【技术实现步骤摘要】
一种大口径平面离子束抛光机的光学元件夹持机构
本技术涉及离子束抛光机
,尤其涉及一种大口径平面离子束抛光机的光学元件夹持机构。
技术介绍
离子束抛光是近年才出现的一种高精密光学零件加工的技术,它的加工原理是把离子束聚焦到工件要加工的表面上,通过离子轰出表面原子,从而去除材料。过去工件的装夹一般采用吊装和竖直固定方式。由于离子束加工是在真空室中进行,所以无论哪种方式,都要把光学元件精确定位到要固定的位置,而且要保证它的安全性、可靠性,固定都是比较困难的,尤其是对大尺寸的光学元件,比如直径500mm以上,甚至1m以上,重量可到达几十、几百千克以上的光学元件,安全可靠、高精度的固定就变得非常困难。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中离子束抛光机的光学元件不便进行精准定位固定的问题,而提出的一种大口径平面离子束抛光机的光学元件夹持机构。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种大口径平面离子束抛光机的光学元件夹持机构,包括工件固定座,所述工件固定座一侧的中心处通过第一轴承转动连 ...
【技术保护点】
1.一种大口径平面离子束抛光机的光学元件夹持机构,包括工件固定座(1),其特征在于,所述工件固定座(1)一侧的中心处通过第一轴承转动连接有丝杆(2),且丝杆(2)上螺纹套接有匹配的螺母(3),所述工件固定座(1)上开设有四个呈环形均匀分布的通槽(4),且通槽(4)内滑动连接有匹配的活动块(5),所述活动块(5)的两侧对称固定连接有结构相同的第一滑板(6)和第二滑板(7),且第一滑板(6)和第二滑板(7)分别与工件固定座(1)的两侧滑动连接,所述第一滑板(6)远离活动块(5)的一侧安装有定位夹紧机构,所述螺母(3)的外侧壁上铰接有四个呈环形均匀分布的连杆(8),且连杆(8)的 ...
【技术特征摘要】
1.一种大口径平面离子束抛光机的光学元件夹持机构,包括工件固定座(1),其特征在于,所述工件固定座(1)一侧的中心处通过第一轴承转动连接有丝杆(2),且丝杆(2)上螺纹套接有匹配的螺母(3),所述工件固定座(1)上开设有四个呈环形均匀分布的通槽(4),且通槽(4)内滑动连接有匹配的活动块(5),所述活动块(5)的两侧对称固定连接有结构相同的第一滑板(6)和第二滑板(7),且第一滑板(6)和第二滑板(7)分别与工件固定座(1)的两侧滑动连接,所述第一滑板(6)远离活动块(5)的一侧安装有定位夹紧机构,所述螺母(3)的外侧壁上铰接有四个呈环形均匀分布的连杆(8),且连杆(8)的另一端与对应的第二滑板(7)相铰接;
所述定位夹紧机构包括固定连接在第一滑板(6)侧壁上的滑筒(9),所述滑筒(9)内活动穿插有螺纹杆(10),所述滑筒(9)的内壁上对称开设有滑槽(11),所述螺纹杆(10)一端的杆壁上对称固定连接有滑块(12),且滑块(12)与滑槽(11)滑动连接,所述滑筒(9)筒口的沿边上通过第二轴承转动连接有与螺纹杆(10)匹配的螺纹套筒(13),所述螺纹杆(10)穿过螺纹套筒(13)设置,且螺纹套筒(13)与螺纹杆(...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴建东,
申请(专利权)人:常州卓研精机科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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