一种基板及其对位方法技术

本发明专利技术公开了一种基板及其对位方法，根据每一标记组中的同一标记图形确定每一标记组对应的预对位位置，从而可以降低识别难度，降低识别错误与识别时间。并根据确定出的所述预对位位置，将掩膜版放置在所述基板上，以降低预对位的时间。在基板的精准对位位置与掩膜版的对位孔对位重叠时，可以确定掩膜版与基板精准对位。在基板的精准对位位置与掩膜版的对位孔对位不重叠时，根据标记组中形成直角三角形的对位标记反复调整掩膜版的位置，直到标记组对应的精准对位位置与掩膜版的对位孔重叠，以实现精准对位。

A substrate and its alignment method

The invention discloses a substrate and its alignment method, which determines the corresponding pre-alignment position of each marking group according to the same marking pattern in each marking group, thereby reducing the recognition difficulty, the identification error and the recognition time. According to the pre-alignment position determined, the mask plate is placed on the substrate to reduce the pre-alignment time. When the precise alignment position of the substrate overlaps with the alignment hole of the mask, the precise alignment of the mask and the substrate can be determined. When the precise alignment position of the substrate does not overlap with the alignment hole of the mask, the position of the mask is adjusted repeatedly according to the alignment mark forming a right triangle in the marking group until the precise alignment position corresponding to the marking group overlaps with the alignment hole of the mask to achieve precise alignment.

【技术实现步骤摘要】
一种基板及其对位方法
本专利技术涉及对位
，特别涉及一种基板及其对位方法。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)显示器具有低能耗、自发光、宽视角及响应速度快等优点，是当今显示器研究领域的热点之一，被认为是下一代显示技术。目前，采用蒸镀方式制备OLED显示器的像素单元中的发光层的成膜方式较为广泛。在采用蒸镀方式成膜时，一般通过掩膜版限制出像素单元的位置。其中，掩膜版的四角设置有对位孔，在基板的相应位置处设置有对位标记，一般通过电荷耦合元件(Charge-coupledDevice，CCD)识别基板的对位标记，将掩膜版设置在基板上，之后再通过对位标记判断掩膜版的对位孔与基板的对位标记是否准确对位，若不准确则分离掩膜版与基板，并移动掩膜版的位置，依次反复，直至进行较准确的对位。由于目前对显示器的分辨率的要求越来越来高，使得在制作显示器时需要将待蒸镀的基板与掩膜版进行精确的对位，确保掩膜版和基板的相对位置没有偏差，以使蒸镀材料可以准确的蒸镀到对应的位置。如图1所示，目前一般设置于基板上的对位标记，通常由圆形10、十字形20或方形30中的两个以上组合而成。其中通过圆形标记10的圆心与掩膜版的对位孔对位，通过十字形标记20或方形标记30的横边与纵边建立直角坐标系，以判断掩膜版移动的方向和距离。然而在识别时，由于CCD距离基板的对位标记较远，导致难以达到很高分辨率。尤其是在制作柔性面板时，基板上的对位标记和CCD之间还会有聚酰亚胺基底层，使得对位标记产生折射，从而使对位标记的形状和大小发生变化，导致识别错误，例如将方形标记识别为圆形标记，从而增加识别难度，进而增加对位所需的时间。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种基板及其对位方法，用以降低识别错误与识别难度，以及减少对位所需的时间。因此，本专利技术实施例提供了一种基板，包括：位于所述基板的非显示区中的至少2个标记组；其中，每个所述标记组包括至少3个对位标记，同一所述标记组中的对位标记的标记图形相同，并且同一所述标记组中的3个对位标记的几何中心依次相连形成直角三角形。可选地，在本专利技术实施例中，每个所述标记组包括4个对位标记，同一所述标记组中的每3个对位标记的几何中心依次相连形成直角三角形。可选地，在本专利技术实施例中，所述标记组为2个，所述2个标记组分别位于所述基板呈对角线的边角位置处；或，所述标记组为4个，每一所述标记组分别位于所述基板的一个边角位置处。可选地，在本专利技术实施例中，所述直角三角形的一个直角边与所述基板沿第一方向延伸的一边平行，另一个直角边与所述基板沿第二方向延伸的一边平行，其中，所述第一方向与所述第二方向垂直。可选地，在本专利技术实施例中，所述标记图形包括圆形、矩形、正多边形或十字形。相应地，本专利技术实施例还提供了一种本专利技术实施例提供的上述任一种基板的对位方法，包括：根据所述基板的每一所述标记组中的对位标记，确定每一所述标记组对应的预对位位置；根据确定出的所述预对位位置，将掩膜版放置在所述基板上；针对每一所述标记组，判断所述标记组对应的预先设定的精准对位位置与所述掩膜版的对位孔是否一一重叠；若是，则确定所述掩膜版与所述基板精准对位；若否，则根据所述标记组中形成所述直角三角形的对位标记调整所述掩膜版的位置，直到所述标记组对应的精准对位位置与所述掩膜版的对位孔一一重叠。可选地，在本专利技术实施例中，所述调整所述掩膜版的位置，具体包括：根据所述标记组中形成所述直角三角形的对位标记的几何中心确定直角坐标系；根据确定出的所述直角坐标系，确定所述标记组对应的精准对位位置的坐标值以及所述掩膜版的对位孔的坐标值；根据确定出的所述标记组对应的坐标值与所述对位孔的坐标值，确定在针对所述标记组时，所述掩膜版的移动方向与移动距离；将所述掩膜版与所述基板分离，并根据确定出的所述移动方向与所述移动距离移动所述掩膜版后，将所述掩膜版放置在所述基板上。可选地，在本专利技术实施例中，每个所述标记组包括4个对位标记；在所述根据所述标记组中形成所述直角三角形的对位标记的几何中心确定直角坐标系之前，还包括：确定所述标记组中与预设阈值相差最大的一个对位标记；根据所述标记组中且除与所述预设阈值相差最大的对位标记之外的3个对位标记的几何中心确定直角坐标系。可选地，在本专利技术实施例中，所述确定每一所述标记组对应的预对位位置，具体包括：根据每一所述标记组中的对位标记的几何中心依次相连形成的标记组图形，确定每一所述标记组对应的标记组图形的几何中心，并将每一所述标记组对应的几何中心确定为每一所述标记组对应的预对位位置。可选地，在本专利技术实施例中，每一所述标记组对应的精准对位位置与对应的预对位位置为同一位置。本专利技术有益效果如下：本专利技术实施例提供的基板及其对位方法，根据每一标记组中的同一标记图形确定每一标记组对应的预对位位置，从而可以降低识别难度，降低识别错误与识别时间。并根据确定出的所述预对位位置，将掩膜版放置在所述基板上，以降低预对位的时间。在基板的精准对位位置与掩膜版的对位孔对位重叠时，可以确定掩膜版与基板精准对位。在基板的精准对位位置与掩膜版的对位孔对位不重叠时，根据标记组中形成直角三角形的对位标记反复调整掩膜版的位置，直到标记组对应的精准对位位置与掩膜版的对位孔重叠，以实现精准对位。附图说明图1为现有技术中的对位标记的示意图；图2为现有技术中的蒸镀设备的结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的基板的结构示意图之一；图4为本专利技术实施例提供的基板的结构示意图之二；图5为本专利技术实施例提供的对位方法的流程图；图6为本专利技术实施例提供的直角坐标系的示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的，技术方案和优点更加清楚，下面结合附图，对本专利技术实施例提供的基板及其对位方法的具体实施方式进行详细地说明。应当理解，下面所描述的优选实施例仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。并且在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。并且，附图中各层薄膜厚度和形状不反映具体事物的真实比例，目的只是示意说明本
技术实现思路
。目前，如图2所示，蒸镀设备一般包括真空蒸镀室100。其中，真空蒸镀室100内设置有蒸发源110、支撑柱120、与支撑柱120连接的冷却板130、用于承载待蒸镀的基板140的基板载具以及用于承载掩膜版150的掩膜版载具，冷却板130上安装有多个磁铁131，磁铁131用于将掩膜版150紧紧吸附在基板140上。并且，掩膜版150、待蒸镀基板140和冷却板130依次层叠设置在蒸发源110的上方。在采用蒸镀方式成膜时，将蒸镀材料设置于蒸发源110上，通过蒸发源110对蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料的原子或分子从其表面气化形成蒸汽流，以入射到待蒸镀基板140表面，并凝结形成固态薄膜。本专利技术实施例提供的一种基板，可以应用于采用蒸镀方式成膜的工艺中。具体地，如图3与图4所示，该基板具有显示区AA与非显示区BB；其中，显示区AA用于设置像素单元。并且，该基板包括：位于基板的非显示区BB中的至少2个标记组200_m(m为大于或等于1且小于或等于M的整数，M为标记组的总个数)；其中，每个标记组200_m可以包括至少3个对位标记210_mn(n为大于或等于1且小于或等于N的整数，N为一个标记组本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板，其特征在于，包括：位于所述基板的非显示区中的至少2个标记组；其中，每个所述标记组包括至少3个对位标记，同一所述标记组中的对位标记的标记图形相同，并且同一所述标记组中的3个对位标记的几何中心依次相连形成直角三角形。

