一种柔性基板及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种柔性基板及其制备方法，其中所述制备方法包括：将涂布有柔性衬底材料湿膜的玻璃基板进行真空干燥，以去除所述柔性衬底材料湿膜中的部分溶剂；将真空干燥后的柔性衬底材料进行固化成型，其中，所述进行固化成型的温度与所述进行真空干燥的温度相匹配。通过上述方式，本发明专利技术能够有效避免玻璃基板出现弯曲、翘曲等现象。

A flexible substrate and its preparation method

The invention discloses a flexible substrate and a preparation method thereof, wherein the preparation method comprises the following steps: drying a glass substrate coated with a wet film of a flexible substrate material to remove a part of the solvent in the wet film of the flexible substrate material, and solidify the flexible substrate material after the vacuum drying, in which, The curing temperature is matched with the vacuum drying temperature. By this way, the invention can effectively avoid bending and warping of glass substrates.

【技术实现步骤摘要】
一种柔性基板及其制备方法
本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种柔性基板及其制备方法。
技术介绍
柔性显示方法是一种在柔性材料构成的柔性基板的表面上制备器件的方法。随着科技的发展和进步，采用柔性基板制成的可弯曲的柔性器件将成为下一代光电子器件的主流设备。如显示器、芯片、电路、电源、传感器等柔性器件可以实现传统光电子器件所不能实现的功能，具有低成本或用户体验佳等优势。以柔性AMOLED为例，需要在硬质基板表面先制备或吸附柔性基板，在制备器件后需将柔性基板从硬质基板上剥离。柔性聚酰亚胺基板的厚度只有十几微米，不可能直接在柔性聚酰亚胺基板上完成所有制程，因此选用玻璃作为柔性聚酰亚胺基板的衬底。本申请的专利技术人在长期的研究过程中发现，柔性聚酰亚胺基板所使用的聚酰亚胺材料为液体材料，需进行高温固化成型，在高温和低压环境下玻璃容易受热膨胀，应用至柔性基板时，易出现弯曲、翘曲等现象。
技术实现思路
本专利技术主要解决的技术问题是提供一种柔性基板及其制备方法，能够有效避免玻璃基板出现弯曲、翘曲等现象。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种柔性基板的制备方法，所述方法包括：将涂布有柔性衬底材料湿膜的玻璃基板进行真空干燥，以去除所述柔性衬底材料湿膜中的部分溶剂；将真空干燥后的柔性衬底材料进行固化成型，其中，所述进行固化成型的温度与所述进行真空干燥的温度相匹配。为解决上述技术问题，本专利技术采用的另一个技术方案是：提供一种柔性基板，所述柔性基板是通过如上任意一项方法获得的。本专利技术的有益效果是：区别于现有技术的情况，本专利技术提供的柔性基板的制备方法包括：将涂布有柔性衬底材料湿膜的玻璃基板进行真空干燥，以去除所述柔性衬底材料湿膜中的部分溶剂；将真空干燥后的柔性衬底材料进行固化成型，其中，所述进行固化成型的温度与所述进行真空干燥的温度相匹配。通过将固化成型的温度与真空干燥的温度相匹配，从而避免柔性衬底材料快速固化，且在反应过程中，能使得柔性衬底材料湿膜减薄的速度均匀，进而避免玻璃基板出现弯曲、翘曲等现象。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：图1是本专利技术柔性基板的制备方法一实施方式的流程示意图；图2是本专利技术柔性基板的制备方法另一实施方式的流程示意图；图3是本专利技术柔性基板一实施方式的结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性的劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。参阅图1，图1是本专利技术柔性基板的制备方法一实施方式的流程示意图。本专利技术实施方式提供的柔性基板的制备方法包括：步骤S101，将涂布有柔性衬底材料湿膜的玻璃基板进行真空干燥，以去除柔性衬底材料湿膜中的部分溶剂。具体的，对涂布有柔性衬底材料湿膜的玻璃基板进行两次抽真空，其中，第一次的抽气速率小于第二次的抽气速率，第一次的时间为20-100s，例如20s、50s或100s，第二次的时间为400-600s，例如400s、500s或600s。可以理解，进行真空干燥的设备可为但不限于热真空干燥设备(HVCD)。进行干燥后，去除的柔性衬底材料湿膜中的溶剂的体积分数为50-90％，例如50％、70％或80％。