The utility model discloses a substrate fixing device. The depth of each frame groove of the plate is different, that is, the distance between the outer edge of each frame groove and the inner edge of the corresponding frame is different. When the substrate is actually placed, the substrate can be placed close to or close to the frame groove with a smaller depth, that is, the substrate is first guaranteed to be in the frame groove. The invalid edges in the lower depth frame groove are occluded, which can ensure that each invalid edge is occluded, so that the occlusion invalid edge area becomes smaller, or even the occlusion failure after the substrate is placed in the substrate groove can be avoided, and the coating requirements can be met. In addition, the elastic components between the substrate and the compactor can ensure that the substrate is always solid. The pressure is pressed to solve the difference of substrate thickness which causes the substrate to be pressed at the same time.
【技术实现步骤摘要】
一种基片固定装置
本技术涉及太阳能电池加工领域,尤其涉及一种基片固定装置。
技术介绍
物理气相沉积(PVD)是指利用物理过程实现物质转移,将原子或分子转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等)的微粒喷涂在性能较低的母体上,使得母体具有更好的性能。PVD基本方法一般包括:真空蒸发、溅射、离子镀等。传统的半导体或太阳能设备中,经常有基片镀膜时,需要对基片四周无效边(无需镀膜)进行遮挡的需求,一般通过方框形的载板遮挡基片四周的无效边,中间部分则为待镀膜区域,而载板上设置放置基片的基片槽,且通过压块进行固定,载板和压块之间可以装载若干片基片,通过这样一个结构实现基片的固定和镀膜无效边的遮挡。在通常的应用中,载板上的基片槽的尺寸一般比基片本身略大,在GaAs柔性太阳能电池片的生产中,柔性太阳能电池片是从GaAs基片上经过特定生长程式后剥离而来,而GaAs基片在每一轮使用后,会经过抛光和清洗,反复使用,从而达到高效利用、降低成本的目的。但是多次循环使用后,GaAs基片会出现尺寸磨损后变小的情况,且由于工况和个体差异的客观存在,基片变小的情况会存在差异。这样,镀膜的对象就是若干个大小均有差异的GaAs基片,基片大小的差异会造成无法满足无效边遮挡需求,无法达到镀膜要求。如当较小的基片放置到基片槽中之后,会发现遮挡无效边区域变小,甚至遮挡失败的情况。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种基片固定装置,以解决现有技术中的问题,保证载板能够对基片的无效边进行有效遮挡。本技术提供了一种基片固定装置,所述基片固定装置包括:由四个边框围成的载板 ...
【技术保护点】
1.一种基片固定装置,所述基片固定装置包括:由四个边框围成的载板,所述边框围成与待镀膜区域对应的基片槽,沿所述基片槽的边缘在所述边框与基片相邻的一侧分别设置有对应的边框槽,所述边框槽用于承载所述基片;其特征在于,至少一个边框槽的深度小于其他边框槽的深度。
【技术特征摘要】
1.一种基片固定装置,所述基片固定装置包括:由四个边框围成的载板,所述边框围成与待镀膜区域对应的基片槽,沿所述基片槽的边缘在所述边框与基片相邻的一侧分别设置有对应的边框槽,所述边框槽用于承载所述基片;其特征在于,至少一个边框槽的深度小于其他边框槽的深度。2.根据权利要求1所述的基片固定装置,其特征在于,所述基片固定装置还包括压块,所述压块设置在所述基片与所述待镀膜区域相反的一侧,且所述压块与所述载板压合,用于压紧固定基片。3.根据权利要求2所述的基片固定装置,其特征在于,所述载板为正方形,相邻两个所述边框槽深度相等,且小于其他两个所述边框槽深度。4.根据权利要求2或3所述的基片固定装置,其特征在于,所述基片固定装置还包括弹性件,所述弹性件设置在所述基片与所述压块之间。5.根据权利要求4所述的基片固定装置,其特征在于,所述弹性件上表面与所述基片表面贴合,将所述基片压紧在所述载板上。6.根据权利要求5...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘旭,蒲春,
申请(专利权)人:北京创昱科技有限公司,
类型:新型
国别省市:北京,11
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