The utility model discloses a vacuum coating machine, including a vacuum chamber and a cryogenic pump. The cryogenic pump comprises a condensing coil for adsorbing gas and water vapor, and the condensing coil is installed in a high valve chamber connected to the vacuum cavity through a pipe. The utility model adds a cryogenic pump to the vacuum coating machine, and the condensing coil in the cryogenic pump is installed in the high valve connected with the vacuum chamber. Through the cold condensation effect on its surface, the residual gas in the vacuum chamber is quickly captured, thus greatly shortening the time of vacuum pumping and obtaining a clean vacuum environment and improving the vacuum environment. The pumping speed and the pumping quality of the suction system of the vacuum coating machine are described. One
【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机
本技术涉及机械
,尤其涉及一种真空镀膜机。
技术介绍
现有真空镀膜机抽气系统主要由机械泵、罗茨泵、油扩散泵/分子泵组成,实行分级抽真空。对于使用油扩散泵的镀膜机在高真空环境中都存在着一定的残余气体,其中大部分为水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,造成其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响,影响了产品质量和生产效率因此,上述技术问题需要解决。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足,本技术提出一种真空镀膜机,在真空抽气系统中加入深冷泵,提高抽气速度和产品质量。为了解决上述的技术问题,本技术提出的基本技术方案为:一种真空镀膜机,包括真空腔体和深冷泵,所述深冷泵包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管,所述冷凝盘管安装在与所述真空腔体通过管道连通的高阀腔体中;所述冷凝盘管包括加热除霜装置。其中,所述冷凝盘管呈层叠线圈结构,所述冷凝盘管的线圈结构不小于三圈。其中,所述高阀腔体的一端与所述真空腔体通过管道相连,另一端与高阀连接。所述真空镀膜机还包括油扩散泵,所述高阀腔体与所述油扩散泵通过高阀连接。其中,所述冷凝盘管安装在所述高阀和所述真空腔体之间。其中,所述冷凝盘管为铜管。本技术的有益效果是:本技术提供一种真空镀膜机,包括真空腔体和深冷泵,所述深冷泵包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管,所述冷凝盘管安装在与所述真空腔体通过管道连通的高阀腔体中。本技术在真空镀膜机中增加深冷泵,将深冷泵中的冷凝盘管安装在与真空腔体相连通的高阀腔体中,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空腔体中的残余气体,从而大大缩短抽真空的时间并 ...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机,其特征在于,包括真空腔体(1)和深冷泵(2),所述深冷泵(2)包括
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机,其特征在于,包括真空腔体(1)和深冷泵(2),所述深冷泵(2)包括用于吸附气体和水汽的冷凝盘管(3),所述冷凝盘管(3)安装在与所述真空腔体(1)通过管道连通的高阀腔体(4)中;所述冷凝盘管(3)包括加热除霜装置。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于,所述冷凝盘管(3)呈层叠线圈结构,所述冷凝盘管(3)的线圈结构不小于三圈。3.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:王伟,张扬,常杰,林立根,
申请(专利权)人:深圳市一诺真空科技有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
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