一种光学镜面抛光设备制造技术

本发明专利技术公开了一种光学镜面抛光设备，包括机体、柔索驱动装置、动平台、镜面抛光装置、主动支撑装置。动平台提升装置固定在机架上，通过柔索驱动装置提拉动平台；镜面抛光平台安装在动平台上，通过两个电机和三条同步带传动，使得镜面抛光平台能够在动平台上实现两个自由度的平动；所述离子束发射器通过三个转动副、一个定长杆、两个电动推杆和三个球铰与镜面抛光平台连接，能够实现离子束发射器的两个自由度的转动；采用全浮动支撑的主动支撑装置固定在机架上。本发明专利技术将镜面主动支撑系统应用在光学加工中，能够有效降低加工难度、缩短加工周期。本发明专利技术的混联抛光机床能够实现较大的加工空间、较大的刚度和较小的累积误差。

An optical mirror polishing equipment

The invention discloses an optical mirror polishing device, which comprises a body, a flexible cable driving device, a moving platform, a mirror polishing device and an active support device. The moving platform lifting device fixed on the frame and the moving platform lifting driving device through a flexible cable; mirror polishing platform is installed on the mobile platform, through the two and three motor synchronous belt transmission, the mirror polishing platform can realize two degrees of freedom in the translational platform; the ion beam emitter through three rotation vice, a long rod, two electric putter and three ball hinge connected with the mirror polishing platform, can realize the ion beam emitter two rotational degrees of freedom; the full floating support active support device is fixed on the frame. The invention applies the mirror active support system to the optical processing, which can effectively reduce the processing difficulty and shorten the processing cycle. The combined polishing machine tool of the invention can achieve larger processing space, larger stiffness and smaller cumulative error.

【技术实现步骤摘要】
一种光学镜面抛光设备
本专利技术涉及机械加工制造技术，尤其涉及一种光学镜面抛光设备。
技术介绍
目前对光学镜面的抛光，特别是对于离轴非球面镜面的抛光，传统的光学加工工艺如小磨头，在加工过程中会引入复印效应、边缘效应等，难以独立完成对高精度、高陡度离轴非球面镜面的抛光。离子束抛光是一种确定性高、稳定性好的加工手段，具有更高的加工效率与可靠性，尤其是在精抛光阶段具有更高的收敛率。目前光学加工时，镜面主要采用刚性支撑，加工难度大，加工效率低。采用主动支撑技术能够有效降低加工难度，缩短加工周期。传统的主动支撑采用的是固定支撑和浮动支撑相结合的方式，其中固定支撑在加工过程中会导致局部应力过大等情况。
技术实现思路
专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本专利技术提供一种光学镜面抛光设备，通过采用离子束抛光方式，配合以主动支撑系统，能够有效提高加工效率、提高加工可靠性、降低加工难度，实现高效、高精度的光学镜面抛光。技术方案：为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案为：一种光学镜面抛光设备，包括机体、主动支撑装置、四个柔索驱动装置、动平台和镜面抛光设备；所述机体包括底部平台、四个支撑柱和一个顶部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学镜面抛光设备，其特征在于：包括机体、主动支撑装置、四个柔索驱动装置、动平台和镜面抛光设备；所述机体包括底部平台(1)、四个支撑柱(2)和一个顶部平台(3)，四个支撑柱(2)支撑在底部平台(1)和顶部平台(3)的四个角之间，形成以Z轴为竖直高度方向的四棱柱状加工空间；所述主动支撑装置设置在四棱柱状加工空间内，并与底部平台(1)固定，待抛光镜面(22)放置在主动支撑装置上，四棱柱状加工空间、主动支撑装置和待抛光镜面(22)的竖直中心轴线在一条直线上；所述四个柔索驱动装置安装在顶部平台(3)的四个角上，通过收放四根柔索(25)控制动平台在Z轴方向上的平动；所述动平台包括Z轴滑台(13)，Z轴...

【技术特征摘要】
1.一种光学镜面抛光设备，其特征在于：包括机体、主动支撑装置、四个柔索驱动装置、动平台和镜面抛光设备；所述机体包括底部平台(1)、四个支撑柱(2)和一个顶部平台(3)，四个支撑柱(2)支撑在底部平台(1)和顶部平台(3)的四个角之间，形成以Z轴为竖直高度方向的四棱柱状加工空间；所述主动支撑装置设置在四棱柱状加工空间内，并与底部平台(1)固定，待抛光镜面(22)放置在主动支撑装置上，四棱柱状加工空间、主动支撑装置和待抛光镜面(22)的竖直中心轴线在一条直线上；所述四个柔索驱动装置安装在顶部平台(3)的四个角上，通过收放四根柔索(25)控制动平台在Z轴方向上的平动；所述动平台包括Z轴滑台(13)，Z轴滑台(13)包括两个Z轴滑块(21)，每个Z轴滑块(21)上安装一根传动轴A(35)，两根传动轴A(35)位于同一水平面上且位置平行，并通过两根Y轴同步带(14)连接，其中一个Z轴滑块(21)上设置有Y轴伺服电机(32)、Y轴减速器(33)和同步带轮A(34)，通过同步带轮A(34)驱动其中一根传动轴A(35)转动，通过Y轴同步带(14)带动另一根传动轴A(35)同步转动；两个Z轴滑块(21)之间通过两根Y轴导杆(15)固定，两根Y轴导杆(15)位于同一水平面上且位置平行，每根Y轴导杆(15)上安装有一个Y轴滑台(31)，两个Y轴滑台(31)分别与两根Y轴同步带(14)固定连接，通过Y轴同步带(14)带动Y轴滑台(31)同步移动；每个Y轴滑台(31)上安装一根传动轴B，两根传动轴B位于同一水平面上且位置平行，并通过X轴同步带连接，其中一个Y轴滑台(31)上设置有X轴伺服电机(17)、X轴减速器(18)和同步带轮B，通过同步带轮B驱动其中一根传动轴B转动，通过X轴同步带带动另一根传动轴B同步转动；两个Y轴滑台(31)之间通过两根X轴导杆(20)固定，两个X轴导杆(20)位于同一水平面上且位置平行，每根X轴导杆(20)上安装一个X轴滑块；所述镜面抛光设备包括离子束发射器(36)、镜面抛光平台(19)和调整机构，离子束发射器(36)通过调整机构安装在镜面抛光平台(19)的下方，通过调整机构调节离子束发射器(36)的发射角度；镜面抛光平台(19)的上表面与两个X轴滑块固定，同时与X轴同步带固...

【专利技术属性】
技术研发人员：程刚，郑浩，山显雷，刘后广，陈曦晖，万勇建，
申请(专利权)人：中国矿业大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32