晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板，所述晶圆加工设备的前盖板包括，盖板主体，所述盖板主体具有一个窗口部和一个辅助操控部，所述窗口部与所述辅助操控部相邻设置，所述盖板主体还具有形成于所述窗口部的至少一个窗口和安装于所述窗口的透明板，透过所述透明板能够观察晶圆加工设备的至少一个处理单元的工作情况；辅助控制件，所述辅助控制件安装于所述盖板主体的所述辅助操控部，通过所述辅助控制件能够控制至少一所述处理单元的工作。透过窗口部观察晶圆加工设备的至少一处理单元的工作情况的同时操作辅助控制件控制相应的所述处理单元的运行，能够提高操控的便利性与精确度。提高操控的便利性与精确度。提高操控的便利性与精确度。

【技术实现步骤摘要】
晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板


[0001]本技术涉及晶圆加工领域，进一步地涉及一种晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板。

技术介绍

[0002]晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基底)。由于是晶体材料，其形状又通常为圆形，所以称之为晶圆。在晶圆(比如硅晶片)上能够加工制作成各种电路元件的结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。
[0003]随着科技的不断发展，各类电子产品发展迅速，并且需求在不断增大，直接地导致晶圆需求的增多。晶圆加工设备是对晶圆进行涂胶、蚀刻、显影等处理的关键设备。
[0004]可以理解的是，晶圆加工设备往往集成多个处理单元，往往需要使用一台晶圆加工设备进行多个晶圆的处理步骤。在使用晶圆加工设备进行晶圆加工之前或者晶圆加工的过程中，往往要对晶圆加工设备的处理单元进行调试和调整，以提高晶圆加工处理的精度。在现有晶圆加工设备中，由于晶圆加工设备工作原理和过程的限制，晶圆加工设备的主操作屏幕往往与窗口之间具有较远的距离，操作人员不能够在观察晶圆加工设备内部处理单元的工作情况的同时操作主操作屏幕对晶圆加工设备内部处理单元进行调试和调整，给调整和调试的过程带来极大的不便利性，并且会降低晶圆加工设备的调试精度。
[0005]综上所述，需要对传统晶圆加工设备进行改进。

