安装沉积掩模的柔性框制造技术

把沉积掩模安装在柔性框上的一种方法，在制作有机发光二极管中所述方法应用于通过可撕开沉积掩模真空沉积材料，所述方包括步骤：　　　　（ａ）提供具有制成在其上的可撕开沉积掩模的底板；　　　　（ｂ）提供具有边界部分的柔性框，这种边界部分构成框的开口，所述框的开口与可撕开沉积掩模上的边界部分相对应；　　　　（ｃ）使柔性框的边界部分与可撕开沉积掩模的边界部分对准然后固定它们，和从底板上取去柔性框及已固定的可撕开沉积掩模；和　　　　（ｄ）把柔性框与可撕开沉积掩模安装在支持件中，所述支持件在随后的真空沉积材料期间保持可撕开沉积掩模的平面性。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及制作有机发光二极管(OLED)工艺中通过沉积掩模把有机材料沉积在基板上的方法。虽然曾经制造了孔板掩模并在工业中长时间被用于沉积材料，但用于有源矩阵有机发光器件(OLED)的可撕开沉积掩模的应用需要比先前的制造、应用所需的更高精密度及准确度。用于制造可撕开沉积掩模的工艺在底板上制成可撕开的沉积掩模。可撕开沉积掩模是用金属化合物电沉积在底板上、然后用带图形的光阻技术进行化学蚀刻而成的。然后从底板上手工取去可撕开沉积掩模。除取工艺包括通过首先撕起一角把可撕开沉积掩模从底板上撕开和把电沉积材料拉离底板。所述工艺是按照人对人能完成的手工工艺进行的。可撕开沉积掩模是使它们易于变形的薄的韧性材料。由于撕开工艺的拉动方向的原因，可撕开沉积掩模在被取去后会有结构变形和翘曲。可撕开沉积掩模还受到撕开方向的不一致和可撕开沉积掩模被撕离底板的任何角度变化的影响。现在可撕开沉积掩模必须被安装在沉积工艺中使用的框上。可撕开沉积掩模利用对准装置(共同受让的US-A-6,475,287 B1)即时手工地安装于所述框上。首先可撕开沉积掩模必须手工地对准框。其次，可撕开沉积掩模利用校正板尽可能地保持平直。校正板设法使已经翘曲及结构变形的可撕开沉积掩模尽可能地保持平直，并进行把胶带手工敷贴在可撕开沉积掩模的外边沿和沉积框上的工艺，同时把可撕开沉积掩模连接于所述框。当敷贴了各个胶带时，定向应力就被引入了可撕开沉积掩模中。所述定向应力引起了已安装的可撕开沉积掩模中的起伏和波浪(变形)。所述起伏(变形)对沉积工艺是有害的。在沉积工艺期间，为了准确地沉积材料，可撕开沉积掩模必须与基板尽可能地共平面。在制作发光二极管器件(OLED)中有若干步骤，其中有机层被沉积在基板上面或上方。关键的是可撕开沉积掩模要被对准和被正确地安装以产生精确的沉积。可撕开沉积掩模板通常是由薄的韧性材料制成的精密掩模。可撕开沉积掩模是带有平板刻法图案的，并因为它薄而允许合适位置的有机材料被沉积在基板上面或上方。可撕开沉积掩模应该正确安装和与基板对准。下面是用于安装和对准可撕开沉积掩模的标准技术的描述。先有技术通常是使用框并手工地使掩模相对于所述框定中心。胶带常被用于把可撕开沉积掩模固定在框上。具有已安装的可撕开沉积掩模的框以基板为基准被置于真空室中。本专利技术的目的是为从底板上取去可撕开沉积掩模提供改进的方法，同时在它从底板上取去后减小可撕开沉积掩模中的起伏(变形)。这个目的通过把沉积掩模安装在柔性框上的方法来实现，所述柔性框用于制造OLED中通过可撕开掩模的材料真空沉积，所述方法包括各步骤(a)提供具有制成在其上的可撕开沉积掩模的底板；(b)提供具有边界部分的柔性框，这种边界部分构成框的开口，所述框的开口对应于可撕开沉积掩模上的边界部分；(c)对准柔性框边界部分与可撕开沉积掩模的边界部分并然后固定它们，和从板上取去柔性框和已固定的可撕开沉积掩模；和(d)安装在支持件中的可撕开沉积掩模与柔性框，在随后的材料真空沉积期间，所述支持件保持可撕开沉积掩模的平面性。本专利技术的优点是当可撕开沉积掩模安装在框上时减少了可撕开掩模的起伏(变形)。另一个优点是在可撕开沉积掩模从底板上取去之前，使得通过把框粘结固定在可撕开沉积掩模上而使可撕开沉积掩模安装在框支持件上的方法更容易变得有效。