【技术实现步骤摘要】
一种高精度大口径平面离子束抛光机
本技术涉及离子束抛光机
,尤其涉及一种高精度大口径平面离子束抛光机。
技术介绍
离子束抛光技术是利用离子溅射原理,通过在真空状态下离子源引束产生等离子体能量束流,束流轰击工件表面产生原子级别的材料去除从而实现光学元件的高精度加工。传统的离子束抛光机在对工件的不同面进行抛光采用人工手动翻转,这种方式打断了抛光作业节奏,而且费时费力,降低抛光效率,且增大了作业风险。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中离子束抛光机不便同时对工件的多个不同的表面进行抛光的问题,而提出的一种高精度大口径平面离子束抛光机。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种高精度大口径平面离子束抛光机,包括底板和壳体,所述壳体固定设置于底板的上表面,所述壳体的内部两端均设置有往复丝杆,两个所述往复丝杆的两端均通过第一滚动轴承与对应的所述壳体的侧壁转动连接,两个所述往复丝杆的杆壁均螺纹套接有滑块,两端所述滑块的内侧分别固定设置有离子束发生器和U型框,所述壳体的左侧上端 ...
【技术保护点】
1.一种高精度大口径平面离子束抛光机,包括底板(1)和壳体(2),其特征在于,所述壳体(2)固定设置于底板(1)的上表面,所述壳体(2)的内部两端均设置有往复丝杆(3),两个所述往复丝杆(3)的两端均通过第一滚动轴承与对应的所述壳体(2)的侧壁转动连接,两个所述往复丝杆(3)的杆壁均螺纹套接有滑块(4),两端所述滑块(4)的内侧分别固定设置有离子束发生器(5)和U型框(6),所述壳体(2)的左侧上端设置有电机(14)且电机(14)的输出端与上端所述往复丝杆(3)的左端固定连接,两个所述往复丝杆(3)的右端均延伸至壳体(2)的外侧且均固定套接有皮带轮(7),两个所述皮带轮(7 ...
【技术特征摘要】
1.一种高精度大口径平面离子束抛光机,包括底板(1)和壳体(2),其特征在于,所述壳体(2)固定设置于底板(1)的上表面,所述壳体(2)的内部两端均设置有往复丝杆(3),两个所述往复丝杆(3)的两端均通过第一滚动轴承与对应的所述壳体(2)的侧壁转动连接,两个所述往复丝杆(3)的杆壁均螺纹套接有滑块(4),两端所述滑块(4)的内侧分别固定设置有离子束发生器(5)和U型框(6),所述壳体(2)的左侧上端设置有电机(14)且电机(14)的输出端与上端所述往复丝杆(3)的左端固定连接,两个所述往复丝杆(3)的右端均延伸至壳体(2)的外侧且均固定套接有皮带轮(7),两个所述皮带轮(7)通过皮带(8)转动连接,所述U型框(6)的内部上端两侧均通过转杆(9)转动设置有U型板(10),两个所述U型板(10)的内部均设置有压板(11),两个所述压板(11)的上端均通过第二滚动轴承转动设置有螺纹杆(12),两个所述螺纹杆(12)的上端均与对应的U型板(10)的侧壁螺纹连接,两个所述螺纹杆(12)的上端均延伸至对应的U型板(10)的外侧,所述壳体(2)的内部两侧设置有带动两个所述U型板(10)转动的旋转机构。
2.根据权利要求1所述的一种高...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴建东,
申请(专利权)人:常州卓研精机科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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