一种胶瓶座装置及涂胶显影机制造方法及图纸

本实用新型专利技术专利公开了一种胶瓶座装置及涂胶显影机，涉及涂胶显影设备领域，该胶瓶座装置包括：固定板；胶瓶套筒，所述胶瓶套筒设置在所述固定板表面，开口朝向远离所述固定板的一侧，用于固定胶瓶，所述胶瓶套筒与所述胶瓶相匹配，且轴线方向与所述固定板呈锐角；储液壶，所述储液壶设置在所述胶瓶套筒一侧，可拆卸装设在所述固定板上，所述储液壶顶部设置有壶口，所述壶口可与涂胶显影机的排液管连接。实现了能够减少胶液浪费，并能够防止排液管堵塞的目的。

【技术实现步骤摘要】
一种胶瓶座装置及涂胶显影机
本技术涉及涂胶显影设备领域，具体的说，涉及一种胶瓶座装置及涂胶显影机。
技术介绍
涂胶显影机是用来制造半导体的一种设备，一般用于光刻胶涂布及显影等工艺。涂布光刻胶是涂胶显影机在光刻工艺中必要的一步。通常光刻胶是由胶瓶提供，会出现胶瓶低部胶液浪费。此外，涂胶显影机在运行过程中，需要排出废液。通常废液会通过排液管直接排送到厂务排液管。但由于不同工作情况产生废液的黏度与流量不同，通过厂务排液管排送，存在堵塞风险。因此，能否设计一种涂胶显影装置，能够减少胶液浪费，并能够防止排液管堵塞，是本专利想要解决的问题。
技术实现思路
针对现有技术存在的以上缺陷，本技术提供了一种胶瓶座装置及涂胶显影机，实现了能够减少胶液浪费，并能够处理粘稠废液的目的。本技术提供的技术方案如下：一种胶瓶座装置，包括：固定板；胶瓶套筒，所述胶瓶套筒设置在所述固定板表面，开口朝向远离所述固定板的一侧，用于固定胶瓶，所述胶瓶套筒与所述胶瓶相匹配，且轴线方向与所述固定板呈锐角；储液壶，所述储液壶设置在所述胶瓶套筒一侧，可拆卸装设在所述固定板上，所述储液壶顶部设置有壶口，所述壶口可与涂胶显影机的排液管连接。本技术方案公开了一种胶瓶座装置，一方面通过与固定板呈一定夹角的胶瓶套筒，使胶瓶可以倾斜安装在胶瓶套筒内，胶瓶底面的液体聚集，有效减少胶液的浪费；另一方面，通过在胶瓶套筒一侧设置储液壶，可以使排液管的液体直接排入储液壶，而不是使用较长的管道接入厂务排液管，避免造成粘稠液体堵塞。此外通过在胶瓶套筒侧边设置储液壶的方式也使设备整体集成度较高，布局完善。进一步地，所述储液壶侧面设置有液位传感器，所述液位传感器靠近所述储液壶顶部。本技术进一步公开了液位传感器，通过在储液壶侧面设置液位传感器，可以对储液壶内的液位实时监控，提醒使用者进行及时清空储液壶，防止液体溢出。进一步地，该胶瓶座装置还包括套筒固定座，与所述固定板固定连接，所述套筒固定座上表面设置有固定孔，以固定所述胶瓶套筒。本技术进一步公开了套筒固定座，通过套筒固定座可以更加稳固的固定胶瓶套筒，并且在后续的方案中与过滤板起到连接作用。进一步地，所述固定板表面沿长度方向设置有两个缺口，所述套筒固定座固定在两所述缺口之间，两所述缺口内均设置有所述储液壶；所述套筒固定座表面沿宽度方向设置有两所述固定孔，且分别装设有所述胶瓶套筒。进一步地，该胶瓶座装置还包括：传感器支架，底端固定在所述固定板上，所述传感器支架顶端呈U字型，与所述液位传感器相配合；所述液位传感器的感应面朝向所述储液壶侧壁，所述液位传感器的主体装设在所述传感器支架上。本技术专利进一步公开了传感器支架，通过该传感器支架将液位传感器固定在固定板上方，且使液位传感器的感应面朝向储液壶侧壁，实现对储液壶内部液位的实时监控。并且解决了如果液位传感器固定在储液壶侧面，则在需要清空储液壶时，液位传感器需要随储液壶一起移动，造成不便的问题。进而，增加了该胶瓶座装置的实用性与可行性。进一步地，该胶瓶座装置还包括：过滤板，包括依次连接的第一侧部、过滤板主体以及第二侧部，所述第一侧部与所述第二侧部相对应，所述过滤板主体表面设置有若干通孔，所述第一侧部与所述第二侧部远离所述过滤板主体的一侧固定在所述套筒固定座侧壁上，形成与所述固定板呈一定夹角的通道；积水槽，所述积水槽固定在所述过滤板底端，开口朝向所述通道。进一步地，所述储液壶顶部设置有手柄。本技术专利进一步公开了储液壶的具体结构，通过在储液壶顶端设置手柄，解决了储液壶移动困难的问题，进而增加了该胶瓶座装置的实用性。进一步地，该胶瓶座装置还包括：漏斗，所述漏斗可拆卸装设在所述壶口处，所述漏斗的小端与所述壶口相配合，所述漏斗大端可与所述排液管相连接。本技术专利进一步公开了一种装设有漏斗的胶瓶座装置，通过该漏斗，一方面，漏斗小端与壶口相配合，可以适配多种不同规格、尺寸的储液壶及壶口，进而解决排液管与储液壶口不匹配的问题；另一方面，在实际使用的过程中，排液管可便捷的插入漏斗大端，不再通过螺纹连接或卡接，进而方便储液壶取放。