真空室具有污染物防护功能的大口径平面离子束抛光机制造技术

本实用新型专利技术涉及抛光机技术领域，且公开了真空室具有污染物防护功能的大口径平面离子束抛光机，包括机体、离子束抛光装置、光学零件夹具、抽真空装置以及真空室，所述离子束抛光装置设置于所述真空室的顶部，所述光学零件夹具设置于所述真空室的底部，所述抽真空装置设置于所述机体的侧壁上，所述真空室的内部后侧横向设有往复丝杆，所述往复丝杆的两端均通过滚动轴承与所述真空室的左右两侧转动连接，所述机体的左侧壁固定设有电机，所述往复丝杆的左端贯穿至所述机体的外部并与电机的输出端固定连接。本实用新型专利技术能够将真空室内部的污染物有效全面的吸附，保证了真空室的工作环境。

【技术实现步骤摘要】
真空室具有污染物防护功能的大口径平面离子束抛光机
本技术涉及抛光机
，尤其涉及真空室具有污染物防护功能的大口径平面离子束抛光机。
技术介绍
离子束抛光机是用于光学镜面离子束抛光的基础设备，目前，国外已有使用大型离子束抛光机进行光学零件离子束抛光的成功案例，而国内只具有制备中小型离子束抛光机的能力，大型离子束抛光机的研制仍是空白，国内仅具有中小型离子束抛光机的现实极大制约了国内大口径光学零件离子束抛光方面研究的发展。其中专利号为CN203170117U，公开了一种滤网板及应用该滤网板来降低腔室内污染物的真空设备，所述滤网板由耐高温且绝缘的材料制成，其上表面为光滑面，下表面为粗糙面，所述滤网板上还设有多个通透的滤网孔，所述滤网孔的孔径由上至下减缩，成漏斗状，使所述滤网孔具有上表面与下表面，所述滤网孔的上表面也为光滑面，所述滤网孔的下表面也为粗糙面，所述真空设备具有真空腔室，真空腔室内设有所述滤网板。在上述的方案中采用了滤网板对真空室的内部进行污染物吸附处理，但是由于滤网板是固定设置的，且对真空室内部的污染物吸附效果较差。...

【技术保护点】
1.真空室具有污染物防护功能的大口径平面离子束抛光机，包括机体(1)、离子束抛光装置(2)、光学零件夹具(3)、抽真空装置(4)以及真空室(5)，其特征在于，所述离子束抛光装置(2)设置于所述真空室(5)的顶部，所述光学零件夹具(3)设置于所述真空室(5)的底部，所述抽真空装置(4)设置于所述机体(1)的侧壁上，所述真空室(5)的内部后侧横向设有往复丝杆(6)，所述往复丝杆(6)的两端均通过滚动轴承与所述真空室(5)的左右两侧转动连接，所述机体(1)的左侧壁固定设有电机(7)，所述往复丝杆(6)的左端贯穿至所述机体(1)的外部并与电机(7)的输出端固定连接，所述真空室(5)的内部竖直设有移动板...

【技术特征摘要】
1.真空室具有污染物防护功能的大口径平面离子束抛光机，包括机体(1)、离子束抛光装置(2)、光学零件夹具(3)、抽真空装置(4)以及真空室(5)，其特征在于，所述离子束抛光装置(2)设置于所述真空室(5)的顶部，所述光学零件夹具(3)设置于所述真空室(5)的底部，所述抽真空装置(4)设置于所述机体(1)的侧壁上，所述真空室(5)的内部后侧横向设有往复丝杆(6)，所述往复丝杆(6)的两端均通过滚动轴承与所述真空室(5)的左右两侧转动连接，所述机体(1)的左侧壁固定设有电机(7)，所述往复丝杆(6)的左端贯穿至所述机体(1)的外部并与电机(7)的输出端固定连接，所述真空室(5)的内部竖直设有移动板(8)，所述移动板(8)的侧壁开设有与所述往复丝杆(6)的杆壁相配合的螺纹孔(15)，所述真空室(5)的内部且位于所述往复丝杆(6)的上下两侧均设有滑动限位机构，所述移动板(8)的侧壁开设有插槽，且插槽的内部设有滤网板(9)，所述滤网板(9)的两侧与所述移动板(8)之间设有固定机构。


2.根据权利要求1所述的真空室具有污染物防护功能的大口径平面离子束抛光机，其特征在于，所述固定机构包括固定块(10)、固定螺杆(11)和固定螺环(12)，所述固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴建东，
申请(专利权)人：常州卓研精机科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32