一种石墨舟快速夹紧装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种石墨舟快速夹紧装置，包括：固定机构；以及与固定机构相对设置的至少一组夹紧机构，其中，夹紧机构与固定机构相隔有一定的距离从而构成位于两者之间的夹紧通道，夹紧机构包括固定的底板以及滑动组件，所述滑动组件可在底板上相对固定机构往复滑动从而将所述夹紧通道中的石墨舟选择性夹紧。根据本实用新型专利技术，其能够对石墨舟进行固定并且精确夹紧，防止在放入硅片及取出硅片的过程中由于定位不准对硅片及石墨舟造成损伤。

A fast clamping device for graphite boat

The utility model discloses a fast clamping device for a graphite boat, which comprises a fixed mechanism, and at least one group of clamping mechanisms set relative to a fixed mechanism, in which the clamping mechanism is separated from the fixed mechanism with a certain distance to form a clamping channel between the two, and the clamping mechanism includes a fixed bottom plate and a slide. The sliding assembly can slide reciprocally on the base plate relative to the fixing mechanism, thereby selectively clamping the graphite boat in the clamping channel. According to the utility model, the graphite boat can be fixed and clamped accurately to prevent damage to silicon and graphite boats in the process of placing silicon and removing silicon wafers.

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟快速夹紧装置
本技术涉及太阳能硅片制造领域，特别涉及一种石墨舟快速夹紧装置。
技术介绍
石墨舟即石墨模具，是一种载体，它可以把我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率，在这个工序需要用到石墨舟，其工作原理为：将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜，镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。在现有技术中，上述步骤均采用自动化作业，因此需要对石墨舟进行固定及精确夹紧，防止在放入硅片及取出硅片的过程中由于定位不准对硅片及石墨舟造成损伤。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足之处，本技术的目的是提供一种石墨舟快速夹紧装置，其能够对石墨舟进行固定并且精确夹紧，防止在放入硅片及取出硅片的过程中由于定位不准对硅片及石墨舟造成损伤。为了实现根据本技术的上述目的和其他优点，提供了一种石墨舟快速夹紧装置，包括：固定机构；以及与固定机构相对设置的至少一组夹紧机构，其中，夹紧机构与固定机构相隔有一定的距离从而构成位于两者之间的夹紧通道，夹紧机构包括固定的底板以及滑动组件，所述滑动组件可在底板上相对固定机构往复滑动从而将所述夹紧通道中的石墨舟选择性夹紧。优选的是，所述滑动组件包括：驱动组件；滑动底板；以及夹紧立板，其设于滑动底板上并与滑动底板相固接，其中，滑动底板可在驱动组件的驱动下靠近或远离固定机构。优选的是，夹紧立板上相对固定机构的一侧设有若干个顶针，顶针垂直于夹紧立板的表面并可相对夹紧立板作往复运动。优选的是，顶针与夹紧立板之间、顶针之上套设有回复弹簧。优选的是，顶针呈端部直径大、本体直径小的T字形结构，回复弹簧套设于顶针的本体上，并被顶针的端部及夹紧立板所限定。优选的是，滑动底板与底板之间设有至少一个滑动导轨，滑动导轨的延伸方向与所述夹紧通道的延伸方向相垂直，滑动底板可在驱动组件的驱动下沿滑动导轨靠近或远离固定机构。优选的是，驱动组件包括：设于底板之上的驱动气缸；以及一端与驱动气缸的动力输出端相固接的连接板，其中，连接板的另一端与滑动底板相固接。优选的是，固定机构包括：至少两根沿直线排列的立柱；以及设于相邻两根立柱之间的固定立板，其中，固定立板与夹紧立板平行且相对设置以形成所述夹紧通道，固定立板相对夹紧立板的一侧设有若干根固定柱。优选的是，固定立板上开设有若干个第一减轻孔。优选的是，夹紧立板与滑动底板之间固接有至少一片加强肋，夹紧立板上开设有多个第二减轻孔。本技术与现有技术相比，其有益效果是：其能够对石墨舟进行固定并且精确夹紧，防止在放入硅片及取出硅片的过程中由于定位不准对硅片及石墨舟造成损伤。附图说明图1为根据本技术所述的石墨舟快速夹紧装置的立体图；图2为根据本技术所述的石墨舟快速夹紧装置与放置于其中的石墨舟相配合的立体图。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，本技术的前述和其它目的、特征、方面和优点将变得更加明显，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。在说明书中，诸如“前部”、“后部”、“上部”、“下部”、“顶部”和“底部”及其衍生词的相对术语应当被解释为是指如然后所述的或如在被讨论的附图中所示出的取向。这些相对术语是为了说明方便起见并且通常并不旨在需要具体取向。涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系，除非以其他方式明确地说明。参照图1，石墨舟快速夹紧装置包括：夹紧机构1、及固定机构2，其中，夹紧机构1设有至少一组，每组夹紧机构1均与固定机构2相对设置，夹紧机构1与固定机构2相隔有一定的距离从而构成位于两者之间的夹紧通道，夹紧机构1包括固定的底板11以及滑动组件，所述滑动组件可在底板11上相对固定机构2往复滑动从而将所述夹紧通道中的石墨舟选择性夹紧。在优选的实施方式中，夹紧机构1设有两组，分别设于固定机构2的前后两侧，并且关于固定机构2对称设置。参照图1及图2，所述滑动组件包括：驱动组件111；滑动底板12；以及夹紧立板121，其设于滑动底板12上并与滑动底板12相固接，其中，滑动底板12可在驱动组件111的驱动下靠近或远离固定机构2，从而带动滑动底板12上的夹紧立板121选择性地将夹紧通道中的石墨舟2夹紧。进一步地，夹紧立板121上相对固定机构2的一侧设有若干个顶针122，顶针122垂直于夹紧立板121的表面并可相对夹紧立板121作往复运动。参照图1中a处的局部放大图A，顶针122与夹紧立板121之间、顶针122之上套设有回复弹簧1221。在一实施方式中，顶针122呈端部直径大、本体直径小的T字形结构，回复弹簧1221套设于顶针122的本体上，并被顶针的端部及夹紧立板121所限定。在优选的实施方式中，顶针122两两相挨设置从而形成若干对顶针组，从而可以减少单个顶针122处的应力集中，防止石墨舟的局部变形。继续参照图1，滑动底板12与底板11之间设有至少一个滑动导轨112，滑动导轨112的延伸方向与所述夹紧通道的延伸方向相垂直，滑动底板12可在驱动组件111的驱动下沿滑动导轨112靠近或远离固定机构2。进一步地，驱动组件111包括：设于底板11之上的驱动气缸1111；以及一端与驱动气缸1111的动力输出端1112相固接的连接板1113，其中，连接板1113的另一端与滑动底板12相固接。在优选的实施方式中，连接板1113与滑动底板12相固接的一端与滑动底板12的重合程度可调整，通过调整该重合程度可调整夹紧立板121与固定机构2的初始距离，以适应不同尺寸的石墨舟2。继续参照图1，固定机构2包括：至少两根沿直线排列的立柱21；以及设于相邻两根立柱21之间的固定立板22，其中，固定立板22与夹紧立板121平行且相对设置以形成所述夹紧通道，固定立板22相对夹紧立板121的一侧设有若干根固定柱221。进一步地，固定立板22上开设有若干个第一减轻孔222。进一步地，夹紧立板121与滑动底板12之间固接有至少一片加强肋1212，夹紧立板121上开设有多个第二减轻孔1211。这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本技术的说明的。对本技术的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。尽管本技术的实施方案已公开如上，但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本技术的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本技术并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨舟快速夹紧装置，其特征在于，包括：固定机构(2)；以及与固定机构(2)相对设置的至少一组夹紧机构(1)，其中，夹紧机构(1)与固定机构(2)相隔有一定的距离从而构成位于两者之间的夹紧通道，夹紧机构(1)包括固定的底板(11)以及滑动组件，所述滑动组件可在底板(11)上相对固定机构(2)往复滑动从而将所述夹紧通道中的石墨舟选择性夹紧。

