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本实用新型涉及抛光机技术领域，且公开了真空室具有污染物防护功能的大口径平面离子束抛光机，包括机体、离子束抛光装置、光学零件夹具、抽真空装置以及真空室，所述离子束抛光装置设置于所述真空室的顶部，所述光学零件夹具设置于所述真空室的底部，所述抽真...
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