The utility model provides a fixing device for a product bearing iron sheet on a wafer sorter. The bearing iron sheet comprises a bottom plate and a film which are arranged up and down and adhered to each other. A through hole is arranged in the middle position of the bottom plate and the wafer product is placed on the film exposed at the opening. The fixing device comprises a bottom-up and a bottom-up position. A supporting platform with a film supporting function and a fixed platform symmetrically arranged in the directions of both sides of the supporting platform are horizontally arranged near the upper surface of one side of the bottom plate and used for lapping the side of the bottom plate, at least one groove is arranged on the upper surface and magnetism for adsorbing the bottom plate is arranged in the groove. At least one positioning block for clamping the side edge of the bottom plate is provided on one side of the fixed platform away from the bottom plate. The fixing device has the advantages of simple structure, low cost, low error rate of mechanical operation, effective avoidance of damage to load-bearing iron sheet and splash injury, and is beneficial to actual production.
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆分选机上产品承载铁片的固定装置
本技术涉及半导体生产
,具体地,涉及一种用于晶圆分选机上产品承载铁片的固定装置。
技术介绍
在半导体加工过程中,要对生产出的晶圆产品进行分选,使得不同等级和电性的晶圆被分开而相同等级和电性的晶圆聚集在一起,因此在分选机的产品输出端固定设置有多个产品承载装置。如图1所示,所述产品承载装置包括用于放置产品的薄膜以及设置在薄膜上方并对其起到压紧固定作用的铁片(薄膜本身材质较软,无法单独对其使用真空吸附的固定方式),所述薄膜与铁片间直接粘贴连接。产品承载铁片通过机械手实现移动并被固定在分选机上。如图2和图3所示,现有的固定装置包括用于支撑薄膜的支撑平台以及用于支撑铁片两侧的固定平台,在所述固定平台上设置有感应器以及与气缸联动的夹紧打板。当感应器感应到有承载铁片下落时,夹紧打板在气缸的驱动下转动,使得夹紧打板上的卡槽由开口朝上变为开口相对并与承载铁片的侧边卡接固定;该操作存在以下缺陷:1、感应器是精密零部件且易于损坏,维护成本高,分选机发生故障的概率高;2、承载铁片下降的同时夹紧打板配合转动,因此感应器和驱动气缸间的配合极为重要,若二者间出现误差无法同步,则容易出现承载铁片固定失效的情况,甚至导致铁片折断进而引发铁屑飞溅伤人的风险。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种结构简单、使用方便、用于固定产品承载铁片的装置,以解决
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供了一种用于晶圆分选机上产品承载铁片的固定装置,所述承载铁片包括上下设置且相互贴合的底板和薄膜,在所述底板的中间位置开设通孔并将晶圆产品放置于开孔处露出的薄膜 ...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆分选机上产品承载铁片的固定装置,所述承载铁片包括上下设置且相互贴合的底板(02)和薄膜(03),在所述底板的中间位置开设通孔(04)并将晶圆产品放置于开孔处露出的薄膜上,其特征在于,所述固定装置包括从下往上对薄膜(03)起到支撑作用的支撑平台(1)以及对称设置于所述支撑平台(1)两侧方向上的固定平台(2),所述支撑平台(1)和固定平台(2)均通过螺丝固定连接在晶圆分选机的底座上,所述固定平台(2)靠近底板一侧的上表面水平设置并用于搭接底板(02)的侧边,在该上表面位置设置有至少一个凹槽且在凹槽内设有用于吸附底板(02)的磁铁(21)。
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆分选机上产品承载铁片的固定装置,所述承载铁片包括上下设置且相互贴合的底板(02)和薄膜(03),在所述底板的中间位置开设通孔(04)并将晶圆产品放置于开孔处露出的薄膜上,其特征在于,所述固定装置包括从下往上对薄膜(03)起到支撑作用的支撑平台(1)以及对称设置于所述支撑平台(1)两侧方向上的固定平台(2),所述支撑平台(1)和固定平台(2)均通过螺丝固定连接在晶圆分选机的底座上,所述固定平台(2)靠近底板一侧的上表面水平设置并用于搭接...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭祖福,
申请(专利权)人:湘能华磊光电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:湖南,43
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。