The invention discloses a UV curable micro imprint device and a method thereof. The contents include: the light curing material is added to the embossing roll through the coating mechanism perpendicular to the embossing roller, and the imprint roller is not sticky to the light cured material after special treatment. The excess curing material is removed through the scraper device on the side of the stamping roller, so that the thickness of the light curing material on the impression roller is uniform. With the rotation of the imprint roll down into the embossing area, the UV radiation at the bottom of the transparent substrate solidifies the photocurable film and connects with the substrate, and the final micro embossing products are obtained. The invention has simple technology, simple operation, continuous production and high product yield.
【技术实现步骤摘要】
一种新型紫外光固化微压印装置及方法
本专利技术属于微纳加工制造领域,尤其涉及一种紫外光固化微压印的装置及方法。
技术介绍
随着科学技术的不断发展,人们对产品加工精度的要求也变得越来也高。微纳制造技术此时应运而生,使得制造业的制造水平有了极大提高。目前,微纳制造技术已经成具有国家战略高度的高新技术,对于下一代生物医学、信息技术产业、光学产业、环保产业等都具有非常重要的意义。微压印技术在制造微纳器件方面具有很大的应用前景。微压印技术具有模具成本低、微结构复刻精度高、工艺简单等优点,是目前利用聚合物材料制造微纳器件的重要加工技术之一。微压印技术按照基本工艺的不同又可以分为热压印技术和紫外(光固化)压印技术。热压印是最早提出的纳米压印技术,通过将温度升高到抗蚀剂玻璃转化温度(Tg)之上使转移介质处于熔融状态,然后进行模板对准施压,压印结束后降温使抗蚀剂固化、脱模结束后即可完成图形的复制。然而热压印由于其高温高压的苛刻条件,会使产品产生较大的热变形,高温高压的操作环境需要时间进行升高或降低,增加了制备过程的时间,降低了生产效率。紫外光固化微压印的整个工艺流程可在常温常压下进行,无需经升温降温等步骤,从而可以提高生产效率、降低生产成本。除此之外,光固化微压印对工艺条件要求较低,可以低压环境压印成型。如易脆模具或软模具(如PDMS等)均可用于压印成型,紫外固化材料(固化胶)黏度较低,适合高深宽比结构的填充固化成型。可以说,光固化微压印是目前聚合物微纳器件实现工业化生产的最有前景的方法。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种紫外光固化微压印装置及方法,利用紫外 ...
【技术保护点】
一种新型紫外光固化微压印装置,其特征在于:该装置包括放卷机构、涂布机构、刮刀装置、压印辊、光照装置,张力控制系统、收卷机构;光固化材料通过垂直于压印辊上方的涂布机构涂布在压印辊上,并通过压印辊斜上侧的刮刀装置使光固化材料在压印辊上涂布均匀;光固化材料随着压印辊的转动与透明基材接触同时在压印区进行紫外光照,使透明基材与光固化膜融为一体;通过导向辊牵引与收卷机构将微结构膜收卷。
【技术特征摘要】
1.一种新型紫外光固化微压印装置,其特征在于:该装置包括放卷机构、涂布机构、刮刀装置、压印辊、光照装置,张力控制系统、收卷机构;光固化材料通过垂直于压印辊上方的涂布机构涂布在压印辊上,并通过压印辊斜上侧的刮刀装置使光固化材料在压印辊上涂布均匀;光固化材料随着压印辊的转动与透明基材接触同时在压印区进行紫外光照,使透明基材与光固化膜融为一体;通过导向辊牵引与收卷机构将微结构膜收卷。2.根据权利要求1所述的一种新型紫外光固化微压印装置,其特征在于:所述涂布机构包括进胶口,储液槽,压力控制系统,喷嘴;光固化材料通过进胶口进入储液槽并由压力控制系统控制喷嘴将液态光固化材料均匀涂布于压印辊上。3.根据权利要求1所述的一种新型紫外光固化微压印装置,其特征在于:其...
【专利技术属性】
技术研发人员:贺建芸,李嘉维,赵长松,谢鹏程,罗锡丹,刘振文,张景慧,佟金戈,杨卫民,
申请(专利权)人:北京化工大学,
类型:发明
国别省市:北京,11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。