一种干法刻蚀电极立式装挂台车制造技术

本实用新型专利技术公开了一种干法刻蚀电极立式装挂台车，属于电极工装器具技术领域，包括底架和装挂架，装挂架设置在底架上，所述装挂架的一侧至少设置两个装挂点，用于固定电极片，电极片的两侧固定在装挂点上，装挂点支撑电极片的待喷涂面与水平面之间形成夹角β，85

【技术实现步骤摘要】
一种干法刻蚀电极立式装挂台车


[0001]本技术涉及电极工装器具
，具体地说，涉及一种干法刻蚀电极立式装挂台车。

技术介绍

[0002]在液晶显示面板的制造过程中，需要使用干法刻蚀工艺。在干法刻蚀电极中，分为上部电极和下部电极，以下简称电极。上部电极具有将气体均匀扩散在玻璃面板上的扩散作用，同时还起到等离子体电极作用。下部电极是干法刻蚀腔室里面最重要的部件，其作用是固定吸附玻璃基板、冷却玻璃基板背面，使玻璃基板在刻蚀过程中蚀刻均匀，其静电吸盘表面的小凸点在业内被称为emboss，它的作用就是支撑玻璃，给予背部冷却气体提供流通通道。上部电极和下部电极长时间使用后性能下降，容易产生灰尘微粒造成产品品质下降，因此需要进行清洗维修。
[0003]现有技术中，干法刻蚀电极表面熔射涂层维修是通过在熔射机器人枪头在电极表面喷涂形成，目前广泛采用电极水平平铺式熔射涂层，要想达到整面一次性熔射涂层，其形成难度很高，主要是由于电极尺寸太大，通常是3.6m*3.2m，而熔射机器人水平方向行程有限，对应制作一整面熔射喷涂不太现实，通常分为两次熔射，每次熔射电极一半区域，效率较低。由于熔射电极相邻两个区域之间的位置存在拼接，如果直接拼接，熔射涂层会存在明显的分界线，且需要二次研磨处理熔射涂层，导致拼接部位的熔射喷涂可能会超规格，造成产品品质异常问题。