技术实现思路

[0006]为了解决上述问题，本技术的目的在于提供一种晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板，操作者能够在观察晶圆加工设备的内部处理单元工作情况的同时操作控制件对晶圆加工设备的内部处理单元的工作，提高操作的便利性与精确度。
[0007]为了实现上述目的，本技术提供一种晶圆加工设备的前盖板，包括：
[0008]盖板主体，所述盖板主体具有一个窗口部和一个辅助操控部，所述窗口部与所述辅助操控部相邻设置，所述盖板主体还具有形成于所述窗口部的至少一个窗口和安装于所述窗口的透明板，透过所述透明板能够观察晶圆加工设备的至少一个处理单元的工作情况；
[0009]辅助控制件，所述辅助控制件安装于所述盖板主体的所述辅助操控部，通过所述辅助控制件能够控制至少一所述处理单元的工作。
[0010]在本技术的一些优选实施例中，所述辅助控制件包括一个辅助操作屏，所述辅助操作屏可工作地连接于至少一所述处理单元，通过所述辅助操作屏能够操控至少一所述处理单元。
[0011]在本技术的一些优选实施例中，所述辅助控制件包括至少一个调速开关，所述调速开关适于可工作地连接于晶圆加工设备的主控制单元，用于调节晶圆加工设备的运行速度。
[0012]在本技术的一些优选实施例中，所述辅助控制件包括一组应急处理件，所述一组应急处理件适于可工作地连接于所述晶圆加工设备的至少一个处理单元，通过所述应急处理件能够紧急制动对应的至少一所述处理单元。
[0013]在本技术的一些优选实施例中，所述应急处理件中的一个是第一应急开关，所述第一应急开关适于可工作地连接于所述晶圆加工设备的旋转处理单元，通过所述第一应急开关能够紧急制动所述旋转处理单元。
[0014]在本技术的一些优选实施例中，所述应急处理件中的一个是第二应急开关，所述第二应急开关适于可工作地连接于所述晶圆加工设备的装载处理单元，通过所述第二应急开关能够紧急制动所述装载处理单元。
[0015]在本技术的一些优选实施例中，所述应急处理件中的一个是第三应急开关，所述第三应急开关适于可工作地连接于所述晶圆加工设备的主处理单元，通过所述第三应急开关能够紧急制动所述主处理单元。
[0016]在本技术的一些优选实施例中，所述窗口部包括第一窗口部和第二窗口部，所述第一窗口部和所述第二窗口部分别位于所述辅助操控部的上下两侧。
[0017]在本技术的一些优选实施例中，所述辅助操控部内安装有连接线路，供所述辅助控制件与所述晶圆加工设备的处理单元连接。
[0018]根据本技术的另一方面，本技术进一步提供一种晶圆加工设备，包括：
[0019]上述任一项所述的晶圆加工设备的前盖板；
[0020]晶圆加工设备主体；
[0021]主控制单元，所述晶圆加工设备的前盖板和所述主控制单元分别安装于所述晶圆加工设备主体，并且所述主控制单元可工作地连接于所述晶圆加工设备的前盖板的所述辅助控制件。
[0022]在本技术的一些优选实施例中，所述晶圆加工设备包括工艺加工区域和晶圆取放区域，所述前盖板安装于所述工艺加工区域，所述主控制单元安装于所述晶圆取放区域。
[0023]本技术方案包括以下至少一项有益效果：
[0024]1、辅助控制件与窗口部相邻设置，从而能够在透过窗口部观察晶圆加工设备的至少一处理单元的工作情况的同时操作辅助控制件控制相应的所述处理单元的运行，能够提高操控的便利性与精确度。
[0025]2、晶圆加工设备的前盖板具有多个应急处理件，应急处理件能够紧急制动相应的处理单元，以防止处理单元在工作过程中发生故障导致处理单元发生损坏；多个应急处理件与辅助控制件的窗口部相邻设置，从而能够在透过窗口部观察晶圆加工设备的至少一处理单元发生故障时，操作相应的所述应急处理件工作，使得相应的处理单元紧急制动，从而能够提高应对故障的响应速度。
附图说明
[0026]下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对本技术方案、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
[0027]图1是本技术的一个优选实施例的晶圆加工设备的前盖板的正面结构示意
图；
[0028]图2是本技术的上述优选实施例的晶圆加工设备的框图结构示意图；
[0029]图3是本技术的一个优选实施例的晶圆加工设备的整体结构示意图。
[0030]附图标号说明：
[0031]1前盖板，2晶圆加工设备主体，11盖板主体，12辅助控制件，111窗口部，121辅助操作屏，112操控部，122调速开关，123应急处理件，21处理单元，22主控制单元， 23旋转处理单元，24装载处理单元，25主处理单元，26主操控屏，1111窗口，1112透明板，1113第一窗口部，1114第二窗口部，1221第一调速开关，1222第二调速开关，1231 第一应急开关，1232第二应急开关，1233第三应急开关。
具体实施方式
[0032]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本技术的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
[0033]为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与本技术相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工设备的前盖板，其特征在于，包括：盖板主体，所述盖板主体具有一个窗口部和一个辅助操控部，所述窗口部与所述辅助操控部相邻设置，所述盖板主体还具有形成于所述窗口部的至少一个窗口和安装于所述窗口的透明板，透过所述透明板能够观察晶圆加工设备的至少一个处理单元的工作情况；辅助控制件，所述辅助控制件安装于所述盖板主体的所述辅助操控部，通过所述辅助控制件能够控制至少一所述处理单元的工作。2.根据权利要求1所述的晶圆加工设备的前盖板，其特征在于，其中所述辅助控制件包括一个辅助操作屏，所述辅助操作屏可工作地连接于至少一所述处理单元，通过所述辅助操作屏能够操控至少一所述处理单元。3.根据权利要求1所述的晶圆加工设备的前盖板，其特征在于，其中所述辅助控制件包括至少一个调速开关，所述调速开关适于可工作地连接于晶圆加工设备的主控制单元，用于调节晶圆加工设备的运行速度。4.根据权利要求1所述的晶圆加工设备的前盖板，其特征在于，其中所述辅助控制件包括一组应急处理件，所述一组应急处理件适于可工作地连接于所述晶圆加工设备的至少一个处理单元，通过所述应急处理件能够紧急制动对应的至少一所述处理单元。5.根据权利要求4所述的晶圆加工设备的前盖板，其特征在于，其中所述应急处理件中的一个是第一应急开关，所述第一应急开关适于可工作地连接于所述晶圆...

【专利技术属性】
技术研发人员：金浩天，
申请(专利权)人：上海众鸿电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：