一种集成式显影槽喷头及显影设备制造技术

本申请提供了一种集成式显影槽喷头及显影设备。显影槽喷头包括本体、清洗液喷嘴、显影液喷嘴、清洗液接口、显影液接口和连接杆。清洗液接口用于连接显影设备的清洗液管路，显影液接口用于连接显影设备的显影液管路，本体具有至少一个清洗液通道和至少一个显影液通道，清洗液接口和清洗液喷嘴均与清洗液通道连通，显影液接口和显影液喷嘴均与显影液通道连通；排成一列的显影液喷嘴的两侧各设置有一列清洗液喷嘴，且清洗液喷嘴斜向设置于本体底部两侧的倒角状斜面上。每个清洗液通道可与多个清洗液接口连接，每个显影液通道可与多个显影液接口连接，显影液通道还可与清洗液接口连接。显影设备包括上述集成式显影槽喷头。影设备包括上述集成式显影槽喷头。影设备包括上述集成式显影槽喷头。

【技术实现步骤摘要】
一种集成式显影槽喷头及显影设备


[0001]本技术涉及半导体涂胶显影设备
，尤其涉及一种集成式显影槽喷头及显影设备。

技术介绍

[0002]显影设备是集成电路生产过程中，将曝光后的涂胶硅片进行显影成型的设备。显影工艺会使用到显影液喷嘴和清洗液喷嘴。显影液喷嘴的作用是喷涂显影液,使被曝光过的光刻胶跟显影液中的化学物质进行化学反应,最终使曝光机曝光的图形显现出来；清洗液喷嘴作用是喷淋去离子水(DIW)，将显影后硅片上多余的显影液以及其和光刻胶化学反应后的废液清洗干净。
[0003]实际使用中，出于工艺需要，显影液喷嘴和清洗液喷嘴喷涂或喷淋药液的范围一般都要覆盖从硅片边缘到中心的较大区域，因此通常需要通过显影槽机械臂来移动显影液喷嘴和清洗液喷嘴，以对整个范围进行药液喷涂或喷淋。在设置有多个喷头时，需要设置多个机械臂来移动这些喷头，或者需要机械臂进行喷头的更换操作，不仅设备结构复杂，而且对控制、维护均有较高的要求。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的以上不足，本技术的目的在于提供一种将显影液喷嘴和清洗液喷嘴集成于一体，且结构简单、易于控制的集成式显影槽喷头，以及基于该集成式显影槽喷头的显影设备。
[0005]为了实现上述目的，本技术提供了下述的技术方案。
[0006]一种集成式显影槽喷头，用于显影设备，包括：本体；至少两个清洗液喷嘴和至少一个显影液喷嘴；清洗液接口，用于连接所述显影设备的清洗液管路；显影液接口，用于连接所述显影设备的显影液管路；其中，所述本体具有至少一个清洗液通道和至少一个显影液通道，所述清洗液接口和所述清洗液喷嘴均与所述清洗液通道连通，所述显影液接口和所述显影液喷嘴均与所述显影液通道连通；至少一个所述显影液喷嘴的两侧各设置有一个所述清洗液喷嘴。
[0007]在一些实施方式中，所述显影液喷嘴设置于所述本体的底部，且喷射方向向下；所述显影液喷嘴两侧的所述清洗液喷嘴的喷射方向分别向下向外地斜向设置。
[0008]在一些实施方式中，所述显影液喷嘴的数量为至少2个，且排成一列；所述清洗液喷嘴的数量为多个，且在排成一列的所述显影液喷嘴的两侧各排成一列。
[0009]在一些实施方式中，所述本体的底部的两侧具有倒角状的斜面，所述清洗液喷嘴设置于所述斜面上，所述显影液喷嘴设置于所述底部的中部。
[0010]在一些实施方式中，所述清洗液通道的数量为2个，每个所述清洗液通道与位于所述显影液喷嘴一侧的所述清洗液喷嘴连通；每个所述清洗液通道均和至少2个所述清洗液接口连通。
[0011]在一些实施方式中，所述显影液通道还和至少一个所述清洗液接口连通。
[0012]在一些实施方式中，所述显影液通道和至少2个所述显影液接口连通。
[0013]在一些实施方式中，还包括连接杆，固定至所述本体，所述连接杆具有一沿长度方向延伸的贯通槽，用于调节所述集成式显影槽喷头和所述显影设备的显影槽机械臂的连接位置；所述清洗液喷嘴和所述显影液喷嘴均呈凸起设置于所述本体的喷管状。
[0014]在一些实施方式中，每个所述清洗液接口均用于连接至独立控制的所述清洗液管路；每个所述显影液接口均用于连接至独立控制的所述显影液管路。
[0015]本申请还提供了一种显影设备，包括前述的任一种集成式显影槽喷头；还包括显影槽机械臂，所述集成式显影槽喷头的本体连接至所述显影槽机械臂；其中，所述显影槽机械臂用于移动所述集成式显影槽喷头进行硅片的显影液喷涂工艺和清洗工艺。
[0016]本技术的实施例具有以下技术效果中的至少一种：
[0017]1.通过将显影液喷嘴和清洗液喷嘴集成至一个喷头，使显影设备的显影槽机械臂无需更换喷头，简化了设备结构和控制难度；