附图说明图1是被取去之前在底板上的柔性框的等轴视图；图2是根据本专利技术的可撕开沉积掩模的柔性框及支持件的分解视图；和图3描绘从底板取去可撕开沉积掩模期间的柔性框。图1是柔性框14的等轴视图，柔性框14具有较好由铝制成的边界部分10和为允许沉积有机材料所需的中央矩形开口36，握舌18位于矩形柔性框14的一个外边角处。图1描绘了在柔性框14的相对角处的两个位置中有定位器孔20。定位器孔20用于两个目的。如图1所示，定位器孔20是作为可视的对准孔，用于柔性框14与位于可撕开沉积掩模12的相对角处的对准目标物24手工对准。本专利技术使柔性框14的边界部分10与可撕开沉积掩模12的边界部分对准并固定。这使柔性框14和已固定的可撕开沉积掩模12容易从底板38取下。图2显示了柔性框14中的定位器孔20。在底板38上电铸沉积了可撕开沉积掩模12。图2描绘柔性框14的分解视图，柔性框14具有粘结地连接及安装于支持件26的可撕开沉积掩模12。可撕开沉积掩模12具有对准孔22，通过粘胶层16在可撕开沉积掩模12上安装了柔性框14。柔性框14具有使可撕开沉积掩模12容易取下的握舌18，这将在图3中详细讨论。柔性框14具有定位器孔20，定位器孔20被描绘处于相对角处，它们被用来对准可撕开沉积掩模12。可撕开沉积掩模12具有对准目标物24，对准目标物24位于可撕开沉积掩模12的相对角处与柔性框14的对准孔20相对应。分解图还描绘了具有两个销子28的支持件26，销子28位于中央槽30的相对角处，它们与柔性框14的定位器孔20对准。中央槽30被构造成接纳柔性框14的图形，它在周边上具有间隙公差以便不妨碍热膨胀。支持件26被描绘成具有开口36，开口36位于支持件26边界槽30的中央位置。这个安装装置在随后的材料真空沉积期间保持可撕开沉积掩模12的平面性。另外描绘了保持件32，保持件32提供了在支持件26中平面地包夹具有粘胶层16的柔性框14与可撕开沉积掩模12的方法，其方式是不妨碍由热膨胀引起的横向移动。热膨胀产生于沉积工艺期间。应懂得在通过可撕开沉积掩模沉积有机材料而制成有机发光二极管(OLED)时产生了温度差。图3示出了从所述底板38上使用在柔性框14上的握舌18移走该可撕开的沉积掩模，从而由手动抬起该握舌18将所述可撕开沉积掩模从所述板上剥落，该握舌18将使该柔性框14翘曲使得将所述可撕开沉积掩模12从所述底板上剥落。该移走方法被完成，粘合连接的可撕开沉积掩模12的柔性框现在能够安装到支持件30中。权利要求1.把沉积掩模安装在柔性框上的一种方法，在制作有机发光二极管中所述方法应用于通过可撕开沉积掩模真空沉积材料，所述方包括步骤(a)提供具有制成在其上的可撕开沉积掩模的底板；(b)提供具有边界部分的柔性框，这种边界部分构成框的开口，所述框的开口与可撕开沉积掩模上的边界部分相对应；(c)使柔性框的边界部分与可撕开沉积掩模的边界部分对准然后固定它们，和从底板上取去柔性框及已固定的可撕开沉积掩模；和(d)把柔性框与可撕开沉积掩模安装在支持件中，所述支持件在随后的真空沉积材料期间保持可撕开沉积掩模的平面性。2.如权利要求1的方法，还包括在柔性框上提供握舌，它让使用者容易取去柔性框及已固定的可撕开沉积掩模。3.如权利要求1的方法，其特征在于利用框的对准基点来制成可撕开沉积掩模，而柔性框含有对应于可撕开沉积掩模上的所述基点的对准孔，以便容易对准。4.如权利要求1的方法，其特征在于所述材料是有机的或无机的。5.如权利要求1的方法，还提供保持件，所述保持件包夹在支持件中的柔性框和可撕开沉积掩模，全文摘要把沉积掩模(12)安装在柔性框(14)上的一种方法，该方法应用于制作OLED中通过可撕开沉积掩模的材料真空沉积，所述方法包含步骤提供具有制作在其上的可撕开沉积掩模的底板(38)；提供具有边界部分(10)的柔性框，这种边界部分构成框的开口本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：T·K·克拉克，
申请(专利权)人：伊斯曼柯达公司，
类型：发明
国别省市：