大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具制造技术

一种大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具，包括箍套结构和框架结构组成，所述的箍套结构是一个箍套，该箍套的内侧面具有一连续的凸形台状的嵌套梁，该嵌套梁与待镀膜的玻璃基板的外侧面周围的凹槽相嵌套，该箍套的外侧面设有多个螺栓螺孔，所述的框架结构包括多根等高的立柱和多根螺栓，所有立柱的等高处设有螺栓通孔，所述的箍套的嵌套梁相嵌在所述的待镀膜的玻璃基板的凹槽中，所述的螺栓旋入所述的立柱的螺栓通孔和所述的箍套的螺栓螺孔，将所述的待镀膜的玻璃基板夹持定位形成一个整体，该整体的立柱恰好置放在镀膜夹具盘中。本发明专利技术的夹具能对全口径镀膜实现很好的夹持作用，同时结构简单，装夹和卸夹方便，可实现无压痕全口径镀膜。

Full aperture coating fixture for large-size optical element

Full caliber coating fixture for large-size optical components, including sleeve structure and frame structure, the structure of the sleeve is a sleeve, the sleeve of the inner side of a continuous beam with nested convex shape, the nested beam and the glass substrate to be coated outside the surface of the week the groove is nested, the outside surface of the ferrule is provided with a plurality of bolt holes, a plurality of high posts and a plurality of bolts including the frame structure, the column height with all bolt holes, grooves nested beam wherein the ferrule is embedded in the glass substrate to be coated. In the bolt holes hoop the bolt bolt is screwed in the vertical hole and the glass substrate to be coated, the clamping position to form a whole, the whole column just placed in the coating jig plate. The clamping device of the invention can realize the good clamping effect of the full aperture film coating, and has the advantages of simple structure, convenient clamping and unloading, and can realize the whole film coating without indentation.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及镀膜夹具，特别是一种大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具。
技术介绍
目前常用的光学薄膜镀制时，一般采用在镀膜基片底部边缘支撑玻璃的方法。用一个金属线材做成一个口径小于镀膜面的环状结构，玻璃基板定位安置在这个环状结构上。这样镀制出来的薄膜元件，在其通光孔径边缘会出现镀膜夹具的压边痕迹，这种夹具在一般应用场合可以使用。但是对于一些特殊应用，需要全口径有效工作，或者薄膜边缘效应影响元件后续工艺时，这样的夹具就不能使用了。因此，我们必须针对这类全口径镀膜要求设计专用的夹具。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有的镀膜夹具不能满足大口径基片的全口径镀膜要求，提供一种大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具，是一种无压边的玻璃基片的全口径镀膜夹具。本专利技术的技术方案如下:一种大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具，特点在于其构成包括箍套结构和框架结构组成，所述的箍套结构是一个箍套，该箍套的内壁面具有一连续的凸形台状的嵌套梁，该嵌套梁与待镀膜的玻璃基板的外侧面周围的凹槽相嵌套，该箍套的外侧面设有多个螺栓螺孔，所述的框架结构包括多根等高的立柱和多根螺栓，所有立柱的等高处设有螺栓通孔，所述的箍套的嵌套梁相嵌在所述的待镀膜的玻璃基板的凹槽中，所述的螺栓旋入所述的立柱的螺栓通孔和所述的箍套的螺栓螺孔，将所述的待镀膜的玻璃基板夹持定位形成一个整体，该整体的立柱恰好置放在镀膜夹具盘中。