[0018]2.通过在显影液喷嘴的两侧设置清洗液喷嘴，并倾斜设置清洗液喷嘴，使清洗过程可以快速完成，同时将显影液喷嘴设置于本体中部，保证了显影液喷涂工艺的准确性；
[0019]3.通过设置多个并排排列的清洗液喷嘴，使清洗液可以均匀大范围喷淋，进一步实现快速有效的清洗过程；
[0020]4.通过设置多个清洗液接口，可利用同一集成式显影槽喷头进行多种不同的清洗液的喷淋；
[0021]5.通过在显影液通道上连接额外的清洗液喷嘴，可在需要时同时利用显影液喷嘴进行清洗液的喷淋。
附图说明
[0022]下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对本技术的上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
[0023]图1是集成式显影槽喷头的一个实施例的正视图；
[0024]图2是图1实施例的一个视角的透视图；
[0025]图3是图1实施例的俯视图；
[0026]图4是集成式显影槽喷头的另一个实施例的俯视图；
[0027]附图标号说明：
[0028]100.本体，200.清洗液喷嘴，300.显影液喷嘴，400.清洗液接口，500.显影液接口，600.连接杆，610.贯通槽。
具体实施方式
[0029]为了更清楚地说明本技术的实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本技术的具体实施方式。下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
[0030]为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与本技术相关的部分，它们并不
代表其作为产品的实际结构。在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。在本申请说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0031]除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0032]本申请的集成式显影槽喷头用于安装至显影设备的显影槽，为曝光工艺之后的硅片喷涂显影液,使被曝光过的光刻胶跟显影液中的化学物质进行化学反应,最终使曝光机曝光的图形显现出来；并在显影工艺完成后向硅片和显影槽喷淋去离子水等清洗液，将显影后硅片上多余的显影液以及其和光刻胶化学反应后的废液清洗干净。如图1所示，集成式显影槽喷头的一个实施例包括铝合金制成的本体100、至少两个清洗液喷嘴200和至少一个显影液喷嘴300；本体100上设置有清洗液接口400和显影液接口500，清洗液接口400用于连接至显影设备的清洗液管路，显影液接口500本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成式显影槽喷头，用于显影设备，其特征在于，包括：本体；至少两个清洗液喷嘴和至少一个显影液喷嘴；清洗液接口，用于连接所述显影设备的清洗液管路；显影液接口，用于连接所述显影设备的显影液管路；其中，所述本体具有至少一个清洗液通道和至少一个显影液通道，所述清洗液接口和所述清洗液喷嘴均与所述清洗液通道连通，所述显影液接口和所述显影液喷嘴均与所述显影液通道连通；至少一个所述显影液喷嘴的两侧各设置有一个所述清洗液喷嘴。2.根据权利要求1所述的集成式显影槽喷头，其特征在于，所述显影液喷嘴设置于所述本体的底部，且喷射方向向下；所述显影液喷嘴两侧的所述清洗液喷嘴的喷射方向分别向下向外地斜向设置。3.根据权利要求2所述的集成式显影槽喷头，其特征在于，所述显影液喷嘴的数量为至少2个，且排成一列；所述清洗液喷嘴的数量为多个，且在排成一列的所述显影液喷嘴的两侧各排成一列。4.根据权利要求3所述的集成式显影槽喷头，其特征在于，所述本体的底部的两侧具有倒角状的斜面，所述清洗液喷嘴设置于所述斜面上，所述显影液喷嘴设置于所述底部的中部。5.根据权利要求3所述的集成式显影槽喷头，其特征在于，所述清洗液通道的数量为2个，每个所述清...

【专利技术属性】
技术研发人员：金浩天，刘祝，
申请(专利权)人：上海众鸿电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：