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟快速夹紧装置，其特征在于，包括：固定机构(2)；以及与固定机构(2)相对设置的至少一组夹紧机构(1)，其中，夹紧机构(1)与固定机构(2)相隔有一定的距离从而构成位于两者之间的夹紧通道，夹紧机构(1)包括固定的底板(11)以及滑动组件，所述滑动组件可在底板(11)上相对固定机构(2)往复滑动从而将所述夹紧通道中的石墨舟选择性夹紧。2.如权利要求1所述的石墨舟快速夹紧装置，其特征在于，所述滑动组件包括：驱动组件(111)；滑动底板(12)；以及夹紧立板(121)，其设于滑动底板(12)上并与滑动底板(12)相固接，其中，滑动底板(12)可在驱动组件(111)的驱动下靠近或远离固定机构(2)。3.如权利要求2所述的石墨舟快速夹紧装置，其特征在于，夹紧立板(121)上相对固定机构(2)的一侧设有若干个顶针(122)，顶针(122)垂直于夹紧立板(121)的表面并可相对夹紧立板(121)作往复运动。4.如权利要求3所述的石墨舟快速夹紧装置，其特征在于，顶针(122)与夹紧立板(121)之间、顶针(122)之上套设有回复弹簧(1221)。5.如权利要求4所述的石墨舟快速夹紧装置，其特征在于，顶针(122)呈端部直径大、本体直径小的T字形结构，回复弹簧(1221)套设于顶针(122)的本体上，并被顶针的端部及夹紧立板(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：张学强，戴军，张建伟，贾宇鹏，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32