一种晶圆机台废液排放系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种晶圆机台废液排放系统，为晶圆机台排放废液，包括：第一排放管路，与晶圆机台连通以导出废液，处理罐，与第一排放管路连通以盛装废液，且处理罐内设有搅拌器以搅动废液，第二排放管路，连通至处理罐的底部以导出废液，主控制阀，设置在第二排放管路上以控制其开闭，以及稀释液供应管路，与处理罐连通。还包括第一液位传感器、第二液位传感器以及控制装置，第一液位传感器设置在处理罐下部，第二液位传感器设置在处理罐上部，控制装置分别与第一液位传感器、第二液位传感器以及主控制阀通讯连接。可以有效解决废液堵塞管路的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆机台废液排放系统
本技术涉及半导体加工
，尤其指一种晶圆机台废液排放系统。
技术介绍
半导体晶圆是生产集成电路所用的载体。在半导体集成电路制造的工艺流程中，有近100个以上的步骤与晶圆表面清洗和化学处理有关，这些步骤占总生产流程步骤的25％至35％。晶圆清洗过程中，会用到多种化学品，并产生相应的清洗废液。由于废液的粘稠度极大、并且成分十分复杂，在废液排放过程中常常堵塞管路而必须停止设备运行进行处理，极大的影响了生产制造效率。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种晶圆机台废液排放系统，可以有效解决废液堵塞管路的问题。本技术提供的技术方案如下：一种晶圆机台废液排放系统，为晶圆机台排放废液，包括：第一排放管路，与所述晶圆机台连通以导出废液，处理罐，与所述第一排放管路连通以盛装废液，且所述处理罐内设有搅拌器以搅动废液，所述处理罐上部设置有第一液位传感器，所述处理罐下部设置有第二液位传感器；第二排放管路，连通至所述处理罐的底部以导出废液，主控制阀，设置在所述第二排放管路上以控制其开闭，控制装置，分别与所述主控制阀、所述第一液位传感器以及所述第二液位传感器通讯连接，以及，稀释液供应管路，与所述处理罐连通；其中，所述处理罐内液位高于所述第二液位传感器位置时，所述控制装置调整所述主控制阀开启，所述处理罐内液位低于所述第一液位传感器时，所述控制装置调整所述主控制阀关闭。本技术方案，废液首先经过处理罐的搅拌处理后在进入后续的管路中流动，可以通过搅拌的动作使废液分布更均匀、颗粒更小，同时加入稀释液加大废液中的液体含量，使得废液不容易在管路中堵塞。同时第二排放管路上配备有控制阀，可以在废液经过处理罐充分混合混匀之后再进入后续的排放管路中运输，进一步的减少废液在管路中堵塞的可能。通过处理罐中的不同液位来调控第二排放管路的开闭动作，当处理罐中积累液体到较高液位时，开始排放处理罐中的废液，而当排放到处理罐中液体排放到较低液位时，关闭第二排放通路。如此可以保证处理罐中的废液是在处理罐中经过充分处理之后才进入后续的排放管路中的。具体的，所述稀释液供应管路上设置有副控制阀，所述控制装置与所述副控制阀通讯连接，其中，所述处理罐内液位高于所述第二液位传感器位置时，所述控制装置调整所述副控制阀关闭，所述处理罐内液位低于所述第一液位传感器时，所述控制装置调整所述主控制阀开启。本技术方案，可以避免稀释液的浪费。具体的，所述搅拌器包括搅拌桨、搅拌轴与电机，所述电机通过所述搅拌轴驱动所述搅拌桨旋转。本技术提供的一种晶圆机台废液排放系统，能够带来以下至少一种有益效果：1、废液首先经过处理罐的搅拌处理后在进入后续的管路中流动，可以通过搅拌的动作使废液分布更均匀、颗粒更小，同时加入稀释液加大废液中的液体含量，使得废液不容易在管路中堵塞。同时第二排放管路上配备有控制阀，可以在废液经过处理罐充分混合混匀之后再进入后续的排放管路中运输，进一步的减少废液在管路中堵塞的可能。2、通过处理罐中的液位高度或者废液在处理罐中停留的时间来调控第二排放管路的开闭动作。可以保证处理罐处理废液的质量，同时保证处理罐中的废液不要溢出。3、晶圆机台的废液排放动作以及稀释液管路的输入动作均受处理罐中液位的调控，处理罐处于低液位时，晶圆机台输出废液。附图说明下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对晶圆机台废液排放系统的上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。图1是晶圆机台废液排放系统的组成部分示意图。附图标号说明：100、晶圆机台，200、第一排放管路，210、第二排放管路，211、主控制阀，300、处理罐，310、搅拌桨，311、电机，312、搅拌轴，320、第一液位传感器，321、第二液位传感器，400、控制装置，500、稀释液供应管路。