待镀膜的玻璃基板的外形为长方形时，所述的箍套是由长嵌套梁、宽嵌套梁构成的一个长方形的框结构。待镀膜的玻璃基板的外形为圆形时，所述的箍套是两半环构成的圆框结构。本专利技术的技术效果1.本专利技术的箍套，能很好地对玻璃基片起到夹持作用。2.本专利技术结构简单，装夹和卸夹方便，箍套对玻璃基片的夹持是通过玻璃基板的侧面凹槽进行的，对玻璃基片的表面镀膜无任何遮挡，可实现无压边全口径镀膜。3.本专利技术适用于各种大尺寸玻璃基片的全口径镀膜。附图说明图1是全口径镀膜的示意图图2是本专利技术大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具实施例1的俯视图图3是图2的AA’剖视图图4是本专利技术大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具实施例2的俯视图图5是图4的BB’剖视图具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的说明。实施例1：长方形玻璃基板请参阅图2和图3，图2是本专利技术大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具实施例1(长方形玻璃基板)的俯视图，图3是图2的AA’剖视图，由图可见，本专利技术大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具，其构成包括箍套结构和框架结构组成，所述的箍套结构是一个箍套，所述的箍套是由长嵌套梁6、宽嵌套梁5构成的一个长方形的框结构。该箍套的内侧面具有一连续的凸形台状的嵌套梁2，该嵌套梁2与待镀膜的玻璃基板的外侧面周围的凹槽相配套，该箍套的外侧面设有多个螺栓螺孔，所述的框架结构包括多根等高的立柱3和多根螺栓4，所有立柱3的等高处设有螺栓通孔，所述的箍套的嵌套梁2相嵌在所述的待镀膜的玻璃基板的凹槽中，所述的螺栓4旋入所述的立柱的螺栓通孔和所述的箍套的螺栓螺孔(请参见图3)，将所述的待镀膜的玻璃基板夹持定位形成一个整体，该整体的立柱3恰好置放在镀膜夹具盘7中。实施例2：圆形基板的全口径镀膜夹具参见图4、图5，图4是大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具实施例2(待镀膜的玻璃基板为圆形)的俯视图，图5是图4的BB’剖视图，由图可见，本专利技术大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具，其构成包括箍套结构和框架结构组成，所述的箍套结构是一个箍套，所述的箍套是由两半环形构成的圆框结构，该箍套的内侧面具有一连续的凸形台状的嵌套梁9、嵌套梁10，该嵌套梁9、嵌套梁10与待镀膜的玻璃基板的外侧面周围的凹槽相配套，该箍套的外侧面设有多个螺栓螺孔，所述的框架结构包括多根等高的立柱11和多根螺栓12，所有立柱11的等高处设有螺栓通孔，所述的箍套的嵌套梁9、10相嵌在所述的待镀膜的玻璃基板的凹槽中，所述的螺栓12旋入所述的立柱的螺栓通孔和所述的箍套的螺栓螺孔(请参见图5)，将所述的待镀膜的玻璃基板夹持定位形成一个整体，该整体的立柱3恰好置放在镀膜夹具盘13中。实验表明，本专利技术大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具，能很好地对玻璃基片起到夹持作用。本专利技术结构简单，装夹和卸夹方便，箍套对玻璃基片的夹持是通过玻璃基板的侧面凹槽进行的，对玻璃基片的表面镀膜无任何遮挡，可实现无压边全口径镀膜。本专利技术适用于各种大尺寸玻璃基片的全口径镀膜。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具，特征在于其构成包括箍套结构和框架结构组成，所述的箍套结构是一个箍套，该箍套的内侧面具有一连续的凸形台状的嵌套梁，该嵌套梁与待镀膜的玻璃基板的外侧面周围的凹槽相嵌套，该箍套的外侧面设有多个螺栓螺孔，所述的框架结构包括多根等高的立柱和多根螺栓，所有立柱的等高处设有螺栓通孔，所述的箍套的嵌套梁相嵌在所述的待镀膜的玻璃基板的凹槽中，所述的螺栓旋入所述的立柱的螺栓通孔和所述的箍套的螺栓螺孔，将所述的待镀膜的玻璃基板夹持定位形成一个整体，该整体的立柱恰好置放在镀膜夹具盘中。

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸光学元件的全口径镀膜夹具，特征在于其构成包括箍套结构和框架结构组成，所述的箍套结构是一个箍套，该箍套的内侧面具有一连续的凸形台状的嵌套梁，该嵌套梁与待镀膜的玻璃基板的外侧面周围的凹槽相嵌套，该箍套的外侧面设有多个螺栓螺孔，所述的框架结构包括多根等高的立柱和多根螺栓，所有立柱的等高处设有螺栓通孔，所述的箍套的嵌套梁相嵌在所述的待镀膜的玻璃基板的凹槽中...

【专利技术属性】
技术研发人员：王建国，朱美萍，孙建，易葵，邵建达，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31