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高温立式双端离子镀膜机制造技术
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下载高温立式双端离子镀膜机的技术资料
文档序号:1811499
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高温立式双端离子镀膜机,它包括镀膜室和安装在镀膜室中的溅射靶,其特征是在镀膜室的进料口及出料口均安装有高温加热器,镀膜室内的两侧安装有溅射靶极,溅射靶极立式安装。本实用新型的溅射镀膜机可以镀制对于温度要求较高的涂层,并且镀出的膜层附着力较高...
该专利属于王振东所有,仅供学习研究参考,未经过王振东授权不得商用。
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