具体实施方式为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本技术的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。为使图面简洁，各图中的只示意性地表示出了与本技术相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。如图1所示，本实施例公开一种晶圆机台100废液排放系统，为晶圆机台100排放废液，该系统包括：第一排放管路200、处理罐300、第二排放管路210、主控制阀211以及稀释液供应管路500。第一排放管路200与晶圆机台100连通以导出废液，处理罐300与第一排放管路200连通，且处理罐300内设有搅拌器，第二排放管路210连通至处理罐300底部以导出废液，主控制阀211设置在第二排放管路210上以控制其开闭，稀释液供应管路500与处理罐300连通以向处理罐300中输入稀释液。搅拌器包括搅拌桨310、搅拌轴312与电机311，电机311通过搅拌轴312驱动搅拌桨310旋转处理罐300可以暂存废液，在通入稀释液的情况对废液进行搅拌，可以使得废液混合的更为均匀，易于在管路中流动。主控制阀211用以调整处理罐300与后续排放管路的开闭状态，可以控制废液在处理罐300中停留足够长的时间进行处理。废液在处理罐中停留的时间，可以通过液位控制或者时间控制的方式进行调控。液位控制的实施方案为，加设第一液位传感器320、第二液位传感器321以及控制装置400。第一液位传感器320设置在处理罐300下部，第二液位传感器321设置在处理罐300上部，控制装置400分别于第一液位传感器320、第二液位传感器321以及主控制阀211通讯连接。当处理罐300内的液位高于第二液位传感器321位置时，控制装置400调整主控制阀211开启，也即当处理罐中液位较高达到预设的液位高度时，开启主控制阀211使得经过处理的废液从处理罐300流入第二排放管路210。而当处理罐300内液位低于第一液位传感器320时，控制装置400调整主控制阀211关闭。也即当处理罐中液位较低达到预设的液位高度时，关闭主控制阀211使得废液在处理罐中累积。时间控制的实施方案为增设计时器(图中未画出)以及控制装置，控制装置分别于所述计时器以及所述主控制阀通讯连接，当所述计时器计时到达预设时间时，控制装置调整主控制阀开启或关闭，如此可以使得在预设的时间周期内主控制阀开启和关闭。进一步的，稀释液供应管路500上设置有副控制阀，控制装置400与副控制阀通讯连接，其中，处理罐300内液位高于第二液位传感器321位置时，控制装置400调整副控制阀关闭，处理罐300内液位低于第一液位传感器320时，控制装置400调整副控制阀开启。应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆机台废液排放系统，为晶圆机台排放废液，其特征在于，包括：第一排放管路，与所述晶圆机台连通以导出废液，处理罐，与所述第一排放管路连通以盛装废液，且所述处理罐内设有搅拌器以搅动废液，所述处理罐下部设置有第一液位传感器，所述处理罐上部设置有第二液位传感器；第二排放管路，连通至所述处理罐的底部以导出废液，主控制阀，设置在所述第二排放管路上以控制其开闭，控制装置，分别与所述主控制阀、所述第一液位传感器以及所述第二液位传感器通讯连接，以及，稀释液供应管路，与所述处理罐连通；其中，所述处理罐内液位高于所述第二液位传感器位置时，所述控制装置调整所述主控制阀开启，所述处理罐内液位低于所述第一液位传感器时，所述控制装置调整所述主控制阀关闭。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆机台废液排放系统，为晶圆机台排放废液，其特征在于，包括：第一排放管路，与所述晶圆机台连通以导出废液，处理罐，与所述第一排放管路连通以盛装废液，且所述处理罐内设有搅拌器以搅动废液，所述处理罐下部设置有第一液位传感器，所述处理罐上部设置有第二液位传感器；第二排放管路，连通至所述处理罐的底部以导出废液，主控制阀，设置在所述第二排放管路上以控制其开闭，控制装置，分别与所述主控制阀、所述第一液位传感器以及所述第二液位传感器通讯连接，以及，稀释液供应管路，与所述处理罐连通；其中，所述处理罐内液位高于所述第二液位传感器位置时，所述控...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨小雄，
申请(专利权)人：上海众鸿电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31