板（2）在加热空间凹槽（23）的内侧开设有热传感器槽（20），所述热传感器槽（20）内卡接有热传感器（7），其中热传感器（7）的一端连接有热传感器向导（21），所述热传感器向导（21）的一端连接有热传感器金属丝（8）；所述冷却板（3）的一侧壁上开设有冷却管压入槽（33），所述冷却板（3）的中间固定开设有圆孔（34），其中冷却管压入槽（33）连通圆孔（34），所述冷却管压入槽（33）内卡接有冷却管（32）和冷却管保护套（30），其中冷却管保护套（30）把冷却管（32）包裹在冷却管压入槽（33）内，所述圆孔（34）的外侧壁边缘固定连接有垂直的第一支撑架（4）和第二支撑架（5），其中第一支撑架（4）和第二支撑架（5）均远离冷却管压入槽（33）的一侧壁，所述加热板（2）上的加热空间凹槽（23）正对冷却板（3）上的圆孔（34），其中热传感器金属丝（8）穿插在圆孔（34）内，所述第一支撑架（4）和第二支撑架（5）的一端通过螺帽（50）固定热传感器金属丝（8）。2.根据权利要求1所述的一种具备冷却方式的加热板基座，其特征在于，所述加...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄在浩，郑大桥，卢日英，
申请(专利权)人：合肥微睿光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽,34