恒温供液系统与含有恒温供液系统的清洗槽技术方案

本实用新型专利技术公开了一种恒温供液系统与含有恒温供液系统的清洗槽。恒温供液系统，用于为晶圆清洗槽提供药液，包括：药液循环泵，药液循环泵与晶圆清洗槽分别设置在不同楼层，药液循环泵通过药液管与晶圆清洗槽连通，药液循环泵将药液通过药液管输送至晶圆清洗槽；设置于所述药液管处的加热设备；设置于所述药液管内的温度传感器；控制器，控制器分别与药液循环泵、加热设备以及温度传感器连接，及其含有恒温供液系统的清洗槽。本实用新型专利技术的恒温供液系统通过设置加热设备对药液管内的药液温度进行调节，使得进入晶圆清洗槽内的药液温度能够保持在23℃±0.1℃之内，提高晶圆的清洗效果。同时提供含有恒温供液系统的清洗槽，用于清洗晶圆。

Constant temperature liquid supply system and cleaning tank with constant temperature liquid supply system

【技术实现步骤摘要】
恒温供液系统与含有恒温供液系统的清洗槽
本技术涉及加热装置设计领域，尤其涉及一种恒温供液系统与含有恒温供液系统的清洗槽。
技术介绍
半导体晶圆对微污染物的存在非常敏感，为了达成晶圆表面无污染物的目标，必须移除表面的污染物并避免在制程前让污染物重新残余在晶圆表面。因此半导体晶圆在制造过程中，需要经过多次的表面清洗步骤，以去除表面附着的金属离子、原子、有机物及微粒。然而用于清洗晶圆表面的药液的温度对晶圆表面的清洗效果影响较大，需要保持药液温度在23℃±0.1℃之内才能够实现较好的晶圆清洗效果，然而为了节约设备的占地面积，药液泵与晶圆的清洗槽会设置在不同楼层，药液的温度在输送过程中会下降从而导致药液温度无法控制，最终导致晶圆清洗效果较差。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种恒温供液系统与含有恒温供液系统的清洗槽，保证清洗晶圆的药液温度保持在23℃±0.1℃之间，提高晶圆清洗效果。本技术提供的技术方案如下：一种恒温供液系统，用于为晶圆清洗槽提供药液，包括：药液循环泵，所述药液循环泵与所述晶圆清洗槽分别设置在不同楼层，所述药液循环泵通过药液管与晶圆清洗槽连通，药液循环泵将药液通过药液管输送至晶圆清洗槽；加热设备，所述加热设备设置于所述药液管处；温度传感器，所述温度传感器设置于所述药液管内；控制器，所述控制器分别与所述药液循环泵、加热设备以及温度传感器通讯连接。由于药液泵与晶圆清洗槽位于不同的楼层，所以，药液泵通过药液管输送到晶圆清洗槽的过程中可能会温度降低而导致清洗晶圆的药液的温度不在23℃±0.1℃之内，进而影响晶圆的清洗效果。本结构中，采用加热设备对药液管内的药液进行加热，并在药液管内设置温度传感器监测实时温度，保证药液进入晶圆清洗槽内时能够具有合适的温度，当温度传感器检测到药液的温度过低或者过高时，通过调节加热设备的加热温度来实现药液温度的调整。优选地，所述加热设备包括：水浴管，所述水浴管套设在所述药液管上；加热循环泵，所述加热循环泵通过进水管路与所述水浴管的第一端处连通，所述加热循环泵通过回水管路与所述水浴管的第二端处连通，所述加热循环泵、进水管路、水浴管以及回水管路构成水回路。采用水浴加热的方式对药液管内的药液进行加热使得药液的加热更加均匀，输送到晶圆清洗槽处的药液温度更加稳定，有利于提高晶圆表面的清洗效果。优选地，所述水浴管为隔热材料制成。上述结构中，采用隔热材料制成能够避免水浴管内的热量扩散到空气中，减少热量损失。优选地，所述温度传感器设置在所述药液管靠近所述晶圆清洗槽的一端。上述结构中，温度传感器设置于接近晶圆清洗槽处能够更加精确地测得进入晶圆清洗槽内的药液的温度。优选地，所述温度传感器为温度探头。优选地，所述药液管为导热材料制成。一种含有前述的恒温供液系统的清洗槽，包括晶圆清洗槽。本技术提供的一种恒温供液系统与含有恒温供液系统的清洗槽，能够带来以下有益效果：本技术的恒温供液系统通过在药液管处设置加热设备对药液管内的药液温度进行调节，使得进入晶圆清洗槽内的药液温度能够保持在23℃±0.1℃之内，提高晶圆的清洗效果。同时提供一种含有恒温供液系统的清洗槽，用于清洗晶圆。附图说明下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对恒温供液系统与含有恒温供液系统的清洗槽的上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。