大口径光学元件超精密加工抛光机床制造技术

本发明专利技术涉及光学元件抛光技术领域，尤其是一种大口径光学元件超精密加工抛光机床，包括底座、设置在底座上的立柱及位于立柱顶端的横梁，主轴电机的输出端上传动连接有花键套，花键套内滑动设置有与其相配合的花键轴，抛光模的上表面固定有与其相匹配的磁性金属板，磁性金属板与花键轴的底端端部固定连接；平台上固定有工作台及用于吸附抛光模上磁性金属板的电磁吸盘，本发明专利技术利用电磁吸盘产生的磁力吸附抛光模上的磁性金属板，从而实现抛光模对光学元件的待抛光表面产生一定的压力，且抛光模对光学元件待抛光表面的压力较为均匀，有利于提高对光学元件的抛光精度。

Ultra precision machining and polishing machine for large aperture optical components

The invention relates to the field of polishing technology for optical elements, in particular a super precision machining and polishing machine for large aperture optical elements, including a base, a column on the base and a beam at the top of a column. The output end of the spindle motor is connected with a spline sleeve, and a spline shaft is set in a spline sleeve to fit with it. The upper surface of the polishing die is fixed with a magnetic metal plate matching with the polishing mould, and the magnetic metal plate is fixedly connected with the end end of the spline shaft; the platform is fixed with a working table and an electromagnetic sucker for absorbing magnetic metal plates on the polishing mold. The polishing die has a certain pressure on the polishing surface of the optical element, and the pressure of the polishing die is more uniform on the surface of the optical element to be polished, which is helpful to improve the polishing precision of the optical element.

【技术实现步骤摘要】
大口径光学元件超精密加工抛光机床
本专利技术涉及光学元件抛光
，尤其是一种大口径光学元件超精密加工抛光机床。
技术介绍
光学元件如平面镜常采用抛光机床进行抛光工艺，现有的抛光机床主要包括抛光模及多个数控轴，并利用多个数控轴实现抛光模在三维空间中任意移动，当抛光模与光学元件待抛光的平面接触时，采用气动的方式使抛光模对光学元件待抛光的平面施以一定的压力，以此实现对光学元件待抛光的平面进行抛光，显然上述缺陷为气动的方式受温度影响，容易导致抛光模实际对光学元件的压力与预设的压力不一致，进而导致光学元件的抛光精度较低，且气动的方式结构为复杂，成本较高。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是：为了解决现有技术中的抛光机床常采用气动的方式使抛光模对光学元件的待抛光平面进行施压，容易导致抛光模实际对光学元件的压力与预设的压力不一致，进而导致光学元件的抛光精度较低，且气动的方式结构为复杂，成本较高的问题，现提供一种大口径光学元件超精密加工抛光机床。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种大口径光学元件超精密加工抛光机床，包括底座、设置在底座上的立柱及位于立柱顶端的横梁，所述横梁上设置有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大口径光学元件超精密加工抛光机床，其特征在于：包括底座(1)、设置在底座(1)上的立柱(2)及位于立柱(2)顶端的横梁(3)，所述横梁(3)上设置有X轴进给机构(4)，所述X轴进给机构(4)上设置有Z轴进给机构(5)，所述Z轴进给机构(5)上设置有主轴电机(7)，所述主轴电机(7)的输出端上传动连接有花键套(8)，所述花键套(8)内滑动设置有与其相配合的花键轴(9)，所述花键套(8)上螺纹连接有锁定螺钉(12)，所述锁定螺钉(12)的螺纹端端部抵在花键轴(9)上，所述花键轴(9)的底端设有抛光模(10)，所述抛光模(10)的上表面固定有与其相匹配的磁性金属板(11)，所述磁性金属板(11)...

【技术特征摘要】
1.一种大口径光学元件超精密加工抛光机床，其特征在于：包括底座(1)、设置在底座(1)上的立柱(2)及位于立柱(2)顶端的横梁(3)，所述横梁(3)上设置有X轴进给机构(4)，所述X轴进给机构(4)上设置有Z轴进给机构(5)，所述Z轴进给机构(5)上设置有主轴电机(7)，所述主轴电机(7)的输出端上传动连接有花键套(8)，所述花键套(8)内滑动设置有与其相配合的花键轴(9)，所述花键套(8)上螺纹连接有锁定螺钉(12)，所述锁定螺钉(12)的螺纹端端部抵在花键轴(9)上，所述花键轴(9)的底端设有抛光模(10)，所述抛光模(10)的上表面固定有与其相匹配的磁性金属板(11)，所述磁性金属板(11)与花键轴(9)的底端端部固定连接；所述底座(1)上设置有Y轴进给机构(6)，所述Y轴进给机构(6)上设置有平台(13)，所述平台(13)上固定有工作台(14)及用于吸附抛光模(10)上磁性金属板(11)的电磁吸盘(15)，所述电磁吸盘(15)位于工作台(14)的正下方。2.根据权利要求1所述的大口径光学元件超精密加工抛光机床，其特征在于：所述X轴进给机构(4)包括X轴电机(4-1)、X轴丝杠(4-2)及X轴滑座(4-3)，所述横梁(3)上固定有X轴导轨(4-4)，所述X轴滑座(4-3)与X轴导轨(4-4)滑动连接，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴建东，
申请(专利权)人：常州卓研精机科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32