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本实用新型公开了一种硅片托举装置，包括底框、滑移块、第一升降组件、托架和第二升降组件；滑移块滑动安装于底框上；且能在底框上沿X方向移动；第一升降组件滑动安装于滑移块上；且能在滑移块上沿Y方向移动，第一升降组件包括能在第一升降组件上沿Z方向移...
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