The present invention discloses a chemical mechanical polishing pad, which comprises a polishing layer and a substrate layer. The polishing layer is glued to the upper surface of the substrate layer through a double-sided tape layer. The polishing layer sets a plurality of concentric circular grooves from the center to the circumference, and the concentric circular groove is divided into two parts of the inner region and the outside region by the separation circle groove. The radial grooves are also provided with a radial slot, which can be a straight line slot, a curved groove or a spiral groove, and solves the technical problem that the polishing waste deposition and distribution of the polishing liquid on the surface of the existing technical chemical mechanical polishing pad in the process of use can be affected by the adverse effects.
【技术实现步骤摘要】
一种化学机械抛光垫
本专利技术涉及一种化学机械抛光领域,尤其涉及一种化学机械抛光垫。
技术介绍
化学机械抛光制程是集成电路生产过程中非常重要的工艺,此工艺在1980年代最先由美国商用机器公司(IBM)引入半导体工业、用于先端大规模集成电路的生产。在先端大规模集成电路的生产过程中,包括有介电质材料、导电材料和半导电材料等的多种材料被一层一层地沉积在硅晶片的表面,然后有选择性地按一定的图案进行刻蚀从硅晶片表面上去除。在这样依次进行的材料沉积和多余材料去除的过程中,硅晶片的表面变得粗燥、起伏、不平坦,使得下面一层材料的加工变得比较困难、甚至无法按照要求完成。化学机械抛光制程就是将每一次沉积的材料磨除去要求的厚度并使硅晶片表面恢复平整光滑,以便继续进行下一步的工序生产。现有的化学机械抛光垫的抛光层通常都具有一定的立体图案结构,例如:1、在抛光表面刻出同心圆形状的沟槽,一环一环地从抛光垫中心延伸至抛光垫边缘;2、在抛光垫表面打孔,孔洞按照一定的图案均匀分布覆盖抛光垫的表面;3、在抛光垫表面刻出十字交叉的沿着X方向和Y方向的两个方向的沟槽。这些抛光垫抛光层的沟槽或孔洞结构的功能目的有多种:输送抛光液到达被抛光的硅晶片的表面帮助进行化学机械抛光;传输出硅晶片表面抛光过程中产生的抛光废液、抛光废屑、抛光垫磨损碎屑等;通过一定设计的图案式样和沟槽尺寸,控制和维持硅晶片表面抛光过程中均匀稳定的化学和机械环境,以使得硅晶片的化学机械抛光过程持续稳定地进行。但是,在化学机械抛光垫的实际应用过程中,随着抛光垫使用时间的增加,会出现抛光废屑、抛光液废屑和抛光垫碎屑排除不畅、沉积在沟槽 ...
【技术保护点】
1.一种化学机械抛光垫,包括抛光层(1)和衬底层(2),所述抛光层(1)通过双面胶带层(3)粘合在衬底层(2)的上表面,其特征在于,所述抛光层(1)从圆心到圆周设置多个同心圆槽(4),所述同心圆槽(4)由分离圆槽(7)分成内侧区域(5)和外侧区域(6)两部分,所述内侧区域(5)还设置有径向槽(8),所述径向槽(8)为直线槽、曲形槽或者螺旋形槽。
【技术特征摘要】
1.一种化学机械抛光垫,包括抛光层(1)和衬底层(2),所述抛光层(1)通过双面胶带层(3)粘合在衬底层(2)的上表面,其特征在于,所述抛光层(1)从圆心到圆周设置多个同心圆槽(4),所述同心圆槽(4)由分离圆槽(7)分成内侧区域(5)和外侧区域(6)两部分,所述内侧区域(5)还设置有径向槽(8),所述径向槽(8)为直线槽、曲形槽或者螺旋形槽。2.根据权利要求书1所述的一种化学机械抛光垫,其特征在于,所述分离圆槽(7)为多个同心圆槽(4)中任意一个。3.根据权利要求书1所述的一种化学机械抛光垫,其特征在于,所述径向槽...
【专利技术属性】
技术研发人员:相红旗,
申请(专利权)人:成都时代立夫科技有限公司,
类型:发明
国别省市:四川,51
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。