图1是含有恒温供液系统的清洗槽的结构示意图。附图标号说明：1-药液循环泵，2-加热循环泵，3-晶圆清洗槽，4-药液管，5-水浴管，6-温度传感器，7-回水管路，8-进水管路，9-第二楼层，10-第一楼层。具体实施方式为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本技术的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。为使图面简洁，各图中的只示意性地表示出了与本技术相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。【实施例1】如图1所示，实施例1公开了一种恒温供液系统的具体实施方式，用于为晶圆清洗槽3提供药液，其具体包括：药液循环泵1、加热设备、温度传感器6与控制器。药液循环泵1与晶圆清洗槽3分别设置在不同楼层，本实施例中，药液循环泵1设置在第一楼层10，晶圆清洗槽3设置在第二楼层9，药液循环泵1通过药液管4与晶圆清洗槽3连通，药液循环泵1将药液通过药液管4输送至晶圆清洗槽3处对晶圆进行清洗，药液管4采用特氟龙材料制成。加热设备设置于药液管4处，用于对药液管4内的药液进行加热，温度传感器6设置于药液管4内，检测药液的温度是否在晶圆清洗需要的温度范围内。为了更加精确地反映输送至晶圆清洗槽3内的药液温度，将温度传感器6设置在药液管4靠近晶圆清洗槽3的一端，本实施例中，温度传感器6采用温度探头。具体的，如图1所示，加热设备包括：水浴管5与加热循环泵2，水浴管5套设在药液管4上，加热循环泵2通过进水管路8与水浴管5的第一端处连通，加热循环泵2通过回水管路7与水浴管5的第二端处连通，加热循环泵2、进水管路8、水浴管5以及回水管路7构成水回路。水浴管5采用特氟龙材料制成。为了实现自动化控制，减少人力成本投入，控制器分别与药液循环泵1、加热循环泵2以及温度传感器6通讯连接，实时检测并调节药液的温度。在其他具体实施例中，也可以晶圆清洗槽3与药液循环泵1相差多个楼层，例如，晶圆清洗槽3在三楼，药液循环泵1在一楼；晶圆清洗槽3在一楼，药液循环泵3在四楼等等，此处不再赘述。【实施例2】如图1所示，实施例2在实施例1的基础上，实施例2的药液管4为导热材料制成，例如药液管4采用不锈钢材料、铝材料制成。水浴管5为隔热材料制成，例如，水浴管5采用塑料、聚乙烯制成。【实施例3】如图1所示，实施例3公开了含有恒温供液系统的清洗槽，本实施例中的恒温供液系统为实施例1或实施例2中示例的恒温供液系统，除了恒温供液系统之外，还包括晶圆清洗槽3，当恒温供液系统的药液管4与晶圆清洗槽3连通后，晶圆可以在晶圆清洗槽3内采用药液进行表面清洗。应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种恒温供液系统，用于为晶圆清洗槽提供药液，其特征在于，包括：/n药液循环泵，所述药液循环泵与所述晶圆清洗槽分别设置在不同楼层，所述药液循环泵通过药液管与晶圆清洗槽连通，药液循环泵将药液通过药液管输送至晶圆清洗槽；/n加热设备，所述加热设备设置于所述药液管处；/n温度传感器，所述温度传感器设置于所述药液管内；/n控制器，所述控制器分别与所述药液循环泵、加热设备以及温度传感器通讯连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种恒温供液系统，用于为晶圆清洗槽提供药液，其特征在于，包括：
药液循环泵，所述药液循环泵与所述晶圆清洗槽分别设置在不同楼层，所述药液循环泵通过药液管与晶圆清洗槽连通，药液循环泵将药液通过药液管输送至晶圆清洗槽；
加热设备，所述加热设备设置于所述药液管处；
温度传感器，所述温度传感器设置于所述药液管内；
控制器，所述控制器分别与所述药液循环泵、加热设备以及温度传感器通讯连接。


2.根据权利要求1所述的恒温供液系统，其特征在于：
所述加热设备包括：
水浴管，所述水浴管套设在所述药液管上；
加热循环泵，所述加热循环泵通过进水管路与所述水浴管的第一端处连通，所述加热循环泵通过回水管路与...

【专利技术属性】
技术研发人员：张怀宣，
申请(专利权)人：上海众鸿电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31