在进行真空干燥的过程中，柔性衬底材料湿膜中的溶剂通过压力差或浓度差，扩散到柔性衬底材料湿膜的表面，因在真空状态下，溶剂的沸点降低，当真空室内的压力降到一定程度时，溶剂挥发成气体并在抽气的过程中被抽出真空室。可以理解，柔性衬底材料湿膜表面的溶剂浓度较大，而远离柔性衬底材料湿膜表面的浓度较小，从而造成浓度差。通过真空干燥，溶剂挥发的较多，且通过真空抽气，玻璃基板表面的柔性衬底材料湿膜的厚度减薄，同时通过控制抽气速率以控制减薄速率均匀，从而使得在减薄过程中玻璃基板受到的应力均匀，进而避免玻璃基板出现弯曲、翘曲的现象。在本实施方式中，柔性衬底材料为聚酰亚胺。在本实施方式中，进行真空干燥的温度范围为50-120℃，例如50℃、80℃或120℃，压力为小于或等于50pa。可以理解，第一次的抽气速率小于第二次的抽气速率，即通过先慢抽后快抽的抽气过程，将真空室内的压力控制在小于或等于50pa，以将柔性衬底材料湿膜中的溶剂移出真空室的同时，能有效控制柔性衬底材料的伸缩量，从而避免造成玻璃基板变形。真空干燥后的柔性衬底材料薄膜的厚度与柔性衬底材料湿膜的厚度之间的比例在预定比例范围内，进一步的，真空干燥后的聚酰亚胺薄膜的厚度与聚酰亚胺湿膜的厚度之间的比例范围为1.5-2:1，例如，1.5:1、1.75:1或2:1等。聚酰亚胺湿膜的厚度范围为200-300μm，例如200μm、250μm或300μm。步骤S102，将真空干燥后的柔性衬底材料进行固化成型，其中，进行固化成型的温度与进行真空干燥的温度相匹配。本实施方式中，真空干燥后的柔性衬底材料在烘烤设备(Oven)中进行烘烤以发生交联化反应，从而固化成型。在一实施方式中，进行固化成型的温度范围是50-120℃，例如50℃、80℃或120℃，以与进行真空干燥的温度相匹配。可以理解，进行固化成型的起始温度为50-120℃，后续在烘烤设备中保持一恒温状态，使得进行固化成型的温度与进行真空干燥的温度相匹配后，能够有效防止柔性衬底材料的表面快速固化，且在反应过程中，能使得柔性衬底材料湿膜减薄的速度均匀，从而避免玻璃基板出现弯曲、翘曲等不良现象。在一实施方式中，请参阅图2，步骤S101，将涂布有柔性衬底材料湿膜的玻璃基板进行真空干燥，还包括：步骤S103，将玻璃基板进行清洗。可以理解，清洗的过程至少包括紫外光处理、毛刷清洗、药液清洗以及二流体清洗，在清洗结束后，经风刀干燥系统以进行干燥处理。步骤S104，将柔性衬底材料涂布至玻璃基板上。在一实施方式中，将柔性衬底材料涂布在玻璃基板上之前还包括：对柔性衬底材料进行脱泡处理。其中，脱泡处理的时间范围为12-24h，例如12h、18h或24h。选用聚酰亚胺作为柔性衬底材料时，因聚酰亚胺的粘度是5000-7000，即粘度较大，气体在聚酰亚胺材料中不易排出，通过搅拌能快速将气体排出。区别于现有技术，本实施方式提供的柔性基板制备方法包括：将涂布有柔性衬底材料湿膜的玻璃基板进行真空干燥，以去除柔性衬底材料湿膜中的部分溶剂；将真空干燥后的柔性衬底材料进行固化成型，其中，进行固化成型的温度与进行真空干燥的温度相匹配。本实施方式提供的柔性基板制备方法过程中，通过将固化成型的温度与真空干燥的温度相匹配，从而避免柔性衬底材料快速固化，且在反应过程中，能使得柔性衬底材料湿膜减薄的速度均匀，进而避免玻璃基板出现弯曲、翘曲等现象。请参阅图3，本专利技术实施方式还提供一种柔性基板100，该柔性基板100包括玻璃基板10和柔性衬底膜30，该柔性基板100是通过上述方法获得的。区别于现有技术，本实施方式提供的柔性基板100在制备过程中，固化本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性基板的制备方法，其特征在于，所述方法包括：将涂布有柔性衬底材料湿膜的玻璃基板进行真空干燥，以去除所述柔性衬底材料湿膜中的部分溶剂；将真空干燥后的柔性衬底材料进行固化成型，其中，所述进行固化成型的温度与所述进行真空干燥的温度相匹配。

【技术特征摘要】
1.一种柔性基板的制备方法，其特征在于，所述方法包括：将涂布有柔性衬底材料湿膜的玻璃基板进行真空干燥，以去除所述柔性衬底材料湿膜中的部分溶剂；将真空干燥后的柔性衬底材料进行固化成型，其中，所述进行固化成型的温度与所述进行真空干燥的温度相匹配。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述柔性衬底材料为聚酰亚胺。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述进行真空干燥的温度范围为50-120℃，压力为小于或等于50pa。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述进行固化成型的温度范围是50-120℃。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，真空干燥后的柔性衬底材料薄膜的厚度与所述柔性衬底材料湿膜的厚度之间的比例在预定比例范围内。6.根据权利要求5所述的方法，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王选芸，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42