本实用新型涉及半导体制造技术领域，公开了一种热处理装置及涂布机。该热处理装置包括：用于涂布光刻胶的喷嘴，所述喷嘴上设有第一温控部，所述第一温控部用于控制喷嘴的温度；电机，所述电机上设有第二温控部，所述第二温控部用于控制电机的温度；温度控...

本实用新型公开了一种涂胶显影机化学液供料系统，包括：第一缓冲罐、第二缓冲罐、原料输出泵、原料储存罐；所述第一缓冲罐通过第一管道连接所述原料输出泵；所述第一管道上设置有第一阀门，用于控制所述第一管道的通闭；所述第二缓冲罐通过第二管道连接所...

本实用新型专利公开了一种胶瓶座装置及涂胶显影机，涉及涂胶显影设备领域，该胶瓶座装置包括：固定板；胶瓶套筒，所述胶瓶套筒设置在所述固定板表面，开口朝向远离所述固定板的一侧，用于固定胶瓶，所述胶瓶套筒与所述胶瓶相匹配，且轴线方向与所述固定板...

本实用新型公开了一种晶圆传输机构及晶圆加工设备，所述晶圆传输机构用于在晶圆盒和晶圆转运机构之间传输晶圆，包括，架体；承载组件，包括安装座、承载臂以及推动臂，所述安装座安装于所述架体，所述承载臂安装于所述安装座，所述推动臂安装于所述安装座...

本实用新型公开了一种晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板，所述晶圆加工设备的前盖板包括，盖板主体，所述盖板主体具有一个窗口部和一个辅助操控部，所述窗口部与所述辅助操控部相邻设置，所述盖板主体还具有形成于所述窗口部的至少一个窗口和安装于所述...

本实用新型公开了一种模块化晶圆加工设备及模块化晶圆加工组件，包括，一个基板；一个驱动机构；一个真空发生机构；一个通信机构，所述驱动机构、所述真空发生机构以及所述通信机构分别安装于所述基板，并且所述通信机构分别可工作地连接于所述驱动机构和...

本实用新型公开了一种晶圆转运机构和晶圆加工设备，所述晶圆转运机构用于在晶圆传输机构与晶圆处理单元之间转运晶圆，包括，晶圆夹持机构，包括三个相互叠层设置的晶圆夹持组件；转运架体，包括转动调节架和高度调节架，所述高度调节架安装于所述转动调节...

本实用新型公开了一种流量检测装置，包括流量计本体，还包括：通讯连接的传感器与控制器；高度调节结构，其包括：两块滑动块与透明板，透明板的两端分别与滑动块连接，两块滑动块相对于透明板的竖直对称轴对称，两块滑动块的相对的端面上设有滑动凸缘，其...

本实用新型公开了一种恒温供液系统与含有恒温供液系统的清洗槽。恒温供液系统，用于为晶圆清洗槽提供药液，包括：药液循环泵，药液循环泵与晶圆清洗槽分别设置在不同楼层，药液循环泵通过药液管与晶圆清洗槽连通，药液循环泵将药液通过药液管输送至晶圆清...

本实用新型公开了一种晶圆搬运机械手臂，涉及半导体零件输送领域。包括主体和搬运装置，所述主体包括支架和设置在所述支架上的固定座，所述固定座上转动连接有转动座，所述主体上还设有用于驱动所述转动座转动的转动机构；所述搬运装置包括穿设在所述转动...

本发明公开了一种晶圆搬运机械手臂，涉及半导体零件输送领域。包括主体和搬运装置，所述主体包括支架和设置在所述支架上的固定座，所述固定座上转动连接有转动座，所述主体上还设有用于驱动所述转动座转动的转动机构；所述搬运装置包括穿设在所述转动座上...

本实用新型公开了一种晶圆涂胶机，包括：机台，若干热板，装设在机台内由加热装置控制升温，每个热板上布设温度传感器，进气管和排气管，排气管上布设有压力传感器，风机，与排气管相连，光刻胶供应管路及喷嘴，喷嘴连通至光刻胶供应管路，喷嘴位于机台内...

本实用新型公开了一种循环水加热装置，用于为循环水加热，包括：水箱，其上设有进水口和出水口以传导循环水，并且所述水箱为平板状，两块导热板，分别贴合在所述水箱相对的端面上，并且所述导热板在临近所述水箱一侧设有特氟龙镀层；若干个制冷片，贴合在...

本实用新型公开了一种晶圆烘烤系统，包括：机台，加热装置，若干热板，设置在所述机台上，所述加热装置为所述热板加热，若干温度传感器，布设在每个所述热板上测温，每个热板上至少设置一个温度传感器；减法器，获取所述温度传感器测得的每两个热板的温度...

本实用新型公开了一种晶圆机台废液排放系统，为晶圆机台排放废液，包括：第一排放管路，与晶圆机台连通以导出废液，处理罐，与第一排放管路连通以盛装废液，且处理罐内设有搅拌器以搅动废液，第二排放管路，连通至处理罐的底部以导出废液，主控制阀，设置...

本实用新型公开了一种涂布设备的防泄漏管结构，包括：主排液管道，所述主排液管道的废水入口与涂布槽连通，所述主排液管道的废水出口与厂务端连通；多根副排液管道，所述副排液管道的废水出口与所述主排液管道连通。一种涂布设备，设有涂布设备的防泄漏管...

本实用新型公开了一种晶圆机台温控系统，为晶圆机台冷却，包括：循环泵，通过机台进水管与机台出水管与晶圆机台连通，以维持晶圆机台温度，循环泵的控制模块与机台通讯连接，冷却装置，通过冷却水进水管与冷却水出水管与循环泵连通，以冷却循环泵，第一气...

本实用新型公开了一种显影液供应系统，为显影机台供应显影液，包括：控制装置、并联的第一显影液供液管路与第二显影液供应管路；其中，第一显影液供应管路包括：显影液储罐，盛装有显影液；缓冲罐，通过管路连通至显影液储罐的底部进气管，连通至显影液储...

本实用新型公开了一种显影液供应系统，包括：与显影机台流体地联接的至少两路供应源；用于切换所述至少两路供应源与所述显影机台导通关系的切换子系统；以及，用于监测每一路所述供应源的显影液的有无的第一检测子系统；第一检测子系统和切换子系统通讯连...

本实用新型公开了一种光刻机用光源灯箱，包括：箱体，包括底板、侧板以及上盖，底板、侧板以及上盖围设出一容纳空间，隔板，以“十”字型布设在所述箱体内，将所述容纳空间分隔为依次相邻的第一隔间、第二隔间、第三隔间以及第四隔间，所述第一隔间对应的...