【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术是一种在真空状态下实现表面涂层的真空镀膜设备。现在工业规模生产用真空镀膜机只有卧式低温设备，它采用的是平面卧式溅射靶，在镀膜室中没有加热装置，所以这种镀膜机的占地面积大，不能镀制高温涂层，不能同时镀制双面涂层，而且膜的附着力较低。本技术的目的是提供一种新型的真空镀膜机，它可以克服现有技术中所存在的缺点，能够镀制高温涂层及双面涂层，而且可以提高涂层的质量。本技术的目的是这样实现的它包括镀膜室和安装在镀膜室中的溅射靶，其特征是在镀膜室的两端均安装有高温加热器，镀膜室内的两侧安装有溅射靶极，溅射靶极立式安装。本技术的溅射靶极可以成对安装，至少一对，分别设置在镀膜室的两侧。为提高溅射时的离化率，在靶极侧面可以装设有灯丝。本技术的溅射镀膜机在镀膜室的两端安装有高温加热器，所以可以镀制对于温度要求较高的涂层，并且镀出的膜层附着力较高，由于本技术的溅射靶极立式安装于镀膜室的两侧，被镀工件位于溅射靶极的中间，所以可以在被镀件的两面同时镀制膜层，可以提高工作效率一倍以上，也可以用来镀制复合膜层，另外本技术由于采用立式靶极，所以占地面积较小。下面结合实施例及其附图对本技术作进一步详细的说明。附图说明图1是一种立式连续镀膜机的侧面结构示意图。图2是图1中的A-A剖视图。图中12是镀膜室，在镀膜室内安装有溅射靶极8，共四个靶极，分别设置在镀膜室的两侧，每侧两个，两靶极之间装有灯丝7，在镀膜室进料及出料端设置有高温加热室6和9，在高温加热室中安装有高温加热器5，对工件进行加温处理，高温加热室外侧设置有进料室3及出料室10，进料室、出料室与高温加热室之间由阀门4隔开。图中...
【技术保护点】
高温立式双端离子镀膜机，它包括镀膜室和安装在镀膜室中的溅射靶，其特征是在镀膜室的两端均安装有高温加热器，镀膜室内的两侧安装有溅射靶极，溅射靶极立式安装。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
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