一种用于晶圆搬送的机械手臂制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆搬送的机械手臂，包括连接装置，所述连接装置底部设置有转动装置，所述转动装置底部设置有夹持装置；所述夹持装置包括四个圆周设置的限位块，所述限位块顶部转动设置有滑杆，所述限位块底部固定设置有夹块；本实用新型专利技术所述的一种用于晶圆搬送的机械手臂，固定架支撑电机驱动齿轮旋转，齿轮啮合前面齿圈转动，使旋转盘在固定架的支撑下转动，在此过程中位于滑槽内的滑杆跟随旋转盘滑动，又因为限位块只能沿限位框向内合拢，所以旋转盘转动时，四个限位块同时向圆心移动，带动夹块从四个方向同时夹持晶圆，完成晶圆夹持固定与快速定位工作，便于准确锁定晶圆圆心，提高晶圆搬送精度

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆搬送的机械手臂


[0001]本技术属于晶圆生产领域，特别是涉及一种用于晶圆搬送的机械手臂
。

技术介绍

[0002]晶圆是指半导体制造过程中的一种基础材料，也被称为硅片或芯片
。
它通常是由单晶硅制成的圆盘状物体，具有非常高的纯度和均匀的结构
。
晶圆上可以制造出各种集成电路和微电子元件，如微处理器
、
存储器
、
传感器等
。
在半导体工业中，晶圆扮演着非常重要的角色，是制造芯片的基础材料之一
。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于晶圆搬送的机械手臂，以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]一种用于晶圆搬送的机械手臂，包括连接装置，所述连接装置底部设置有转动装置，所述转动装置底部设置有夹持装置；所述夹持装置包括四个圆周设置的限位块，所述限位块顶部转动设置有滑杆，所述限位块底部固定设置有夹块
。
[0006]进一步地：所述连接装置包括限位框，所述限位框顶部固定设置有连接法兰，所述限位框底部固定设置有固定架，所述固定架后面转动设置有齿轮，所述齿轮顶部安装有电机
。
[0007]进一步地：所述转动装置包括旋转盘，所述旋转盘顶部固定设置有齿圈，所述旋转盘底部圆周均匀设置有四个滑槽
。
[0008]进一步地：所述限位框为圆筒形，所述固定架采用
A<br/>铝材料
。
[0009]进一步地：所述旋转盘与所述连接装置轴承连接
。
[0010]进一步地：所述限位块与所述限位框滑动连接，所述夹块截面为圆弧形
。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]固定架支撑电机驱动齿轮旋转，齿轮啮合前面齿圈转动，使旋转盘在固定架的支撑下转动，在此过程中位于滑槽内的滑杆跟随旋转盘滑动，又因为限位块只能沿限位框向内合拢，所以旋转盘转动时，四个限位块同时向圆心移动，带动夹块从四个方向同时夹持晶圆，完成晶圆夹持固定与快速定位工作，便于准确锁定晶圆圆心，提高晶圆搬送精度
。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0014]图1是本技术所述一种用于晶圆搬送的机械手臂的结构示意图；
[0015]图2是本技术所述一种用于晶圆搬送的机械手臂的连接装置的结构示意图；
[0016]图3是本技术所述一种用于晶圆搬送的机械手臂的转动装置的结构示意图；
[0017]图4是本技术所述一种用于晶圆搬送的机械手臂的夹持装置的结构示意图；
[0018]图5是本技术所述一种用于晶圆搬送的机械手臂的转动装置与夹持装置的装配图
。
[0019]附图标记中：
1、
连接装置；
101、
限位框；
102、
连接法兰；
103、
固定架；
104、
齿轮；
105、
电机；
2、
转动装置；
201、
旋转盘；
202、
齿圈；
203、
滑槽；
3、
夹持装置；
301、
限位块；
302、
滑杆；
303、
夹块
。
具体实施方式
[0020]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位
、
以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制
。
此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量
。
由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征
。
在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上
。
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通
。
对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义
。
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0023]请参阅图1‑
图5，一种用于晶圆搬送的机械手臂，包括连接装置1，连接装置1底部设置有转动装置2，转动装置2底部设置有夹持装置
3。
[0024]本实施例中：连接装置1包括限位框
101
，限位框
101
顶部固定设置有连接法兰
102
，限位框
101
底部固定设置有固定架
103
，固定架
103
后面转动设置有齿轮
104
，齿轮
104
顶部安装有电机
105
，限位框
101
为圆筒形，固定架
103
采用
3A21
铝材料，连接装置1通过连接法兰
102
固定到机械臂上，机械臂带动限位框
101
移动到待移动晶圆顶部，固定架
103
支撑电机
105
驱动齿轮
104
旋转，齿轮
104
啮合前面齿圈
202
转动，固定架
103
支撑电机
105
反转，按上述步骤带动夹块
303
复位，释放晶圆完成搬运流程；
[0025]本实施例中：转动装置2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于晶圆搬送的机械手臂，包括连接装置
(1)
，所述连接装置
(1)
底部设置有转动装置
(2)
，其特征在于：所述转动装置
(2)
底部设置有夹持装置
(3)
；所述夹持装置
(3)
包括四个圆周设置的限位块
(301)
，所述限位块
(301)
顶部转动设置有滑杆
(302)
，所述限位块
(301)
底部固定设置有夹块
(303)。2.
根据权利要求1所述的一种用于晶圆搬送的机械手臂，其特征在于：所述连接装置
(1)
包括限位框
(101)
，所述限位框
(101)
顶部固定设置有连接法兰
(102)
，所述限位框
(101)
底部固定设置有固定架
(103)
，所述固定架
(103)
后面转动设置有齿轮
(104)
，所述齿轮
(104)

【专利技术属性】
技术研发人员：夏晟，黄胜蓝，谈健，
申请(专利权)人：湘能华磊光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：