【技术特征摘要】
1.一种基板，其特征在于，包括：位于所述基板的非显示区中的至少2个标记组；其中，每个所述标记组包括至少3个对位标记，同一所述标记组中的对位标记的标记图形相同，并且同一所述标记组中的3个对位标记的几何中心依次相连形成直角三角形。2.如权利要求1所述的基板，其特征在于，每个所述标记组包括4个对位标记，同一所述标记组中的每3个对位标记的几何中心依次相连形成直角三角形。3.如权利要求2所述的基板，其特征在于，所述标记组为2个，所述2个标记组分别位于所述基板呈对角线的边角位置处；或，所述标记组为4个，每一所述标记组分别位于所述基板的一个边角位置处。4.如权利要求1所述的基板，其特征在于，所述直角三角形的一个直角边与所述基板沿第一方向延伸的一边平行，另一个直角边与所述基板沿第二方向延伸的一边平行，其中，所述第一方向与所述第二方向垂直。5.如权利要求1所述的基板，其特征在于，所述标记图形包括圆形、矩形、正多边形或十字形。6.一种如权利要求1-5任一项所述的基板的对位方法，其特征在于，包括：根据所述基板的每一所述标记组中的对位标记，确定每一所述标记组对应的预对位位置；根据确定出的所述预对位位置，将掩膜版放置在所述基板上；针对每一所述标记组，判断所述标记组对应的预先设定的精准对位位置与所述掩膜版的对位孔是否一一重叠；若是，则确定所述掩膜版与所述基板精准对位；若否，则根据所述标记组中形成所述直角三角形的对位标记调整所述掩膜版的位置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜小波，吴海东，文官印，李彦松，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11