自吸桶及排废液系统技术方案

本实用新型专利技术提出了一种自吸桶及排废液系统，自吸桶包括桶体、与桶体顶部相连的桶体排气管、与桶体底部相连的排液管以及与桶体相连的进液管、补液管及出口管。自吸桶设置有补液管和桶体排气管，当自吸桶的进液管端的废液带有气体，可以通过补液管进行补液，将自吸桶内的气体通过桶体排气管排放出，从而能够确保位于自吸桶内的液位维持在一定范围，当离心泵对自吸桶内的液体进行传输时，不会有气体进入离心泵对离心泵造成损伤，进而提高离心泵的使用寿命。在离心泵和废液收集桶槽之间运用自吸桶时，由于有自吸桶的补液功能，可以将离心泵的水平位置调高，无需放置在地面，避免废液收集桶槽废液溢出淹没离心泵造成离心泵损坏的情况。

【技术实现步骤摘要】
自吸桶及排废液系统
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种自吸桶及排废液系统。
技术介绍
在半导体生产与制造业中，根据半导体系统厂房和制程生产要求的设计，制程排废液都采用重力的方式排放到厂务收集桶槽中。具体的，请参考图1，图1为现有技术中排废液系统的结构示意图，厂房3楼(3F)的制程设备10产生的废液可以通过主排液管20直接靠重力排至收集桶槽30之中。然而位于I楼(IF)的制程设备10产生的废液先由分收集桶槽40进行收集，然后必须通过离心泵50提供传输动力，将分收集桶槽40中的废液传输至收集桶槽30之中。通常情况下，为了保护和便于进行维修离心泵50，均会在离心泵50的两端设置手阀60。 厂务的排废液系统是一个非常庞大的废液收集和处理系统，由于排废液系统处理工艺的要求，收集桶槽30和分收集桶槽40时常会有废液溢流到地面的风险。由于离心泵50不能进入空气，否则会发生空转，损害电机，因此，离心泵50在对收集桶槽40进行废液传输时，需要将其放置在地面上，确保收集桶槽40中废液在较低的液位时，仍不会有气泡进入离心泵50之中。 然而，正如上文所说，收集桶槽30和分收集桶槽40时常会有废液溢流在地面上，废液会损坏位于地面上的离心泵50，影响其使用寿命。因此，需要解决分收集桶槽中废液的传输时离心泵的使用寿命。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种自吸桶及排废液系统，能够减少对离心泵的损伤，提闻尚心栗的使用寿命。 为了实现上述目的，本技术提出了一种自吸桶，包括:桶体、进液管、补液管、桶体排气管、排液管和出口管，其中，所述桶体排气管设置在所述桶体的顶部，所述排液管设置在所述桶体的底部，所述进液管、补液管和出口管与桶体相连。 可选的，在所述的自吸桶中，还包括分别设置在所述补液管、桶体排气管及排液管上的手阀。 可选的，在所述的自吸桶中，还包括设置在所述桶体顶部的真空表。 可选的，在所述的自吸桶中，还包括设置在所述桶体侧壁的液位计。 本技术还提出了一种排废液系统，包括:废液收集桶槽、桶槽内进液管、桶槽外进液管、离心泵及如权利要求1所述的自吸桶，其中，所述桶槽内进液管和桶槽外进液管均与进液管相连，所述桶槽内进液管设置在所述废液收集桶槽内的底部，所述桶槽外进液管设置在所述废液收集桶槽外，所述离心泵通过出口管与所述自吸桶相连，所述出口管处设有管路排气管。 可选的，在排废液系统中，还包括分别设置在所述桶槽内进液管、桶槽外进液管、管路排气管及出口管上的手阀，所述管路排气管与所述出口管相连的两端处各设有一手阀。 可选的，在排废液系统中，还包括分别设置在所述补液管、桶体排气管及排液管上的手阀。 可选的，在排废液系统中，还包括设置在所述桶体顶部的真空表。 可选的，在排废液系统中，还包括设置在所述桶体侧壁的液位计。 与现有技术相比，本技术的有益效果主要体现在:自吸桶设置有补液管和桶体排气管，当自吸桶的进液管端的废液带有气体，可以通过补液管进行补液，将自吸桶内的气体通过桶体排气管排放出，从而能够确保位于自吸桶内的液位维持在一定范围，当离心泵对自吸桶内的液体进行传输时，不会有气体进入离心泵对离心泵造成损伤，进而提高离心泵的使用寿命。 进一步的，在离心泵和废液收集桶槽之间运用自吸桶时，由于有自吸桶的补液功能，可以将离心泵的水平位置调高，无需放置在地面，避免废液收集桶槽废液溢出淹没离心泵造成离心泵损坏的情况。 【附图说明】 图1为现有技术中排废液系统的结构示意图； 图2为本技术一实施例中自吸桶的结构示意图； 图3为本技术一实施例中排废液系统的结构示意图。 