一种涂胶显影机，包括排液管、胶瓶，还包括上述任一所述胶瓶座装置，所述排液管通过漏斗与所述壶口可拆卸连接，所述胶瓶装设在所述胶瓶套筒内。本技术进一步公开了一种涂胶显影机，通过将涂胶显影机内部排出的液体通过排液管输送到储液壶内部，有效减少了排液管长度，可避免粘稠液体堵塞管道。此外，使用者可通过手柄移动储液罐，进行倾倒作业。而设置在胶瓶套筒内的胶瓶倾斜于固定板，有利于胶瓶内的液体排出干净，避免造成浪费。本技术的技术效果在于：1、通过与固定板呈一定夹角的胶瓶套筒，使胶瓶可以倾斜安装在胶瓶套筒内，胶瓶底面的液体聚集，有效减少胶液的浪费；此外，通过在胶瓶套筒一侧设置储液壶，可以使排液管的液体直接排入储液壶，而不是使用较长的管道接入厂务排液管，避免造成粘稠液体堵塞。此外通过在胶瓶套筒侧边设置储液壶的方式也使设备整体集成度较高，布局完善；2、通过在储液壶侧面设置液位传感器，可以对储液壶内的液位实时监控，提醒使用者进行及时清空储液壶，防止液体溢出；3、通过套筒固定座可以更加稳固的固定胶瓶套筒，并且在后续的方案中与过滤板起到连接作用；4、通过该传感器支架将液位传感器固定在固定板上方，且使液位传感器的感应面朝向储液壶侧壁，实现对储液壶内部液位的实时监控。并且解决了如果液位传感器固定在储液壶侧面，则在需要清空储液壶时，液位传感器需要随储液壶一起移动，造成不便的问题。进而，增加了该胶瓶座装置的实用性与可行性；5、通过在储液壶顶端设置手柄，解决了储液壶移动困难的问题，进而增加了该胶瓶座装置的实用性；6、通过在储液壶壶口处设置漏斗，一方面，漏斗小端与壶口相配合，可以适配多种不同规格、尺寸的储液壶及壶口，进而解决排液管与储液壶口不匹配的问题；另一方面，在实际使用的过程中，排液管可便捷的插入漏斗大端，不再通过螺纹连接或卡接，进而方便储液壶取放；7、通过将涂胶显影机内部排出的液体通过排液管输送到储液壶内部，有效减少了排液管长度，可避免粘稠液体堵塞管道。此外，使用者可通过手柄移动储液罐，进行倾倒作业。而设置在胶瓶套筒内的胶瓶倾斜于固定板，有利于胶瓶内的液体排出干净，避免造成浪费。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细说明：图1是本技术一种实施例的整体结构示意图；图2是一种实施例中胶瓶套筒与胶瓶位置关系示意图；图3是图1的后侧视图；图4是一种实施例中过滤后板与积水槽位置关系示意图；图5是本技术另种实施例的整体结构示意图；图6是图5中漏斗的结构示意图。附图标号说明：10.固定板，20.储液壶，21.液位传感器，22.壶口，23.手柄，30.排液管，40.过滤板，50.胶瓶套筒，60.套筒固定座，70本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种胶瓶座装置，其特征在于，包括：/n固定板；/n胶瓶套筒，所述胶瓶套筒设置在所述固定板表面，开口朝向远离所述固定板的一侧，用于固定胶瓶，所述胶瓶套筒与所述胶瓶相匹配，且轴线方向与所述固定板呈锐角；/n储液壶，所述储液壶设置在所述胶瓶套筒一侧，可拆卸装设在所述固定板上，所述储液壶顶部设置有壶口，所述壶口可与涂胶显影机的排液管连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种胶瓶座装置，其特征在于，包括：
固定板；
胶瓶套筒，所述胶瓶套筒设置在所述固定板表面，开口朝向远离所述固定板的一侧，用于固定胶瓶，所述胶瓶套筒与所述胶瓶相匹配，且轴线方向与所述固定板呈锐角；
储液壶，所述储液壶设置在所述胶瓶套筒一侧，可拆卸装设在所述固定板上，所述储液壶顶部设置有壶口，所述壶口可与涂胶显影机的排液管连接。


2.根据权利要求1所述的一种胶瓶座装置，其特征在于，
所述储液壶侧面设置有液位传感器，所述液位传感器靠近所述储液壶顶部。


3.根据权利要求1所述的一种胶瓶座装置，其特征在于，还包括：
套筒固定座，与所述固定板固定连接，所述套筒固定座上表面设置有固定孔，以固定所述胶瓶套筒。


4.根据权利要求3所述的一种胶瓶座装置，其特征在于，
所述固定板表面沿长度方向设置有两个缺口，所述套筒固定座固定在两所述缺口之间，两所述缺口内均设置有所述储液壶；
所述套筒固定座表面沿宽度方向设置有两所述固定孔，且分别装设有所述胶瓶套筒。


5.根据权利要求2所述的一种胶瓶座装置，其特征在于，还包括：
传感器支...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙游，金浩天，
申请(专利权)人：上海众鸿电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31