技术实现思路

[0004]1.技术所要解决的技术问题
[0005]针对现有技术中电极水平平铺式熔射涂层时，由于熔射机器人行程有限会存在明显的熔射涂层分界线，且需要二次研磨处理熔射涂层的问题，本技术提供一种干法刻蚀电极立式装挂台车，能够对电极一整面熔射喷涂，熔射涂层不会存在明显的分界线，并可以提高生产效率。
[0006]2.技术方案
[0007]为了实现上述目的，本技术提供一种干法刻蚀电极立式装挂台车，包括底架和装挂架，装挂架设置在底架上，所述装挂架的一侧至少设置两个装挂点，用于固定电极片，电极片的两侧固定在装挂点上，装挂点支撑电极片的待喷涂面与水平面之间形成夹角β，85
°
≤β≤95
°
，电极片的待喷涂面朝向喷涂设备。
[0008]进一步的，所述装挂架的一侧至少设置有两根悬挂件，悬挂件包括悬挂杆和卡块，卡块设置在悬挂杆的一端并与悬挂杆形成卡槽，悬挂件通过卡槽卡合在装挂架的顶部横杆上使悬挂件竖直设置。
[0009]进一步的，所述悬挂杆沿其长度方向设置有多个定位螺孔，用于安装定位螺丝，定位螺丝与电极片上的悬挂孔配合形成电极片的装挂点。
[0010]进一步的，所述悬挂杆沿其长度方向开设有定位槽，用于安装定位螺丝；定位槽的长度方向与悬挂杆的长度方向一致。
[0011]进一步的，所述卡块上开设有安装孔，螺栓通过安装孔将卡块安装在悬挂杆的端部；卡块设置有两个，对称分布在悬挂杆的端部两侧。
[0012]进一步的，所述装挂架和底架连接的位置设置有加强筋，加强筋的一端连接装挂架，另一端连接底架，形成三角支撑。
[0013]进一步的，所述装挂架未装挂电极片的一侧设置有站立架，用于供工作人员站立；站立架的框架平面平行于水平面，框架内安装防滑板。
[0014]进一步的，所述站立架的底部设置有支撑架，支撑架的一端连接站立架的框架拐角处，另一端连接底架的框架拐角处；支撑架与装挂架之间设置有加强横杆。
[0015]进一步的，所述站立架的上方设置有护栏，护栏设置有缺口，缺口位置安装有推拉门；站立架的缺口处与底架之间设置有爬梯。
[0016]进一步的，所述底架的底部设置有多个脚轮，脚轮上安装有制动装置。
[0017]3.有益效果
[0018]采用本技术提供的技术方案，与已有的公知技术相比，具有如下有益效果：
[0019](1)本技术的一种干法刻蚀电极立式装挂台车，装挂架至少设置有两个挂点装挂在电极片的两侧，使电极片保持平衡。电极片的待喷涂面朝向喷涂设备，有利于喷涂设备向电极片表面喷涂熔射涂层。装挂点支撑电极片的待喷涂面与水平面之间形成夹角β，85
°
≤β≤95
°
，使得电极片可以竖直的装挂在台车上，喷涂设备可以在竖直方向上对电极的一整面熔射喷涂，不用分两次喷涂，熔射涂层不会存在明显的分界线，无需二次研磨处理熔射涂层，提高生产效率。
[0020](2)本技术的一种干法刻蚀电极立式装挂台车，至少设置两根悬挂件，能够至少与电极片的两边装挂，增加装挂的稳定性。悬挂杆通过与卡块形成的卡槽卡合在装挂架的顶部横杆上，悬挂件由于自身的重力作用保持竖直，因此电极片也能保持竖直悬挂。悬挂件由于是卡合设置，所以悬挂件可以调节在装挂架上的位置，从而可以改变两根悬挂件之间的间距，由此能够悬挂不同长度的电极片，提高本装置的实用性。
[0021](3)本技术的一种干法刻蚀电极立式装挂台车，悬挂件的悬挂杆上沿其长度方向设置有多个定位螺孔，定位螺孔可以安装定位螺丝，定位螺丝与电极片上的悬挂孔配合形成悬挂点，将电极片悬挂起来。多个定位螺孔可以根据电极片的悬挂孔位置调节定位螺丝的安装位置以及安装数量。悬挂杆上沿其长度方向开设有定位槽，在定位螺孔无法适配电极片上的悬挂孔时，定位螺丝可以穿过定位槽与电极片上的悬挂孔适配，增加了悬挂件的通用性。
[0022](4)本技术的一种干法刻蚀电极立式装挂台车，加强筋连接装挂架和底架构成三角支撑，能够增加装挂架的结构稳定性。站立架能够供工作人员站立，防滑板具有防滑效果，降低工作人员脚下打滑概率。站立架的上方设置有防护栏，能够增加工作人员在站立架上行走的安全性。防护栏缺口处设置有推拉门，便于工作人员经爬梯爬上站立架，推拉门可以推拉开启或关闭，增加防护栏的安全性。底架的底部设置有多个脚轮，便于台车移动，增加移动稳定性。制动装置能够让脚轮无法移动，增加台车工作时的稳定性。
附图说明
[0023]在附图中，尺寸和比例不代表实际产品的尺寸和比例。附图仅仅是说明性的，并且为了清楚起见，省略了某些非必要的元件或特征。
[0024]图1是本技术实施例的立式装挂台车的立体结构示意图；
[0025]图2是本技术实施例的立式装挂台车的侧视结构示意图；
[0026]图3是本技术实施例的悬挂件的结构示意图；
[0027]图4是图3的悬挂件的侧视结构示意图。
[0028]示意图中的标号说明：
[0029]1、底架；2、装挂架；3、悬挂件；301、悬挂杆；302、卡块；303、定位螺孔；304、定位槽；305、卡槽；4、站立架；5、支撑架；6、爬梯；7、护栏；8、脚轮；9、加强筋。
具体实施方式
[0030]为进一步了解本技术的内容，结合附图和实施例对本技术作详细描述。这里所描述的仅仅是根据本技术的优选实施方式，本领域技术人员可以在优选实施方式的基础上想到能够实现本技术的其他方式，其他方式同样落入本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干法刻蚀电极立式装挂台车，包括底架(1)和装挂架(2)，装挂架(2)设置在底架(1)上，其特征在于，所述装挂架(2)的一侧至少设置两个装挂点，用于固定电极片，电极片的两侧固定在装挂点上，装挂点支撑电极片的待喷涂面与水平面之间形成夹角β，85
°
≤β≤95
°
，电极片的待喷涂面朝向喷涂设备。2.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀电极立式装挂台车，其特征在于，所述装挂架(2)的一侧至少设置有两根悬挂件(3)，悬挂件(3)包括悬挂杆(301)和卡块(302)，卡块(302)设置在悬挂杆(301)的一端并与悬挂杆(301)形成卡槽(305)，悬挂件(3)通过卡槽(305)卡合在装挂架(2)的顶部横杆上使悬挂件(3)竖直设置。3.根据权利要求2所述的一种干法刻蚀电极立式装挂台车，其特征在于，所述悬挂杆(301)沿其长度方向设置有多个定位螺孔(303)，用于安装定位螺丝，定位螺丝与电极片上的悬挂孔配合形成电极片的装挂点。4.根据权利要求3所述的一种干法刻蚀电极立式装挂台车，其特征在于，所述悬挂杆(301)沿其长度方向开设有定位槽(304)，用于安装定位螺丝；定位槽(304)的长度方向与悬挂杆(301)的长度方向一致。5.根据权利要求2所述的一种干法刻蚀电极立式装挂台车，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：江顺，蔡广云，冯卫东，
申请(专利权)人：合肥微睿光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：