【具体实施方式】 下面将结合示意图对本技术的自吸桶及排废液系统进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术，而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。 为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。 在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。 请参考图2，在本实施例中，提出了一种自吸桶100，包括:桶体110、进液管150、补液管111、桶体排气管112、排液管170和出口管160，其中，所述桶体排气管112设置在所述桶体110的顶部，所述排液管170设置在所述桶体110的底部，所述进液管150、补液管111和出口管160均与所述桶体110相连。 其中，所述进液管150用于传输来自废液收集桶槽内的废液至所述桶体110内，所述补液管111用于对所述桶体110进行补液，例如补充自来水等液体均可，所述桶体排气管112用于排出位于所述桶体110内的气体，出口管160可以通过离心泵传输废液。为了能够更好的控制每个管路的运行，在补液管111、桶体排气管112以及排液管170上分别设置手阀 130。 优选的，在本实施例中，自吸桶100还包括设置在桶体110顶部的真空表140和位于自吸桶100的桶体110侧壁上的液位计120。真空表140用于检测自吸桶100内的真空度，液位计120用于监测桶体110内的液位高度。具体的，当真空泵通过出口管160对桶体110内的废液进行传输时，当液位低于一定值时会导致桶体110内的气体增多，甚至会有气体进入离心泵中对其造成损害。但是通过液位计120进行监测，若废液的液位低于某一值时，补液管111便会打开，对桶体110进行补液，避免气体进入离心泵中。此外，若进液管150发生堵塞，而离心泵依然对自吸桶100进行废液传输时，会造成桶体110内出现一定的真空度，因此可以通过真空表140对桶体110真空度的监测避免离心泵抽空桶体110内的废液，出现空转的现象。 其中，排液管170可以在对桶体110等进行维修前将桶体110内的全部废液排空，从而方便对桶体110等进行维修。 在本实施例的另一方面，还提出了一种排废液系统，请参考图3，包括:废液收集桶槽200、桶槽内进液管210、桶槽外进液管220、离心泵400及如上文所述的自吸桶100，其中，所述桶槽内进液管210和桶槽外进液管220均与进液管150相连，所述桶槽内进液管210设置在所述废液收集桶槽200内的底部，所述桶槽外进液管220设置在所述废液收集桶槽200外，所述离心泵400通过出口管160与所述自吸桶100相连，所述出口管160处设有管路排气管310。 此外，排废液系统还包括分别设置在所述桶槽内进液管210、桶槽外进液管220、管路排气管310及出口管160上的手阀130，所述管路排气管310本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自吸桶，其特征在于，包括：桶体、进液管、补液管、桶体排气管、排液管和出口管，其中，所述桶体排气管设置在所述桶体的顶部，所述排液管设置在所述桶体的底部，所述进液管、补液管和出口管均与所述桶体相连。

【技术特征摘要】
1.一种自吸桶，其特征在于，包括:桶体、进液管、补液管、桶体排气管、排液管和出口管，其中，所述桶体排气管设置在所述桶体的顶部，所述排液管设置在所述桶体的底部，所述进液管、补液管和出口管均与所述桶体相连。2.如权利要求1所述的自吸桶，其特征在于，还包括分别设置在所述补液管、桶体排气管及排液管上的手阀。3.如权利要求1所述的自吸桶，其特征在于，还包括设置在所述桶体顶部的真空表。4.如权利要求1所述的自吸桶，其特征在于，还包括设置在所述桶体侧壁的液位计。5.一种排废液系统，其特征在于，包括:废液收集桶槽、桶槽内进液管、桶槽外进液管、离心泵及如权利要求1所述的自吸桶，其中，所述桶槽内进液管和桶槽外进液管均...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱江宁，宋智云，彭志辉，文恒毅，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31