本说明书实施例提供一种晶圆状态检测装置、涂胶显影机及检测方法，检测装置包括热盘和设置于热盘上的若干陶瓷垫片，晶圆放置于若干陶瓷垫片形成的放置区域内，还包括设置于热盘上的对射传感器和控制器，对射传感器和控制器之间电性连接，对射传感器包括发...

本发明属于循环泵技术领域，公开了一种控温组件及循环泵。该控温组件包括第一冷却板、第二冷却板、制冷片和连接件，第一冷却板内设有第一管道，两个第二冷却板分别间隔设于第一冷却板的两侧，第二冷却板与第一冷却板相互平行设置，第二冷却板内设有第二管...

本实用新型提供了一种用于显影机蓄水瓶的自动补水装置，包括注水管、开关组件，注水管穿过并固定在蓄水瓶的瓶盖上，开关组件位于蓄水瓶内且设置在靠近注水管出水口位置。开关组件包括连接臂、位于连接臂一端的漂浮件、位于连接臂另一端的封堵件，封堵件位...

本实用新型提供了一种光刻胶废液的排液处理装置，包括排液盒、搅拌器、废液浓度调节结构、排液控制结构，搅拌器对排液盒内光刻胶废液进行搅拌。排液控制结构通过控制器电连接和液位传感器对排液盒底部的排液管上的排液控制阀进行开启或关闭进行控制。通过...

本申请提供了一种集成式显影槽喷头及显影设备。显影槽喷头包括本体、清洗液喷嘴、显影液喷嘴、清洗液接口、显影液接口和连接杆。清洗液接口用于连接显影设备的清洗液管路，显影液接口用于连接显影设备的显影液管路，本体具有至少一个清洗液通道和至少一个...

本实用新型公开了一种电源控制电路，包括传感器；控制表头，所述控制表头的信号输入端与所述传感器连接，所述控制表头的电源输入端与所述供电端连接；第一输出电路，与所述控制表头的输出端连接，所述第一输出电路内设置第一电源和第一开关；第二输出电路...

本实用新型公开了一种简易滴胶喷头更换装置，包括喷涂组件、支座、控温组件、传送组件和夹取组件。其中，喷涂组件用于对晶圆喷涂光刻胶；支座用于放置喷涂组件，且每一支座对应放置有用于喷涂同种光刻胶的喷涂组件；控温组件用于对喷涂组件内的光刻胶控温...

本实用新型专利公开了一种用于涂胶显影机的喷嘴夹持装置，涂胶显影机包括用于吸附晶圆的吸盘和用于对晶圆进行涂胶的喷嘴组件。喷嘴组件包括多个呈并列设置的喷嘴，喷嘴夹持装置包括夹持机构和调节机构。夹持机构具有一夹持部，每一喷嘴均设有一和夹持部相...

本实用新型专利公开了一种用于涂胶显影机的喷嘴锁定装置，涂胶显影机包括作业平台、安装于作业平台的吸盘和涂胶装置。喷嘴锁定装置包括动力机构和锁定机构。动力机构安装于作业平台。锁定机构包括一基座和多个锁定支架，基座安装于工装载具的一侧，多个锁...

本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种光刻胶收集杯清洗装置，包括可旋转的旋转台、清洗盘和喷嘴；清洗盘设置在旋转台上，旋转台旋转时带动清洗盘转动，清洗盘内设有通道，所述清洗盘的侧壁沿转动方向设有多个通孔，所述清洗盘的底部沿转动方向设有多...

本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种废弃光刻胶排放装置及涂胶显影机。该废弃光刻胶排放装置包括：积液盒，所述积液盒内设置有用于装设废弃光刻胶的腔室，所述积液盒上设置有进液口和排液口，所述进液口与所述腔室连通，用于收集所述废弃光刻胶...

本申请提供了一种气液分离装置及涂胶显影机。气液分离装置包括外筒、分离罩、分离筒、进液管、连接盒、排气筒、第一阀门和第二阀门。外筒具有排气口和排水口，分离罩将外筒的内腔上下分隔为第一腔体和第二腔体；进液管用于将气液混合物输入至第一腔体。分...

本申请提供了一种晶圆处理装置用箱体及晶圆处理装置，包括外壳、安装支架、阀门和排气管；外壳具有安装腔、排气通道、第一通气口。排气通道集成设置于外壳，安装腔用于安装多个晶圆处理单元，第一通气口连通安装腔和排气通道、用于连接至晶圆处理单元的排...

本实用新型专利公开了一种过滤器余液收集装置，包括收集本体，至少过滤器的出液口位于其内部。收集本体包括上下对应且连通的存放部和储液部。存放部用于存放过滤器，储液部用于储存经出液口排放的余液。存放部和储液部之间形成用于承载过滤器的抵接台。储...

本实用新型专利公开了一种防滑出机构及机柜，防滑出机构包括固定件、锁扣件及防滑件。固定件的固定部设于柜体开口的一侧。连接部设于固定部上，且位于同侧的柜体内侧面和抽屉外侧面形成的缝隙内。锁扣件的锁扣部铰接于连接部，用于卡接抽屉的前端面，以限...

本发明公开了一种晶圆夹持件、晶圆夹持机构及晶圆加工设备，所述晶圆夹持件包括一个安装座；一个夹持臂，所述夹持臂包括一个基座和两个第一延伸臂，两个所述第一延伸臂分别安装于所述基座，所述基座安装于所述安装座；至少两个第二延伸臂，至少两个所述第...

本发明提供了一种晶圆机台报警方法及报警系统，其方法包括步骤：对晶圆机台内的各个报警单位进行第一编号，并将所述第一编号及对应的所述报警单位的第一图像信息存储至数据库；将晶圆机台划分为为若干个区域，并对各个区域内的所述报警单位进行第二编号，...

本发明提供了一种晶圆加工单元用挡板控制方法及控制系统，其方法包括步骤：判断用于转移晶圆的机器手上是否存在晶圆；若判断为是，则确定下一步处理晶圆的第一单元，并将所述机器手移动至所述第一单元的本机前；若判断为否，则判断当前是否存在具有晶圆的...

本发明公开了一种模块化晶圆加工设备及模块化晶圆加工组件，包括，一个基板；一个驱动机构；一个真空发生机构；一个通信机构，所述驱动机构、所述真空发生机构以及所述通信机构分别安装于所述基板，并且所述通信机构分别可工作地连接于所述驱动机构和所述...

本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种热处理装置及显影机。该热处理装置包括：用于喷涂显影液的喷嘴，所述喷嘴上设有喷嘴温控部，所述喷嘴温控部用于控制喷嘴的温度；电机，所述电机上设有电机温控部，所述电机温控部用于控制电机的温度；温度控...